XRF의 최소 검출 한계는 시료의 원소 농도, 분석할 시료의 유형, 사용 중인 XRF 분광기 등 여러 요인에 따라 달라집니다.
대부분의 원소에 대해 XRF는 2-20 ng/cm2의 낮은 농도까지 검출할 수 있습니다. 즉, 시료에서 매우 적은 양의 원소를 검출할 수 있습니다.
검출 한계는 시료의 종류에 따라 달라질 수 있습니다. 예를 들어 식품 샘플은 검출 한계가 2~4톤으로 낮을 수 있지만 의약품은 20톤으로 더 높은 검출 한계가 필요할 수 있습니다. 광물 광석은 검출 한계가 최대 40톤으로 훨씬 더 높을 수 있습니다.
검출 한계는 사용된 시료 준비 기술에 따라 달라질 수 있습니다. 예를 들어, 시료를 미세한 입자 크기로 갈아서 매끄럽고 평평한 펠릿으로 압축하는 용융 비드 XRF 기술은 배출량 검출을 개선할 수 있습니다. 그러나 이 기법은 샘플을 희석해야 하므로 미량 원소를 검출하지 못할 수도 있습니다.
XRF가 시료의 원소를 검출할 수 있는 깊이도 원소의 원자량에 따라 달라집니다. 가벼운 원소는 무거운 원소보다 검출하기 어렵고, 검출 깊이는 일반적으로 시료 표면 아래 1~1000µm 범위입니다.
사용되는 XRF 분광기의 유형도 검출 한계에 영향을 미칠 수 있습니다. 에너지 분산형 XRF(ED-XRF) 분광기는 간단하고 사용하기 쉽지만 해상도가 낮을 수 있으며, 파장 분산형 XRF(WD-XRF) 분광기는 더 복잡하고 비싸지만 해상도가 더 높습니다.
요약하자면, XRF의 최소 검출 한계는 원소의 농도, 시료의 유형, 시료 준비 기술, 원소의 원자량 및 사용 중인 XRF 분광기의 유형에 따라 달라집니다.
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