텅스텐, 몰리브덴, 탄탈륨은 증발할 수 있는 금속으로, 융점이 높고 증기압이 낮아 열 증발 공정에 특히 유용합니다. 이러한 특성으로 인해 증발 소스, 특히 박막 증착이 필요한 진공 환경에서 사용하기에 이상적입니다.
텅스텐: 순수 금속 중 가장 높은 융점(3422°C/6192°F)과 1650°C(3000°F) 이상의 낮은 증기압으로 잘 알려진 텅스텐은 증발 공정에 광범위하게 사용됩니다. 텅스텐의 높은 인장 강도와 낮은 열팽창 계수는 증발원에 대한 적합성을 높여줍니다. 그러나 텅스텐은 증발 과정에서 알루미늄이나 금과 같은 재료와 합금화될 수 있으므로 이러한 경우 알루미나 코팅 보트나 바스켓과 같은 대체 재료를 사용해야 합니다.
몰리브덴 및 탄탈륨: 이 금속은 내화성이며 녹는점이 높아 증발 공정에 적합합니다. 텅스텐이 적합하지 않거나 특정 합금 특성이 필요할 때 자주 사용됩니다.
합금 및 증발: 합금을 증발시키는 것은 구성 금속의 증기압이 다르기 때문에 까다로울 수 있습니다. 합금의 증발을 효과적으로 관리하기 위해 별도의 도가니에서 동시 용융 또는 스퍼터링과 같은 기술이 사용됩니다.
박막 증착에 적용: 이러한 금속은 증착 속도와 박막 특성에 대한 정밀한 제어가 필수적인 전자빔 증착과 같은 공정에서 매우 중요합니다. 반사 특성이 제어된 박막을 증착하는 능력은 레이저 광학 및 건축용 유리와 같은 응용 분야에서 유용합니다.
장비 요구 사항: 증착 소스, 특히 보트를 사용하는 증착 소스에는 저전압 및 고전류의 고출력 전원이 필요합니다. 다가닥 텅스텐 필라멘트와 와이어 바스켓은 일반적으로 금속 및 기타 재료를 증발시키는 데 사용되어 재료가 용융 중에 승화되거나 바스켓을 적시지 않도록 합니다.
요약하면, 텅스텐, 몰리브덴, 탄탈륨과 같은 금속은 특히 박막 증착을 위한 고온 진공 기반 공정에 사용될 때 증발할 수 있습니다. 이러한 고유한 특성 덕분에 다양한 산업 및 과학 응용 분야에서 없어서는 안 될 필수 요소입니다.
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