고전력 펄스 마그네트론 스퍼터링(HiPIMS)은 짧은 펄스에 높은 피크 전압을 가하는 기술입니다. 이러한 펄스는 일반적으로 50~200마이크로초 사이에 지속되는 매우 짧은 펄스입니다. 이러한 펄스의 주파수는 약 500Hz입니다. "켜짐" 시간과 "꺼짐" 시간의 비율인 듀티 사이클은 일반적으로 10% 미만입니다. 이는 시스템이 대부분의 시간을 "꺼짐" 상태에서 보낸다는 것을 의미합니다.
4가지 주요 요인 설명
1. 높은 피크 전압
HiPIMS에 적용되는 전압은 피크값이 높은 것이 특징입니다. 이 높은 전압은 효율적인 스퍼터링에 필요한 높은 전력 밀도를 달성하는 데 필수적입니다. 정확한 전압은 특정 설정과 관련된 재료에 따라 달라질 수 있습니다. 그러나 일반적으로 100V ~ 3kV 범위에 속합니다.
2. 짧은 펄스 지속 시간
HiPIMS의 펄스는 일반적으로 50~200마이크로초로 매우 짧습니다. 이 짧은 지속 시간 덕분에 에너지를 짧은 시간에 집중시킬 수 있습니다. 이는 스퍼터링된 입자의 이온화를 향상시키고 연속 DC 스퍼터링에 비해 더 높은 수준의 이온화를 유도합니다. 이러한 높은 이온화 정도는 필름 품질과 접착력을 향상시키는 데 유리합니다.
3. 저주파 및 듀티 사이클
HiPIMS의 펄스 주파수는 약 500Hz로 비교적 낮고 듀티 사이클은 10% 미만입니다. 듀티 사이클이 낮다는 것은 시스템이 대부분의 시간을 "꺼짐" 상태에서 보낸다는 것을 의미합니다. 따라서 펄스 사이의 냉각 및 안정화가 가능합니다. 이러한 간헐적 작동은 온도를 제어하고 대상과 기판의 열 손상을 방지하는 데 도움이 됩니다.
4. 작동 모드
펄스 지속 시간과 주파수에 따라 HiPIMS 시스템은 전압 모드 또는 전류 모드에서 작동할 수 있습니다. 전압 모드에서는 짧은 펄스 및 높은 주파수에 일반적이며 이온 가속을 위한 빠른 전압 변화에 중점을 둡니다. 더 긴 펄스와 더 낮은 주파수에서 더 일반적인 전류 모드에서는 시스템이 스퍼터링 공정을 유지하기 위해 일정한 전류를 유지합니다.
계속 탐색하고 전문가와 상담하세요
킨텍솔루션의 최첨단 HiPIMS 기술로 박막 증착 능력을 향상시키세요. 높은 피크 전압, 최적화된 펄스 지속 시간 및 혁신적인 저주파 작동의 정밀도를 경험해 보십시오. 증착률을 높일 뿐만 아니라 우수한 필름 품질과 열 제어를 보장하는 최고의 스퍼터링 성능을 제공하는 키네텍을 믿으세요.지금 바로 킨텍 솔루션이 최고 수준의 HiPIMS 시스템으로 실험실을 어떻게 강화할 수 있는지 알아보십시오!
