제공된 참고자료에 자세히 설명된 대로 진공 용광로의 최소 감지 가능한 누출률은 애플리케이션의 연식과 중요도에 따라 달라집니다. 최신 퍼니스의 경우, 일반적으로 70미크론 이하의 압력에서 허용되는 최소 누출률은 시간당 10미크론입니다. 오래된 용광로는 시간당 20~25미크론까지 약간 더 높은 누출률을 허용할 수 있습니다. 초합금 또는 반응성 금속 처리와 같은 중요한 응용 분야의 경우, 처리되는 재료의 무결성과 품질을 보장하기 위해 시간당 5미크론 미만의 누출률이 필수입니다.
누출률은 1 x 10^-4 토르 이상의 진공을 달성한 후 펌핑 시스템을 퍼니스 챔버에서 분리한 다음 시간 경과(일반적으로 30분 및 60분 후)에 따른 진공 수준을 모니터링하여 결정됩니다. 압력이 증가하는 속도가 누출률을 나타냅니다. 이 방법은 작은 누출도 용광로 내부 환경에 큰 영향을 미쳐 잔류 산소 함량을 높이고 열처리 결과에 악영향을 미칠 수 있기 때문에 매우 중요합니다.
이러한 낮은 누출률을 유지하려면 포괄적인 예방 유지보수 프로그램이 필수적입니다. 여기에는 진공 피드스루, 오링, 플랜지 밀봉 표면 및 펌프에 대한 정기적인 검사가 포함됩니다. 공정 중 진공 수준을 지속적으로 모니터링하면 잠재적인 누출을 조기에 감지하는 데도 도움이 됩니다. 용광로가 지정된 한계를 초과하는 누출률을 보이는 경우 생산에 사용하기 전에 수리해야 합니다. 여기에는 열전대 피팅을 조이고, 퍼니스를 다시 테스트하고, 심한 경우 헬륨 누출 점검을 실시하는 것이 포함될 수 있습니다.
다른 방법으로는 감지하기 어려운 누출을 찾기 위해 연기 발생기를 사용하는 등의 누출 감지 방법도 사용됩니다. 이러한 방법은 용광로가 차갑고 모든 가연물이 제거된 경우에 특히 효과적입니다. 연기는 잠재적인 누출 부위에 침투하여 용광로에서 빠져나갈 때 보이므로 누출 위치를 알 수 있습니다.
전반적으로 진공 용광로에서 낮은 누출률을 유지하는 것은 열처리 공정의 품질과 효율성을 보장하는 데 매우 중요하며, 특히 민감한 응용 분야에서는 더욱 그렇습니다. 정기적인 테스트, 유지보수, 효과적인 누출 감지 방법의 사용은 이러한 시스템을 관리하는 데 필수적인 요소입니다.
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