확산 펌프에 사용되는 유체, 특히 폴리페닐에테르와 퍼플루오로폴리에테르의 특성은 낮은 증기압, 분해 저항성, 화학적 불활성이 특징입니다. 폴리페닐 에테르는 증기압이 낮고 전자 충격에 대한 저항성이 뛰어나 고진공 응용 분야에 적합합니다. 반면 퍼플루오로폴리에테르는 산소, 할로겐 및 산에 대해 매우 불활성이며, 분해 시 독성이 있지만 주 유체를 손상시키지 않고 기체로 분해됩니다.
폴리페닐 에테르:
폴리페닐 에테르는 증기압이 매우 낮아 확산 펌프에서 고진공을 유지하는 데 중요한 역할을 하기 때문에 선택됩니다. 전자 충격에 대한 저항성은 전자빔 현미경이나 진공 증착 공정과 같이 펌프가 고에너지 입자에 노출될 수 있는 환경에서 특히 유용합니다. 실리콘 오일보다 비싸지만 성능 특성으로 인해 고진공 및 전자 충격 하에서의 안정성이 요구되는 특정 애플리케이션에 선호되는 선택입니다.퍼플루오로폴리에테르:
퍼플루오로폴리에테르는 탄화수소의 모든 수소 원자가 불소 원자로 대체되어 분자량이 더 높고 화학적 안정성이 향상된 유체 유형입니다. 이 유체는 산소, 할로겐, 산을 포함한 많은 독성 화학물질에 불활성이므로 이러한 물질이 존재할 수 있는 환경에서 사용하기에 이상적입니다. 분해 시 기체로 분해되므로 주 유체는 손상되지 않지만 생성되는 가스는 독성이 있어 취급 및 봉쇄에 주의가 필요합니다.
확산 펌프에 대한 일반적인 고려 사항:
확산 펌프용 유체를 선택할 때는 최적의 성능과 최소한의 유지보수를 보장하기 위해 오일의 품질을 고려하는 것이 필수적입니다. 고품질 오일은 원하는 진공 수준(10-2~10-10 토르 범위)을 달성하는 데 도움이 되며 전자빔 현미경, 진공 증착 및 진공로와 같은 응용 분야에 매우 중요합니다. 확산 펌프는 작동이 간단하고 움직이는 부품이 없기 때문에 내구성과 신뢰성이 뛰어나며, 주로 적절한 오일 레벨을 유지하고 히터의 기능을 보장하는 데 중점을 둔 유지보수가 필요합니다.
화학물질 호환성 및 유지보수:
