아르곤은 몇 가지 주요 이유로 인해 스퍼터링에 널리 사용됩니다.
아르곤이 스퍼터링에 사용되는 4가지 주요 이유
높은 스퍼터링 속도
아르곤은 스퍼터링 속도가 높습니다.
이는 원자 질량이 높은 희귀 가스이기 때문입니다.
원자 질량이 높다는 것은 이온화되어 타겟을 향해 가속될 때 아르곤이 충격 시 상당한 운동량을 전달한다는 것을 의미합니다.
이는 표적 원자의 효율적인 방출로 이어집니다.
불활성 특성
아르곤은 화학적으로 불활성입니다.
즉, 다른 원소와 쉽게 반응하지 않습니다.
불활성 특성 덕분에 스퍼터링 기체와 타겟 물질 또는 성장하는 필름 사이에 원치 않는 화학 반응이 일어날 위험이 최소화됩니다.
따라서 증착된 필름이 원하는 화학적 구성과 특성을 유지할 수 있습니다.
저렴한 가격 및 가용성
아르곤은 크립톤이나 크세논과 같은 다른 희귀 가스에 비해 상대적으로 저렴합니다.
광범위한 가용성과 저렴한 비용으로 산업 및 실험실 응용 분야에 실용적인 선택이 될 수 있습니다.
이러한 경제적 요소는 특히 재료 비용이 전체 생산 비용에 큰 영향을 미칠 수 있는 대규모 제조 공정에서 중요한 역할을 합니다.
순수 가스 가용성
아르곤은 고순도로 제공됩니다.
고순도는 불순물이 증착된 필름의 품질에 영향을 미치는 것을 방지하는 데 필수적입니다.
불순물은 전기 전도도나 광학 투명도와 같은 필름의 특성을 저하시킬 수 있습니다.
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