MPCVD
인발다이나노다이아몬드 코팅 HFCVD 장비
품목 번호 : MP-CVD-100
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애플리케이션
다이아몬드 작동 원리의 HFCVD 화학 기상 증착은 탄소 함유 분위기를 과포화 수소와 혼합하고 특정 방식으로 활성화한 다음 특정 분위기 조성, 활성화 에너지, 기판 온도 및 기판과 사이의 거리를 통과시킵니다. 활성화 소스 등. 이러한 조건에서 다이아몬드 필름이 바닥 표면에 증착됩니다. 일반적으로 다이아몬드 필름의 핵 생성과 성장은 세 단계로 나눌 수 있다고 믿어집니다.
- 탄소 함유 가스와 라돈 가스는 특정 온도에서 탄소, 수소 원자 및 기타 활성 자유 그룹으로 분해됩니다. 이들은 매트릭스와 결합하여 먼저 매우 얇은 탄화물 전이층을 형성합니다.
- 탄소 원자는 기판에 형성된 전이층에 다이아몬드 핵을 증착합니다.
- 형성된 다이아몬드 결정핵은 적절한 환경에서 다이아몬드 마이크로 아이템으로 성장한 후 다이아몬드 필름으로 성장합니다.
디테일 및 부품
기술 사양
| HFCVD 기술구성 | ||
| 기술적인 매개변수 | 장비 구성 | 시스템 설정 |
| 벨자: Dia. 500mm, 높이 550mm, SUS304 스테인레스 스틸 챔버; 내부 스테인레스 스틸 스킨 단열재, 리프팅 높이는 350mm입니다. | 진공챔버(벨자) 본체세트(재킷형 수냉식 구조) | 진공 챔버(벨자) 본체, 캐비티는 고품질 304 스테인레스 스틸로 만들어졌습니다. 수직 벨자: 재킷형 수냉식 재킷이 벨자의 전체 주변에 설치됩니다. 벨자 내부 벽은 스테인레스 스틸 스킨으로 단열되어 있으며 벨자는 측면에 고정되어 있습니다. 정확하고 안정적인 위치 지정; 관찰창 : 진공챔버 중앙에 수평 배치 200mm 관찰창, 수냉식, 배플, 측면 및 상부 구성 45도 경사각, 50° 관찰창 (수평 관찰창과 동일한 지점 관찰, 시료 지지 플랫폼) ); 두 개의 관찰 창은 기존 위치와 크기를 유지합니다. 벨자 바닥은 벤치 평면보다 20mm 높고 냉각 설정됩니다. 대형 밸브, 공기 배출 밸브, 기압 측정, 바이패스 밸브 등과 같이 평면에 예약된 구멍은 금속 메쉬로 밀봉되고 전극 인터페이스 설치용으로 예약됩니다. |
| 장비 테이블: L1550* W900*H1100mm | 드래그 샘플 테이블 장치 1세트(이중 축 구동 채택) | 샘플 홀더 장치: 스테인레스 스틸 샘플 홀더(용접 수냉식) 6위치 장치; 별도로 조정할 수 있으며 위아래 조정만 가능하며 위아래 조정 범위는 25mm이며 위아래로 이동할 때 왼쪽 및 오른쪽 흔들림은 3% 미만이어야 합니다(즉, 왼쪽 및 오른쪽 흔들림) 1mm 상승 또는 하강은 0.03mm 미만), 상승 또는 하강 시 샘플 스테이지는 회전하지 않습니다. |
| 최대 진공도: 2.0×10-1Pa; | 진공 시스템 세트 | 진공 시스템: 진공 시스템 구성: 기계식 펌프 + 진공 밸브 + 물리적 블리드 밸브 + 주 배기관 + 바이패스; (진공 펌프 공급 업체에서 제공) 진공 밸브는 공압 밸브를 사용합니다. 진공 시스템 측정: 막 압력. |
| 압력 상승 속도: ≤5Pa/h; | 2채널 질량 유량계 가스 공급 시스템 | 가스 공급 시스템: 질량 유량계는 파티 B, 양방향 공기 흡입구로 구성되며 유량은 질량 유량계에 의해 제어되며 양방향 회의 후 상단에서 진공 챔버로 들어가고 내부로 들어갑니다. 공기 흡입 파이프의 50mm |
| 샘플 테이블 이동: 위아래 범위는 ± 25m입니다. 위아래로 ± 3% 정도 좌우 비율을 흔들어야 합니다. | 전극 장치 1세트(2채널) | 전극 장치: 4개의 전극 구멍의 길이 방향은 지지대의 길이 방향과 평행하며, 길이 방향은 직경 200mm의 주 관찰창을 향하고 있습니다. |
| 작동 압력: 멤브레인 게이지 압력 게이지 사용, 측정 범위: 0 ~ 10kPa; 1kPa ~5kPa에서 일정하게 작동하면 일정한 압력 값이 플러스 또는 마이너스 0.1kPa로 변경됩니다. | 냉각수 시스템 세트 | 냉각수 시스템: 벨자, 전극 및 바닥판에는 모두 순환 수냉 파이프라인이 장착되어 있으며 물 흐름 부족 경보 장치 3.7: 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 벨리프팅, 수축, 진공펌프, 간선도로, 바이패스, 경보, 유량, 공기압 등을 위한 스위치, 기구, 기구 및 전원 공급 장치를 스탠드 측면에 설정하고 14인치 터치 스크린으로 제어합니다. ; 장비에는 수동 개입 없이 완전 자동 제어 프로그램이 있으며 데이터를 저장하고 데이터를 호출할 수 있습니다. |
| 공기 흡입구 위치: 벨자 상단의 공기 흡입구, 배기 포트의 위치는 샘플 홀더 바로 아래에 위치합니다. | 제어 시스템 | |
| 제어 시스템: PLC 컨트롤러 + 10인치 터치스크린 | 자동 압력 제어 시스템 세트(독일에서 수입된 원래 압력 제어 밸브) | |
| 팽창 시스템: 2채널 질량 유량계, 유량 범위: 0-2000sccm 및 0-200sccm; 공압 밸브 밸브 | 저항 진공 게이지 | |
| 3.1.10 진공 펌프: D16C 진공 펌프 | ||
장점
나노다이아몬드 복합 코팅 드로잉 다이는 초경합금(WC-Co)을 기판으로 사용하고 화학적 기상법(약칭 CVD법)을 이용하여 기존의 다이아몬드 및 나노다이아몬드 복합 코팅을 내부 표면에 코팅하는 제품입니다. 금형의 구멍. 그리고 코팅을 연삭하고 광택을 낸 후 얻은 새로운 제품입니다. 내부 구멍 표면에 코팅된 나노 다이아몬드 복합 코팅은 기존 다이아몬드 코팅의 강한 접착력과 내마모성 특성을 가질 뿐만 아니라 나노 다이아몬드 코팅의 표면이 평평하고 매끄러우며 마찰이 적다는 장점도 가지고 있습니다. 계수 및 쉬운 연삭 및 연마. 코팅 기술은 코팅 접착의 기술적 문제를 해결할 뿐만 아니라 다이아몬드 코팅 표면의 연마가 쉽지 않다는 병목 현상을 돌파하고 CVD 다이아몬드 필름 산업화의 장애물을 제거합니다.
기술 지표 | 전통적인 드로잉 다이 | 나노 다이아몬드 코팅 드로잉 다이 |
코팅 표면 입자 크기 | 없음 | 20~80nm |
코팅 다이아몬드 함량 | 없음 | ≥99% |
다이아몬드 코팅 두께 | 없음 | 10~15mm |
표면 거칠기 | Ra≤0.1mm | 클래스 A: Ra≤0.1mm 클래스 B: Ra≤0.05mm |
코팅 드로잉 다이 내부 구멍 직경 범위 | Ф3 ~ Ф70mm | Ф3 ~ Ф70mm |
서비스 수명 | 수명은 작업 조건에 따라 다릅니다. | 6~10배 더 길어짐 |
표면마찰계수 | 0.8 | 0.1 |
- 장비의 금형 리프팅 플랫폼의 평행도 및 직진도를 위해 당사에서는 특수 툴링을 특별히 제작했습니다. 2축 리프팅 방식은 양쪽 끝을 약 ±2와이어만큼 올리고 내릴 수 있을 정도로 충분하므로 더 작은 금형을 제작할 수 있습니다.
- 장비의 툴링은 금형의 툴링과 공정을 목표로 툴링에 각 회사의 위치를 통합합니다. 우수한 툴링 및 클램핑, 안정적이고 신뢰할 수 있는 고정밀도, 작동하기 쉽습니다.
- 장비의 차단 밸브의 경우 다른 제조업체에서는 선형으로 조정할 수 없는 배플 밸브를 사용합니다(즉, 열리자마자 간격이 빠르게 증가합니다). 우리 회사는 차단 밸브와 안정적인 압력 제어의 원리에 따라 설계하여 차단 간격을 선형으로 조정하여 안정적인 압력 제어를 달성할 수 있습니다.
- 완전 자동 제어 시스템은 컴퓨터 알고리즘에 따라 자동으로 압력을 제어합니다. 이는 운영자의 무작위성을 줄이고 프로세스의 기밀을 더욱 높일 수 있습니다. 노동력을 절약하고 동일한 사양의 금형 품질 일관성이 더 이상적입니다.
- 리프팅 벨 자의 안정성을 위해 당사는 자체 윤활 베어링을 사용하여 회전을 보다 유연하게 만들고 걸림 현상이 발생하지 않도록 합니다. 기본 공정인 다이아몬드 코팅은 고객의 다이아몬드 코팅 공정에 맞춰 제작 가능합니다.
경고
작업자 안전이 가장 중요한 문제입니다! 주의하여 장비를 작동하십시오. 인화성 및 폭발성 또는 독성 가스로 작업하는 것은 매우 위험하므로 작업자는 장비를 시작하기 전에 필요한 모든 예방 조치를 취해야 합니다. 반응기 또는 챔버 내부에서 양압으로 작업하는 것은 위험하므로 작업자는 안전 절차를 엄격히 준수해야 합니다. 특히 진공 상태에서 공기 반응성 물질을 사용하여 작동할 때는 각별한 주의를 기울여야 합니다. 누출은 장치 안으로 공기를 빨아들여 격렬한 반응을 일으킬 수 있습니다.
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