스퍼터링 챔버를 청소하려면 오염을 방지하고 코팅의 품질을 보장하기 위해 높은 수준의 청결도를 유지하는 것이 중요합니다. 자세한 단계와 고려 사항은 다음과 같습니다:
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챔버 및 부품 청소:
- 챔버 청소: 뜨거운 비눗물로 유리 챔버를 닦고 완전히 말리세요. 잘 지워지지 않는 침전물은 주방용 수세미를 사용하세요. 건강 및 안전 문제로 인해 솔벤트를 사용하지 마세요.
- 금속 표면 청소: 금속 표면에는 이소프로필 알코올을 사용하세요. 아세톤은 건강 및 안전 위험이 크고 가스를 배출하는 데 시간이 오래 걸리므로 진공 성능에 영향을 미치므로 피하세요.
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진공 및 가스 품질 유지:
- 진공 수준: 진공 챔버가 일반적으로 10^-6~10^-9 토르 사이의 높은 진공 수준으로 배기되었는지 확인합니다. 이는 증착을 위한 오염 물질 없는 환경을 조성하는 데 매우 중요합니다.
- 스퍼터링 가스: 스퍼터링 가스(아르곤 또는 산소)는 코팅의 조성 특성을 유지하기 위해 세척 및 건조되어야 합니다.
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사전 세척 방법:
- 증착 방법: 증착 방법의 선택은 사전 세정 방법에 영향을 미칩니다. 예를 들어 이온 소스 기술은 스퍼터링 시스템보다 증착 시스템과 더 잘 호환됩니다.
- 세정 깊이: 오염 물질에 따라 필요한 세정 수준을 결정합니다. 탄화수소와 물 분자를 간단하게 제거하려면 낮은 이온 에너지 방법으로 충분합니다. 산화물 층을 제거하려면 더 높은 밀도와 이온 에너지가 필요합니다.
- 적용 범위: 세척 방법의 적용 범위를 고려하세요. RF 글로우 플레이트 및 플라즈마 전처리기와 같은 기술은 넓은 영역을 커버할 수 있는 반면, RF 또는 마이크로파 전처리기 및 원형 이온 소스와 같은 다른 기술은 더 제한적인 커버리지를 제공합니다.
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스퍼터 세정:
- 기술: 진공 상태에서 물리적 스퍼터링을 사용하여 고체 표면을 청소합니다. 이 방법은 표면 과학, 진공 증착 및 이온 도금에 효과적입니다.
- 고려 사항: 과열, 가스 혼입, 표면 손상, 거칠기 등의 잠재적 문제에 주의하세요. 특히 높은 스퍼터링 압력에서 재오염을 방지하고 스퍼터링된 재료의 재증착을 관리하기 위해 깨끗한 플라즈마를 확보해야 합니다.
이러한 세부 단계와 고려 사항을 따르면 스퍼터링 챔버와 그 구성 요소를 효과적으로 세척하여 최적의 성능과 고품질 코팅을 보장할 수 있습니다.
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