증착 시스템에서 필름의 두께는 다양한 파라미터와 기술을 통해 제어됩니다.
주로 증착 속도를 조정하고 실시간 모니터링 도구를 사용하여 이 작업을 수행합니다.
이 공정에는 고진공 조건에서 소스 재료가 기화되는 과정이 포함됩니다.
그 후 이 증기는 기판에 응축되어 박막을 형성합니다.
5가지 핵심 요소 설명
1. 증착 속도 제어
증착 속도는 필름의 두께를 결정하는 중요한 요소입니다.
일반적으로 증착률이 높을수록 필름이 더 두꺼워집니다.
증착 속도는 증착 소스에 공급되는 전력을 조정하여 제어할 수 있습니다.
예를 들어 저항성 열 증착에서는 발열체에 가해지는 전력을 정밀하게 제어할 수 있습니다.
이를 통해 재료 기화 속도를 조절할 수 있습니다.
2. 실시간 모니터링
최신 증착 시스템에는 종종 석영 결정 모니터 또는 기타 실시간 두께 측정 도구가 포함됩니다.
이러한 장치는 석영 결정에 증착된 물질의 질량을 측정합니다.
석영 결정은 증착된 물질의 질량에 비례하여 변화하는 주파수로 진동합니다.
이 주파수를 모니터링함으로써 시스템은 증착되는 필름의 두께를 계산할 수 있습니다.
그런 다음 원하는 두께를 얻기 위해 증착 속도를 적절히 조정할 수 있습니다.
3. 증착 챔버 형상
증착 챔버의 기하학적 구조도 필름 두께 균일성에 영향을 미칩니다.
소스 재료, 기판, 실드 또는 배플의 배열은 증착된 재료가 기판 전체에 분포되는 방식에 영향을 줄 수 있습니다.
이 지오메트리를 최적화하면 전체 기판에서 균일한 두께를 보장하는 데 도움이 될 수 있습니다.
4. 재료 순도 및 진공 품질
소스 재료의 순도와 진공의 품질도 필름 두께에 간접적으로 영향을 미칩니다.
순도가 높은 재료와 더 나은 진공 조건은 필름에 불순물이 포함되는 것을 줄여줍니다.
일반적으로 진공이 높을수록 증착 공정을 더 잘 제어할 수 있습니다.
이는 불균일한 두께로 이어질 수 있는 잔류 기체와의 충돌 가능성을 줄여줍니다.
5. 증착 소스 유형
필라멘트, 보트 또는 도가니와 같은 다양한 유형의 증발 소스는 서로 다른 양의 재료를 처리할 수 있습니다.
이는 달성할 수 있는 최대 두께에 영향을 줍니다.
예를 들어 증발 보트와 도가니는 더 많은 양의 재료를 수용할 수 있습니다.
따라서 와이어 필라멘트에 비해 더 두꺼운 코팅이 가능합니다.
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