스퍼터링 타겟은 직경 1인치 미만의 작은 타겟부터 길이가 1야드가 넘는 거대한 타겟까지 다양한 크기로 제공됩니다.
스퍼터링 타겟은 어떤 크기일까요? 고려해야 할 5가지 주요 요소
1. 크기 가변성
스퍼터링 타겟의 크기는 생성되는 박막의 특정 요구 사항에 따라 크게 달라집니다.
직경이 1인치 미만인 작은 타겟은 최소한의 재료 증착이 필요한 애플리케이션에 이상적입니다.
반면에 길이가 1야드를 초과할 수 있는 대형 타겟은 상당한 양의 재료 증착이 필요한 애플리케이션에 사용됩니다.
2. 모양 및 커스터마이징
전통적으로 스퍼터링 타겟은 직사각형 또는 원형입니다.
그러나 최신 제조 기술을 통해 정사각형, 삼각형, 회전 타겟과 같은 원통형 등 다양한 형태의 타겟을 생산할 수 있게 되었습니다.
이러한 특수한 형태는 증착 공정을 최적화하도록 설계되어 보다 정밀하고 빠른 증착 속도를 제공합니다.
3. 세분화
초대형 스퍼터링 애플리케이션의 경우, 기술 또는 장비의 한계로 인해 일체형 타겟이 실용적이지 않을 수 있습니다.
이러한 경우 타겟을 더 작은 조각으로 분할한 다음 맞대기 또는 경사진 조인트와 같은 특수 조인트를 사용하여 서로 결합합니다.
이 접근 방식을 사용하면 증착 공정의 무결성을 손상시키지 않고 대형 타겟을 만들 수 있습니다.
4. 표준 및 맞춤형 크기
제조업체는 일반적으로 원형 및 직사각형 타겟 모두에 대해 다양한 표준 크기를 제공합니다.
그러나 맞춤형 요청도 수용하여 고객이 특정 애플리케이션 요구 사항에 가장 적합한 치수를 지정할 수 있습니다.
이러한 유연성 덕분에 다양한 산업 및 응용 분야의 정확한 요구 사항을 충족하도록 스퍼터링 공정을 맞춤화할 수 있습니다.
5. 순도 및 재료 고려 사항
타겟의 크기와 모양만 고려할 것이 아니라 재료의 순도도 중요합니다.
타겟은 금속과 용도에 따라 99.5%에서 99.9999%까지 다양한 순도 레벨로 제공됩니다.
순도 수준이 높을수록 박막의 품질은 향상되지만 재료 비용이 증가할 수 있습니다.
따라서 적절한 순도 수준을 선택하는 것은 비용과 성능 사이의 균형입니다.
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