확산 펌프의 경우 사용되는 유체의 종류는 높은 진공 수준을 유지하고 장비의 수명을 보장하는 데 매우 중요합니다.
1. 낮은 증기압 및 열화에 대한 저항성
폴리페닐 에테르 및 퍼플루오로폴리에테르와 같이 확산 펌프에 사용되는 유체는 증기압이 낮고 분해에 대한 저항성이 있는 것이 특징입니다.
특히 폴리페닐 에테르는 증기압이 매우 낮아 고진공 유지에 필수적인 것으로 알려져 있습니다.
전자 충격에 대한 내성이 있어 전자빔 현미경이나 진공 증착 공정과 같이 고에너지 입자가 존재하는 환경에 이상적입니다.
2. 화학적 불활성
퍼플루오로폴리에테르는 산소, 할로겐 및 산에 대해 매우 불활성이므로 이러한 물질이 존재할 수 있는 환경에서 사용하기에 적합합니다.
이 유체는 주 유체를 손상시키지 않고 기체로 분해되지만 생성되는 기체는 독성이 있어 취급 및 봉쇄에 주의가 필요합니다.
3. 고진공 응용 분야에서의 성능
폴리페닐 에테르는 실리콘 오일보다 비싸지만 고진공과 전자 충격에 대한 안정성이 요구되는 특정 용도에 선호됩니다.
4. 확산 펌프에 대한 일반적인 고려 사항
확산 펌프용 유체를 선택할 때는 최적의 성능과 최소한의 유지보수를 보장하기 위해 오일의 품질을 고려하는 것이 필수적입니다.
고품질 오일은 10-2~10-10 토르 범위의 원하는 진공 수준을 달성하는 데 도움이 되며 전자빔 현미경, 진공 증착 및 진공로와 같은 응용 분야에 매우 중요합니다.
확산 펌프는 작동이 간단하고 움직이는 부품이 없기 때문에 내구성과 신뢰성이 뛰어나며, 주로 적절한 오일 레벨을 유지하고 히터의 기능을 보장하는 데 중점을 둔 유지보수가 필요합니다.
5. 화학적 호환성 및 유지보수
유체의 선택은 펌프를 통과하는 증기와의 화학적 호환성에 따라 달라집니다.
건식 무급유 펌프는 내식성 및 유지보수 용이성 측면에서 이점을 제공합니다.
확산 펌프의 유지보수는 오일 레벨과 히터 작동이 올바른지 확인하는 등 간단합니다.
발열체를 올바르게 정렬하는 것이 중요하지만 좁은 공간에서는 어려울 수 있습니다.
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