진공 시스템, 특히 진공 용광로에서 누출을 감지하기 위해 여러 가지 방법이 사용됩니다. 이러한 방법은 진공 시스템의 무결성과 효율성을 유지하여 누출률이 퍼니스의 성능에 영향을 줄 수 있는 임계값을 초과하지 않도록 하는 데 매우 중요합니다.
주입 감지 방법:
이 전통적인 방법은 일반적으로 헬륨 질량 분석기를 사용하여 용광로를 비운 다음 용광로 외부에 헬륨 가스를 주입하는 것입니다. 이 분석기는 누출을 통해 진공 시스템으로 유입되는 모든 헬륨을 감지하여 누출의 존재와 위치를 알려줍니다. 이 방법은 헬륨이 작은 분자로 아주 작은 누출을 통해 쉽게 침투할 수 있고 질량 분석기와 함께 사용하면 정밀한 감지가 가능하기 때문에 효과적입니다.노즐 감지 방법:
이 방법은 열교환기, 수냉식 플랜지, 전기 피드스루와 같이 배기할 수 없는 물체에 적합합니다. 검사 대상 물체에는 누출을 나타내는 가스(일반적으로 헬륨)가 채워져 있습니다. 그런 다음 센서(주로 헬륨 질량 분석기)를 사용하여 누출되는 가스가 있는지 확인합니다. 이 방법은 직접 진공을 적용할 수 없는 경우에 유용합니다.
불활성 가스 누출 감지:
진공로에서는 불활성 가스 시스템의 무결성도 중요합니다. 불활성 가스 시스템의 누출을 감지하는 일반적인 방법에는 필름(비누 방울) 방법과 진공 누출 감지가 있습니다. 비누 방울 방법은 의심되는 부위에 비누 용액을 바르고 누출이 있는 경우 형성되는 거품을 관찰하는 것입니다. 진공 누출 감지에는 시스템의 압력 상승률을 모니터링하여 누출을 감지하는 방법이 포함됩니다.예방적 유지보수 및 모니터링:
누출을 즉시 파악하고 해결하려면 정기적인 예방 유지보수와 처리 중 진공 레벨의 지속적인 모니터링이 필수적입니다. 여기에는 진공 피드스루, 펌프, O링 및 플랜지 씰링 표면의 정기적인 점검이 포함됩니다. 누출이 감지되면 일반적으로 용광로에 질소를 다시 채우고 다시 테스트합니다. 누출이 지속되면 헬륨 누출 점검을 포함한 보다 광범위한 유지보수가 필요합니다.
