스퍼터링 가스는 일반적으로 스퍼터링 공정에 사용되는 아르곤과 같은 불활성 가스입니다. 스퍼터링은 기체 플라즈마를 사용하여 고체 대상 물질의 표면에서 원자를 제거하는 박막 증착 방법입니다. 이 과정에서 불활성 가스의 이온이 대상 물질로 가속되어 원자가 중성 입자 형태로 방출됩니다. 그런 다음 이 중성 입자는 기판 표면을 가로질러 얇은 막으로 증착됩니다.
스퍼터링 공정에는 불활성 가스로 채워진 진공 챔버에 기판과 대상 물질을 넣는 과정이 포함됩니다. 고전압의 전기가 가해지면 양전하를 띤 가스의 이온이 음전하를 띤 타겟 물질에 끌어당겨 충돌을 일으킵니다. 이러한 충돌로 인해 타겟 물질에서 원자가 방출되고, 이 원자는 기판에 증착되어 박막을 형성합니다.
스퍼터링은 무균 및 오염 없는 환경을 유지하기 위해 진공 상태에서 수행됩니다. 스퍼터링은 전도성 또는 절연 재료의 코팅을 증착하는 데 사용할 수 있는 다양한 형태의 물리적 기상 증착입니다. 스퍼터링 기술은 직류(DC), 무선 주파수(RF), 중주파(MF), 펄스 DC 및 HiPIMS와 같은 하위 유형으로 더 분류할 수 있으며, 각각 고유한 적용 가능성을 가지고 있습니다.
전반적으로 아르곤과 같은 스퍼터링 가스는 대상 물질에서 원자를 제거하고 기판에 박막을 증착하는 것을 용이하게 함으로써 스퍼터링 공정에서 중요한 역할을 합니다.
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