지식 스퍼터링 수율이란? 알아야 할 4가지 핵심 요소
작성자 아바타

기술팀 · Kintek Solution

업데이트됨 2 months ago

스퍼터링 수율이란? 알아야 할 4가지 핵심 요소

물리적 스퍼터링 속도라고도 하는 스퍼터링 수율은 표면에 충돌하는 입사 에너지 입자당 표면에서 손실되는 원자 수를 측정한 값입니다.

이는 스퍼터 증착 속도에 영향을 미치기 때문에 스퍼터 증착 공정에서 중요한 요소입니다.

스퍼터링 수율은 주로 세 가지 주요 요인, 즉 타겟 물질, 충돌 입자의 질량, 충돌 입자의 에너지에 따라 달라집니다.

스퍼터링이 발생하는 에너지 범위(10~5000eV)에서 스퍼터링 수율은 입자 질량과 에너지에 따라 증가합니다.

스퍼터링 수율은 이온이 표면에 충돌하는 각도, 충돌 시 이온 에너지의 양, 이온의 무게, 대상 물질의 원자 무게, 대상 물질 원자 간의 결합 에너지, 자기장 강도 및 설계 요인(마그네트론 음극의 경우), 플라즈마 가스 압력 등 다양한 요인에 의해 영향을 받습니다.

표적 물질에서 원자를 방출하려면 이온의 최소 에너지(일반적으로 30~50eV)가 있어야 하며, 이는 물질에 따라 달라집니다.

이 임계값을 초과하면 스퍼터링 수율이 증가합니다.

그러나 높은 이온 에너지에서는 에너지가 타겟 깊숙이 증착되어 표면에 거의 도달하지 않기 때문에 수율 증가가 급격히 평평해집니다.

이온과 표적 원자의 질량 비율에 따라 가능한 운동량 전달이 결정됩니다.

가벼운 표적 원자의 경우, 표적과 이온의 질량이 거의 일치할 때 최대 수율이 달성됩니다.

그러나 표적 원자의 질량이 증가함에 따라 최대 수율은 이온과 표적 원자 사이의 더 높은 질량 비율로 이동합니다.

스퍼터링 수율은 높은 증착률과 다양한 물질을 증착할 수 있는 능력 등 스퍼터 증착 공정에서 장점이 있습니다.

그러나 높은 자본 비용, 일부 재료의 경우 상대적으로 낮은 증착률, 이온 충격에 의한 유기 고체의 분해, 증착에 의한 증착에 비해 기판에 불순물이 유입되는 경향이 크다는 단점도 있습니다.

전반적으로 스퍼터링 수율은 증착 공정의 효율성과 효과를 결정하므로 스퍼터 증착 공정에서 고려해야 할 중요한 파라미터입니다.

킨텍과 함께 스퍼터 증착 공정을 강화하세요!

스퍼터링 수율이란? 알아야 할 4가지 핵심 요소

킨텍의 최첨단 실험실 장비로 스퍼터링 수율을 극대화하고 스퍼터 증착 속도를 향상시키십시오.

당사의 첨단 기술은 대상 물질, 타격 입자의 질량 및 에너지, 입사각, 원자 간 결합 에너지, 자기장 강도 및 플라즈마 가스 압력과 같은 중요한 요소를 고려합니다.

킨텍과 함께라면 수십 전자볼트 이상의 에너지 레벨을 가진 스퍼터링 원자를 기대할 수 있어 스퍼터 증착 공정에 최적의 결과를 보장할 수 있습니다.

또한 당사의 장비는 재스퍼터링을 최소화하여 보다 효율적이고 비용 효율적인 운영이 가능합니다.

평균적인 스퍼터링 수율에 안주하지 마세요. 지금 바로 KINTEK에 연락하여 스퍼터 증착 공정을 혁신하여 탁월한 성공을 거두십시오!

계속 탐색하고 전문가와 상담하세요

스퍼터링 수율을 향상시킬 준비가 되셨나요? 지금 바로 킨텍에 문의하여 당사의 첨단 실험실 장비와 최적의 스퍼터 증착 결과를 얻을 수 있는 방법에 대해 자세히 알아보십시오.

공정을 혁신할 수 있는 기회를 놓치지 마세요! 지금 바로 웹사이트를 방문하거나 전화로 문의하세요.

관련 제품

스파크 플라즈마 소결로 SPS 용광로

스파크 플라즈마 소결로 SPS 용광로

신속한 저온 재료 준비를 위한 스파크 플라즈마 소결로의 이점을 알아보세요. 균일한 가열, 저렴한 비용 및 친환경.

텅스텐 티타늄 합금(WTi) 스퍼터링 타겟/파우더/와이어/블록/과립

텅스텐 티타늄 합금(WTi) 스퍼터링 타겟/파우더/와이어/블록/과립

합리적인 가격으로 실험실에서 사용할 수 있는 텅스텐 티타늄 합금(WTi) 소재를 찾아보십시오. 우리의 전문 지식을 통해 다양한 순도, 모양 및 크기의 맞춤형 재료를 생산할 수 있습니다. 다양한 스퍼터링 타겟, 분말 등에서 선택하십시오.

탄화붕소(BC) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

탄화붕소(BC) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

실험실 요구 사항에 맞는 합리적인 가격으로 고품질 보론 카바이드 재료를 얻으십시오. 우리는 스퍼터링 타겟, 코팅, 분말 등을 포함하여 다양한 순도, 모양 및 크기의 BC 재료를 맞춤화합니다.

구리 지르코늄 합금(CuZr) 스퍼터링 타겟/파우더/와이어/블록/과립

구리 지르코늄 합금(CuZr) 스퍼터링 타겟/파우더/와이어/블록/과립

귀하의 고유한 요구 사항에 맞춘 합리적인 가격의 다양한 Copper Zirconium Alloy 소재를 발견하십시오. 스퍼터링 타겟, 코팅, 분말 등을 찾아보십시오.

황화아연(ZnS) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

황화아연(ZnS) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

실험실에 필요한 저렴한 황화아연(ZnS) 재료를 구입하십시오. 우리는 다양한 순도, 모양 및 크기의 ZnS 재료를 생산하고 맞춤화합니다. 다양한 스퍼터링 타겟, 코팅 재료, 분말 등에서 선택하십시오.

고순도 알루미늄(Al) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

고순도 알루미늄(Al) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

합리적인 가격으로 실험실용 고품질 알루미늄(Al) 재료를 얻으십시오. 당사는 스퍼터링 타겟, 분말, 호일, 잉곳 등을 포함한 맞춤형 솔루션을 제공하여 고객의 고유한 요구 사항을 충족합니다. 지금 주문하세요!

고순도 붕소(B) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

고순도 붕소(B) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

특정 실험실 요구 사항에 맞는 저렴한 붕소(B) 재료를 얻으십시오. 당사의 제품은 스퍼터링 타겟에서 3D 프린팅 분말, 실린더, 입자 등에 이르기까지 다양합니다. 오늘 저희에게 연락하십시오.

고순도 철(Fe) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

고순도 철(Fe) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

실험실에서 사용할 저렴한 철(Fe) 재료를 찾고 계십니까? 당사의 제품 범위에는 스퍼터링 타겟, 코팅 재료, 분말 등이 포함되며 고객의 특정 요구 사항을 충족하도록 맞춤화된 다양한 사양과 크기가 있습니다. 오늘 저희에게 연락하십시오!

고순도 이리듐(Ir) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

고순도 이리듐(Ir) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

실험실용 고품질 이리듐(Ir) 재료를 찾고 계십니까? 더 이상 보지 마세요! 당사의 전문적으로 생산되고 맞춤 제작된 재료는 고유한 요구 사항에 맞게 다양한 순도, 모양 및 크기로 제공됩니다. 당사의 다양한 스퍼터링 타겟, 코팅, 분말 등을 확인하십시오. 오늘 견적을 받아보세요!

고순도 코발트(Co) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

고순도 코발트(Co) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

귀하의 고유한 요구 사항에 맞는 실험실용 코발트(Co) 재료를 저렴하게 구입하십시오. 당사의 범위에는 스퍼터링 타겟, 분말, 포일 등이 포함됩니다. 맞춤형 솔루션을 원하시면 오늘 저희에게 연락하십시오!

고순도 안티몬(Sb) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

고순도 안티몬(Sb) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

특정 요구 사항에 맞는 고품질 안티몬(Sb) 재료를 얻으십시오. 다양한 모양과 크기를 합리적인 가격으로 제공합니다. 당사의 스퍼터링 타겟, 분말, 호일 등을 찾아보십시오.

고순도 게르마늄(Ge) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

고순도 게르마늄(Ge) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

합리적인 가격으로 실험실 요구에 맞는 고품질 금 재료를 얻으십시오. 당사의 맞춤형 금 재료는 고유한 요구 사항에 맞게 다양한 모양, 크기 및 순도로 제공됩니다. 당사의 다양한 스퍼터링 타겟, 코팅 재료, 호일, 분말 등을 살펴보십시오.

철 갈륨 합금(FeGa) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

철 갈륨 합금(FeGa) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

실험실용 고품질 철 갈륨 합금(FeGa) 재료를 합리적인 가격에 찾으십시오. 우리는 귀하의 고유한 요구에 맞게 재료를 사용자 정의합니다. 다양한 사양과 크기를 확인하세요!

고순도 탄소(C) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

고순도 탄소(C) 스퍼터링 타겟 / 분말 / 와이어 / 블록 / 과립

실험실에 필요한 저렴한 탄소(C) 재료를 찾고 계십니까? 더 이상 보지 마세요! 당사의 전문적으로 생산되고 맞춤화된 재료는 다양한 모양, 크기 및 순도로 제공됩니다. 스퍼터링 타겟, 코팅 재료, 분말 등 중에서 선택하십시오.


메시지 남기기