CVD 및 PECVD 전기로
고객이 만든 다목적 CVD 관상로 CVD 기계
품목 번호 : KT-CTF16
가격은 다음을 기준으로 달라집니다 사양 및 사용자 정의
- 최대 온도
- 1600℃
- 일정한 작업 온도
- 1550℃
- 용광로 튜브 직경
- 60mm
- 가열 영역
- 3x300mm
- 가열 속도
- 0-10℃/분
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애플리케이션
KT-CTF16 고객 맞춤형 다용도 CVD Furnace는 고객 맞춤형 요구 사항에 따라 생산할 수 있어 연구원 전용 장비를 실현할 수 있습니다.
슬라이딩로 챔버, 슬라이딩/회전/틸팅/쉐이킹 퍼니스 반응 튜브, 수직 유동층 반응 챔버, 액체 가스화 공급, 진공 밀봉 연속 공급 및 배출, 독성 배출 수집, 파일럿 CVD 생산 등과 같은 고객이 만든 기능.
특징
- 온도 구배를 제어하면서 더 긴 일정한 온도 필드를 생성할 수 있는 독립적인 가열 영역
- PID 프로그래밍 가능 온도 제어, 우수한 제어 정확도 및 원격 제어 및 중앙 집중식 제어 지원
- 고정밀 MFC 질량 유량계 제어, 소스 가스 사전 혼합 및 안정적인 가스 공급 속도
- 다양한 진공 펌프 스테이션 설정, 우수한 밀봉 및 높은 진공도를 충족하는 다양한 적응 포트가 있는 스테인리스 스틸 진공 플랜지
- KT-CTF16 Pro는 7인치 TFT 터치 스크린 컨트롤러 1개 적용, 보다 친숙한 프로그램 설정 및 이력 데이터 분석
다양한 온도 및 설정 CVD 시스템 사용 가능
기술 사양
| 용광로 모델 | KT-CTF16-60 |
| 최대 온도 | 1600℃ |
| 일정한 작업 온도 | 1550℃ |
| 용광로 튜브 재료 | 고순도 Al2O3 튜브 |
| 용광로 튜브 직경 | 60mm |
| 가열 영역 | 3x300mm |
| 챔버 재질 | 알루미나 다결정 섬유 |
| 발열체 | 실리콘 카바이드 |
| 가열 속도 | 0-10℃/분 |
| 열 커플 | S타입 |
| 온도 조절기 | 디지털 PID 컨트롤러/터치스크린 PID 컨트롤러 |
| 온도 조종 정확도 | ±1℃ |
| 가스 정밀 제어 장치 | |
| 유량계 | MFC 질량 유량계 |
| 가스 채널 | 3채널 |
| 유량 | MFC1: 0-5SCCM 산소 MFC2: 0-20SCMCH4 MFC3: 0- 100SCCM H2 MFC4: 0-500 SCCM N2 |
| 선형성 | ±0.5%FS |
| 반복성 | ±0.2%FS |
| 파이프 라인 및 밸브 | 스테인레스 스틸 |
| 최대 작동 압력 | 0.45MPa |
| 유량계 컨트롤러 | 디지털 노브 컨트롤러/터치 스크린 컨트롤러 |
| 표준 진공 장치(옵션) | |
| 진공 펌프 | 로터리 베인 진공 펌프 |
| 펌프 유량 | 4L/S |
| 진공흡입구 | KF25 |
| 진공 게이지 | Pirani/Resistance 실리콘 진공 게이지 |
| 정격 진공 압력 | 10Pa |
| 고진공 유니트(옵션) | |
| 진공 펌프 | 로터리 베인 펌프 + 분자 펌프 |
| 펌프 유량 | 4L/S+110L/S |
| 진공흡입구 | KF25 |
| 진공 게이지 | 복합 진공 게이지 |
| 정격 진공 압력 | 6x10-5Pa |
| 위의 사양 및 설정은 사용자 정의할 수 있습니다. | |
표준 패키지
| 아니요. | 설명 | 수량 |
| 1 | 노 | 1 |
| 2 | 석영관 | 1 |
| 삼 | 진공 플랜지 | 2 |
| 4 | 튜브 열 블록 | 2 |
| 5 | 튜브 열 블록 후크 | 1 |
| 6 | 내열장갑 | 1 |
| 7 | 정확한 가스 제어 | 1 |
| 8 | 진공 장치 | 1 |
| 9 | 사용 설명서 | 1 |
선택적 설정
- H2, O2 등과 같은 튜브 가스 감지 및 모니터링
- 독립적인 퍼니스 온도 모니터링 및 기록
- PC 원격 제어 및 데이터 내보내기를 위한 RS 485 통신 포트
- 질량 유량계 및 플로트 유량계와 같은 유량 제어를 공급하는 가스 삽입
- 다재다능한 작업자 친화적 기능을 갖춘 터치 스크린 온도 컨트롤러
- 베인 진공 펌프, 분자 펌프, 확산 펌프와 같은 고진공 펌프 스테이션 설정
경고
작업자 안전이 가장 중요한 문제입니다! 주의하여 장비를 작동하십시오. 인화성 및 폭발성 또는 독성 가스로 작업하는 것은 매우 위험하므로 작업자는 장비를 시작하기 전에 필요한 모든 예방 조치를 취해야 합니다. 반응기 또는 챔버 내부에서 양압으로 작업하는 것은 위험하므로 작업자는 안전 절차를 엄격히 준수해야 합니다. 특히 진공 상태에서 공기 반응성 물질을 사용하여 작동할 때는 각별한 주의를 기울여야 합니다. 누출은 장치 안으로 공기를 빨아들여 격렬한 반응을 일으킬 수 있습니다.
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