텅스텐, 몰리브덴, 탄탈륨과 같은 금속은 특히 열 증발 공정에서 증발할 수 있습니다.
이러한 금속은 녹는점이 높고 증기압이 낮기 때문에 특히 유용합니다.
따라서 증발 소스, 특히 박막 증착이 필요한 진공 환경에서 사용하기에 이상적입니다.
1. 텅스텐
텅스텐은 3422°C(6192°F)로 순수 금속 중 녹는점이 가장 높은 것으로 알려져 있습니다.
또한 증기압이 1650°C(3000°F) 이상으로 가장 낮습니다.
텅스텐은 인장 강도가 높고 열팽창 계수가 낮기 때문에 증발 공정에 광범위하게 사용됩니다.
그러나 텅스텐은 증발 과정에서 알루미늄이나 금과 같은 재료와 합금화될 수 있습니다.
따라서 이러한 경우 알루미나 코팅 보트나 바스켓과 같은 대체 재료를 사용해야 합니다.
2. 몰리브덴과 탄탈륨
몰리브덴과 탄탈륨도 녹는점이 높은 내화성 금속입니다.
특히 텅스텐이 적합하지 않거나 특정 합금 특성이 필요한 경우 증발 공정에 적합합니다.
3. 합금과 증발
합금을 증발시키는 것은 구성 금속의 증기압이 다르기 때문에 까다로울 수 있습니다.
합금의 증발을 효과적으로 관리하기 위해 별도의 도가니에서 동시 용융 또는 스퍼터링과 같은 기술이 사용됩니다.
4. 박막 증착에서의 응용
이러한 금속은 전자빔 증착과 같은 공정에서 매우 중요합니다.
증착 속도와 박막 특성에 대한 정밀한 제어가 필수적입니다.
반사 특성이 제어된 박막을 증착하는 능력은 레이저 광학 및 건축용 유리와 같은 응용 분야에서 유용합니다.
5. 장비 요구 사항
증착 소스, 특히 보트를 사용하는 증착 소스에는 저전압 및 고전류의 고출력 전원이 필요합니다.
다가닥 텅스텐 필라멘트와 와이어 바스켓은 일반적으로 금속 및 기타 재료를 증발시키는 데 사용됩니다.
이렇게하면 재료가 녹는 동안 재료가 승화되거나 바구니가 젖지 않습니다.
6. 요약
텅스텐, 몰리브덴, 탄탈륨과 같은 금속은 증발할 수 있습니다.
이러한 금속은 박막 증착을 위한 고온, 진공 기반 공정에서 특히 유용합니다.
이러한 고유한 특성 덕분에 다양한 산업 및 과학 응용 분야에서 없어서는 안 될 필수 요소입니다.
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