흔히 누설률이라고도 하는 기밀률은 단위 시간당 밀폐된 시스템에서 빠져나가는 공기 또는 가스의 양을 측정한 수치입니다. 진공 용광로에서 누설률은 진공 환경의 무결성과 효율성을 유지하는 데 매우 중요합니다. 초합금 또는 반응성 금속 처리와 같은 중요한 애플리케이션의 경우 시간당 5미크론 미만의 누출률이 필요합니다. 일반 진공 응용 분야에서는 누출률이 시간당 10~20미크론을 초과하지 않아야 합니다. 누출률이 높으면 압력이 크게 상승하여 진공 펌프가 과부하되고 용광로 내에서 수행되는 공정의 품질에 영향을 미칠 수 있습니다.
누출률은 일반적으로 특정 압력(예: 1 x 10^-4 torr)까지 펌핑한 후 펌핑 시스템을 퍼니스 챔버에서 분리하여 테스트합니다. 그런 다음 30분 후와 60분 후에 다시 진공 레벨을 기록합니다. 이 시간 동안의 진공 레벨 차이는 시간당 미크론 단위의 누출률을 계산하는 데 사용됩니다. 그런 다음 이 비율을 관리 표준 또는 용광로 제조업체에서 지정한 허용 기준과 비교합니다.
작은 누출의 위치를 감지하려면 헬륨 누출 감지기나 잔류 가스 분석과 같은 특수 장비를 사용해야 하는 경우가 많습니다. 누출을 최소화하고 진공 시스템의 기밀성을 유지하려면 임시 밀봉 컴파운드 교체 및 밀봉 표면의 평탄성 확보와 같은 정기적인 유지보수 및 예방 조치가 필수적입니다.
적절한 누출률을 유지하지 못하면 예기치 않은 다운타임, 수리 비용 증가, 제품 품질 저하로 이어질 수 있습니다. 따라서 진공로의 성능과 수명을 최적화하여 전반적인 운영 비용을 절감하려면 정기적인 누출률 점검과 잘 계획된 유지보수 프로그램을 준수하는 것이 중요합니다.
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