진공 누출 테스트의 범위는 일반적으로 시간당 미크론 단위로 누출률을 측정합니다. 초합금 또는 반응성 금속 처리와 같은 중요한 애플리케이션의 경우 누출률은 시간당 5미크론 미만이어야 합니다. 일반 진공 응용 분야의 경우 일반적으로 허용되는 리크율은 시간당 10~20미크론입니다.
누출률 테스트에는 퍼니스를 지정된 저압(일반적으로 1 x 10^-4 torr 이상)으로 펌핑한 다음 펌핑 시스템을 퍼니스 챔버에서 분리하는 작업이 포함됩니다. 진공 레벨은 30분 후와 60분 후에 다시 모니터링하고 기록합니다. 이 기간 동안 진공 레벨의 차이는 시간당 미크론 단위의 누출률을 계산하는 데 사용되며, 이를 관리 사양에 정의된 허용 기준과 비교합니다.
이 방법은 진공 시스템의 무결성과 성능을 유지하여 진공 수준과 용광로의 전반적인 효율을 저하시킬 수 있는 심각한 공기 또는 물 누출을 방지합니다. 블로잉 방식이나 헬륨 질량 분석기를 사용한 흡입 노즐 방식과 같은 특정 누출 감지 방법을 사용하면 누출 테스트 프로세스의 정확성과 신뢰성이 더욱 향상됩니다.
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