스퍼터링 공정에는 기판에 재료를 효율적이고 효과적으로 증착하기 위해 특정 가스를 사용하는 것이 포함됩니다.
5가지 주요 가스 설명
1. 아르곤
아르곤은 스퍼터링 공정에 사용되는 가장 일반적이고 비용 효율적인 가스입니다.
2. 크립톤
크립톤은 원자량이 무겁기 때문에 무거운 원소를 스퍼터링하는 데 사용됩니다.
3. 크세논
제논은 크립톤과 마찬가지로 무거운 물질을 효율적으로 스퍼터링할 수 있는 능력 때문에 선택됩니다.
4. 네온
네온은 원자 무게가 가볍기 때문에 가벼운 원소를 스퍼터링하는 데 선호됩니다.
5. 반응성 가스(산소 및 질소)
산소 및 질소와 같은 반응성 가스는 불활성 가스와 함께 사용하여 산화물, 질화물 및 기타 화합물의 박막을 증착하는 데 사용됩니다.
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