건식 펌프는 오일이나 기타 윤활유를 사용하지 않고 작동하는 진공 펌프의 일종으로, 깨끗한 진공을 제공하고 폐기물 발생을 최소화합니다. 건식 펌프에는 다음과 같은 다양한 유형이 있습니다:
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다이어프램 펌프: 이 펌프는 왕복 다이어프램을 사용하여 진공을 생성합니다. 오일이 필요 없고 유지보수가 거의 필요하지 않으며 오염에 민감한 분야에 적합합니다. 다이어프램 펌프는 다양한 속도, 압력 및 조절 유형(예: RPM 또는 밸브 조절)으로 맞춤 설정할 수 있습니다. 다이어프램 펌프는 종종 PTFE와 같은 부식 방지 코팅이 되어 있어 다양한 화학 용매와 호환됩니다.
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스크롤 펌프: 이 펌프는 편심으로 움직이는 두 개의 나선형 스크롤을 사용하여 공기와 증기를 압축하여 배기 쪽으로 향하게 합니다. 스크롤 펌프는 다이어프램 펌프에 비해 더 깊은 진공 수준(예: 10-3 Torr)과 더 높은 펌프 속도를 달성할 수 있으므로 글로브박스와 같이 높은 유속이 필요한 애플리케이션에 적합합니다. 그러나 팁 씰을 주기적으로 교체해야 할 수 있으며 일반적으로 다이어프램 펌프보다 내식성이 떨어집니다.
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터보 분자 펌프: 이 고진공 펌프는 회전하는 블레이드를 사용하여 기체 분자에 방향성 운동량을 전달하여 효과적으로 펌핑합니다. 일반적으로 매우 높은 진공 수준이 요구되는 과학 및 반도체 응용 분야에 사용됩니다.
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피스톤 펌프: 이 펌프는 피스톤을 사용하여 공기를 치환하여 진공을 생성합니다. 적당한 진공이 필요한 애플리케이션에 자주 사용되며 오일 프리로 설계할 수 있어 청결한 환경에 적합합니다.
각 유형의 건식 펌프는 특정 이점을 제공하며 진공 수준 요구 사항, 유량, 화학물질 호환성 및 유지보수 고려 사항과 같은 요소에 따라 다양한 용도에 적합합니다.
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