전자빔 증착은 다른 증착 방법에 비해 몇 가지 장점이 있는 공정입니다.
전자빔 증착의 5가지 주요 이점
1. 빠른 증착 속도
전자빔 증착은 0.1μm/min에서 100μm/min에 이르는 빠른 증착 속도를 제공합니다.
즉, 저항성 열 증착이나 스퍼터링과 같은 다른 방법보다 훨씬 빠르게 박막을 증착할 수 있습니다.
2. 우수한 접착력을 갖춘 고밀도 코팅
전자빔 증착은 코팅 접착력이 뛰어난 고밀도 코팅을 생성합니다.
또한 전자빔이 소스 재료에만 집중되어 도가니로 인한 오염 위험을 최소화하기 때문에 생산된 필름의 순도가 매우 높습니다.
3. 다층 증착 유연성
또 다른 장점은 환기 없이 다양한 소스 재료를 사용하여 다층 증착이 가능하다는 점입니다.
이러한 유연성 덕분에 복잡한 코팅 구조를 만들 수 있고 코팅의 특성을 조정할 수 있습니다.
4. 폭넓은 재료 호환성
전자빔 증착은 고온 금속 및 금속 산화물을 포함한 다양한 재료와 호환됩니다.
따라서 다양한 응용 분야에 적합합니다.
5. 높은 재료 활용 효율
전자빔 증착은 재료 활용 효율이 높습니다.
이는 소스 재료의 많은 부분이 증착 공정에서 효과적으로 사용되어 낭비와 비용을 줄인다는 것을 의미합니다.
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