필름의 균일성은 주로 필름 두께와 관련이 있지만 굴절률과 같은 다른 특성에도 적용될 수 있는 기판 전체에서 필름의 특성이 일관되게 유지되는 것을 말합니다. 우수한 균일성을 달성하는 것은 다양한 애플리케이션에서 필름의 품질과 기능에 매우 중요합니다.
필름 두께 균일성:
필름 두께 균일성은 필름 품질의 중요한 측면입니다. 이는 필름이 기판 표면에 얼마나 균일하게 증착되는지를 측정합니다. 스퍼터 코팅의 경우, 이 공정에는 가스 방전 방법을 통해 얻은 입사 이온을 사용합니다. 진공 챔버 내의 작동 압력(일반적으로 10^-2 Pa에서 10 Pa 사이)이 균일성에 영향을 미칩니다. 스퍼터링 중에 이온은 종종 가스 분자와 충돌하여 그 방향이 무작위로 벗어나는 경우가 많습니다. 이러한 무작위성은 스퍼터링이 발생하는 더 큰 목표 표면적과 결합되어 일반적으로 다른 진공 코팅 방법에 비해 더 균일한 증착을 유도합니다. 이는 후크 홈이나 계단과 같이 복잡한 형상을 가진 부품에 특히 중요하며, 균일성이 음극 효과로 인한 필름 두께의 차이를 최소화할 수 있습니다.기타 필름 특성 균일성:
균일성은 두께 외에도 굴절률과 같은 다른 필름 속성의 일관성을 나타낼 수도 있습니다. 굴절률은 타원측정법과 같은 기술을 사용하여 측정할 수 있는 광학 특성입니다. 굴절률은 필름의 밀도, 유전 상수, 화학량 론에 대한 통찰력을 제공합니다. 예를 들어, 실리콘 질화물 필름의 경우 굴절률 2.0이 이상적입니다. 이 값에서 벗어나면 필름의 성능과 신뢰성에 영향을 줄 수 있는 불순물이나 구성에 변화가 있음을 나타낼 수 있습니다.
증착 방법의 영향:
