디퓨전 펌프는 움직이는 부품 없이 작동하는 진공 펌프의 일종으로, 피스톤이나 핀을 사용하여 공기를 치환하는 기계식 펌프와 구별됩니다. 대신 확산 펌프는 유체 포집 메커니즘을 사용하여 끓는 유체(흔히 "오일"이라고도 함)의 증기를 활용하여 공기 분자를 포집하고 운반합니다. 운동 에너지가 높은 증기는 공기 분자를 포집하여 더 차가운 곳으로 운반하여 방출합니다. 이 과정은 중력과 증기의 하향 흐름의 도움을 받아 공기 분자를 펌프의 바닥으로 향하게 합니다.
확산 펌프는 작동이 간단하고 내구성이 뛰어나 전자빔 현미경, 진공 증착, 진공로 등 다양한 산업 분야에 적합합니다. 10^-2에서 10^-10 토르에 이르는 높은 진공 수준을 달성할 수 있습니다. 그러나 확산 펌프는 독립적으로 작동할 수 없으며, 특히 유휴 기간 동안 시스템 내에서 낮은 압력을 유지하기 위해 배압 펌프가 필요합니다. 이 설정은 필요할 때 확산 펌프가 효과적으로 작동할 수 있도록 유지 펌프 밸브를 분리하고 기계식 펌프와 블로워를 배압 펌프로 사용합니다.
유지보수 측면에서 확산 펌프는 오일 레벨과 히터의 기능만 모니터링하면 되기 때문에 비교적 간단합니다. 가열 시스템에는 일반적으로 튜브형 요소, 크러시 플레이트, 클램핑 플레이트가 포함되며, 효율적인 작동을 위해서는 적절한 정렬이 중요합니다.
확산 펌프는 임펠러 또는 고속 회전 블레이드를 사용하여 기체 분자에 운동량을 전달하여 배출구 쪽으로 밀어내는 터보 분자 펌프와 같은 운동 펌프와 대조됩니다. 이러한 키네틱 펌프는 고압 응용 분야에 사용되며 디퓨전 펌프와 작동 및 유지보수 요구 사항이 다릅니다.
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