원소 분석을 위한 XRF(X-선 형광)의 대안으로 광학 방출 분광법(OES) 및 레이저 유도 분해 분광법(LIBS)과 같은 기술이 있습니다. 이러한 방법은 광범위한 시료 전처리 없이 공작물을 직접 분석할 수 있지만 XRF에 비해 한계가 있습니다. OES와 LIBS는 시료에 눈에 보이는 흔적을 남길 수 있으며, 이는 공작물의 무결성을 보존하는 것이 중요한 경우 단점이 될 수 있습니다.
광학 방출 분광법(OES):
OES는 여기된 원자가 방출하는 빛을 이용해 재료의 원소 구성을 파악하는 기술입니다. 원자 번호가 낮은 원소를 검출하는 데 특히 유용하며 정확한 정량 분석을 제공할 수 있습니다. 그러나 OES는 원자를 여기시키기 위해 스파크가 필요하므로 시료에 물리적 손상을 일으킬 수 있어 비파괴 검사에는 적합하지 않습니다.레이저 유도 분해 분광법(LIBS):
LIBS는 고출력 레이저 펄스를 사용하여 시료 표면에 마이크로 플라즈마를 생성하여 빛을 방출합니다. 그런 다음 이 빛의 스펙트럼을 분석하여 원소 구성을 결정합니다. LIBS는 별도의 시료 전처리 없이 고체, 액체, 기체를 분석할 수 있다는 장점이 있습니다. 하지만 OES와 마찬가지로 고에너지 레이저로 인해 시료에 자국이 남을 수 있습니다.
