디퓨전 펌프는 움직이는 부품 없이 작동하는 진공 펌프의 일종입니다.
피스톤이나 핀을 사용하여 공기를 이동시키는 기계식 펌프와 차별화됩니다.
대신 확산 펌프는 유체 유입 메커니즘을 사용합니다.
이 메커니즘은 흔히 '오일'이라고 불리는 끓는 유체의 증기를 이용해 공기 분자를 포집하고 운반합니다.
높은 운동 에너지를 가진 증기는 공기 분자를 포집하여 더 차가운 곳으로 운반하여 방출합니다.
이 과정은 중력과 증기의 하향 흐름의 도움을 받아 공기 분자를 펌프의 바닥으로 향하게 합니다.
이해해야 할 5가지 핵심 사항
1. 작동 단순성 및 내구성
확산 펌프는 작동이 간단하고 내구성이 뛰어나 다양한 산업 분야에 적합합니다.
이러한 응용 분야에는 전자빔 현미경, 진공 증착 및 진공로가 포함됩니다.
2. 높은 진공 수준
디퓨전 펌프는 10^-2 ~ 10^-10 토르의 고진공 레벨을 달성할 수 있습니다.
3. 배압 펌프 요구 사항
디퓨전 펌프는 독립적으로 작동할 수 없습니다.
특히 유휴 기간 동안 시스템 내에서 낮은 압력을 유지하려면 배압 펌프가 필요합니다.
이 설정은 필요할 때 확산 펌프가 효과적으로 작동할 수 있도록 보장합니다.
4. 유지보수
유지보수 측면에서 디퓨전 펌프는 비교적 간단합니다.
오일 레벨과 히터의 기능만 모니터링하면 됩니다.
가열 시스템에는 일반적으로 튜브형 요소, 크러시 플레이트 및 클램핑 플레이트가 포함됩니다.
효율적인 작동을 위해서는 적절한 정렬이 중요합니다.
5. 키네틱 펌프와의 대조
확산 펌프는 터보 분자 펌프와 같은 키네틱 펌프와 대조됩니다.
키네틱 펌프는 임펠러 또는 고속 회전 블레이드를 사용하여 기체 분자에 운동량을 전달하여 배출구 쪽으로 밀어냅니다.
이러한 키네틱 펌프는 고압 응용 분야에 사용되며 디퓨전 펌프와 작동 및 유지보수 요구 사항이 다릅니다.
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