CVD 및 PECVD 전기로
화학 기상 증착 CVD 장비 시스템 챔버 슬라이드 PECVD 튜브로 액체 기화기 PECVD 기계
품목 번호 : KT-PE12
가격은 다음을 기준으로 달라집니다 사양 및 사용자 정의
- 최고 온도
- 1200 ℃
- 일정한 작업 온도
- 1100 ℃
- 로 튜브 직경
- 60 mm
- 가열 구역 길이
- 1x450 mm
- 가열 속도
- 0-20 ℃/min
- 이동 거리
- 600mm
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소개
액체 기화기 PECVD 기계가 있는 슬라이드 PECVD 튜브로는 다양한 박막 증착 응용 분야를 위해 설계된 다목적 고성능 시스템입니다. 500W RF 플라즈마 소스, 슬라이드 아웃 퍼니스, 정밀 가스 유량 제어 및 진공 스테이션을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 자동 플라즈마 매칭, 고속 가열 및 냉각, 프로그래밍 가능한 온도 제어, 사용자 친화적인 인터페이스와 같은 이점을 제공합니다. 전자, 반도체, 광학을 포함한 다양한 산업 분야에서 박막 증착을 위한 연구 및 생산 환경에서 널리 사용됩니다.
응용 분야
액체 기화기 PECVD 기계가 있는 슬라이드 PECVD 튜브로는 다음에서 응용됩니다.
- 화학 기상 증착 (CVD)
- 플라즈마 강화 화학 기상 증착 (PECVD)
- 박막 증착
- 태양 전지 제조
- 반도체 공정
- 나노 기술
- 재료 과학
- 연구 개발
다양한 온도 및 설정 CVD 시스템 사용 가능
원리
액체 기화기 PECVD 기계가 있는 슬라이드 PECVD 튜브로는 저온 플라즈마를 사용하여 공정 챔버의 음극(샘플 트레이)에서 글로우 방전을 생성합니다. 글로우 방전(또는 다른 열원)은 샘플의 온도를 미리 결정된 수준으로 올립니다. 그런 다음 제어된 양의 공정 가스를 도입하여 화학 및 플라즈마 반응을 거쳐 샘플 표면에 고체 필름을 형성합니다.
특징
액체 기화기 PECVD 기계가 있는 슬라이드 PECVD 튜브로는 사용자에게 많은 이점을 제공합니다.
- 태양 전지 웨이퍼의 전력 생성 향상: 혁신적인 흑연 보트 구조는 태양 전지의 전력 출력을 크게 향상시킵니다.
- 튜브형 PECVD 셀의 색상 차이 제거: 이 장비는 튜브형 PECVD 셀의 색상 변화 문제를 효과적으로 해결합니다.
- 넓은 출력 전력 범위(5-500W): RF 플라즈마 자동 매칭 소스는 다양한 응용 분야에 최적의 성능을 보장하는 다목적 출력 전력 범위를 제공합니다.
- 고속 가열 및 냉각: 퍼니스 챔버 슬라이딩 시스템은 빠른 가열 및 냉각을 가능하게 하여 처리 시간을 줄입니다. 보조 강제 공기 순환은 냉각 속도를 더욱 가속화합니다.
- 자동 슬라이딩 이동: 선택 사항인 슬라이딩 이동 기능은 자동 작동을 허용하여 효율성을 높이고 수동 개입을 줄입니다.
- 정밀 온도 제어: PID 프로그래밍 가능한 온도 제어는 정확한 온도 조절을 보장하며, 편의를 위해 원격 및 중앙 집중식 제어를 지원합니다.
- 고정밀 MFC 질량 유량계 제어: MFC 질량 유량계는 소스 가스를 정밀하게 제어하여 안정적이고 일관된 가스 공급을 보장합니다.
- 다목적 진공 스테이션: 여러 어댑터 포트가 있는 스테인리스 스틸 진공 플랜지는 다양한 진공 펌프 스테이션 구성을 수용하여 높은 진공도를 보장합니다.
- 사용자 친화적인 인터페이스: CTF Pro 7인치 TFT 터치 스크린 컨트롤러는 프로그램 설정을 단순화하고 기록 데이터 분석을 쉽게 할 수 있습니다.
장점
- RF 플라즈마 자동 매칭 소스, 넓은 5-500W 출력 전력 범위 안정적인 출력
- 고속 가열 및 짧은 시간 냉각을 위한 퍼니스 챔버 슬라이딩 시스템, 보조 고속 냉각 및 자동 슬라이딩 이동 가능
- PID 프로그래밍 가능한 온도 제어, 우수한 제어 정확도 및 원격 제어 및 중앙 집중식 제어 지원
- 고정밀 MFC 질량 유량계 제어, 소스 가스 사전 혼합 및 안정적인 가스 공급 속도
- 다양한 어댑터 포트가 있는 스테인리스 스틸 진공 플랜지는 다양한 진공 펌프 스테이션 설정을 충족하며, 우수한 밀봉 및 높은 진공도
- CTF Pro는 7인치 TFT 터치 스크린 컨트롤러를 사용하여 보다 사용자 친화적인 프로그램 설정 및 기록 데이터 분석
안전 이점
- Kindle Tech 튜브 퍼니스는 과전류 보호 및 과열 경보 기능을 갖추고 있으며, 퍼니스는 자동으로 전원을 차단합니다.
- 퍼니스 내부에 열전대 감지 기능이 내장되어 있으며, 파손 또는 고장이 감지되면 퍼니스가 가열을 중지하고 경보가 울립니다.
- PE Pro는 정전 후 재시작 기능을 지원하며, 정전 후 전원이 들어오면 퍼니스가 퍼니스 가열 프로그램을 재개합니다.
기술 사양
| 퍼니스 모델 | KT-PE12-60 |
| 최대 온도 | 1200℃ |
| 일정한 작업 온도 | 1100℃ |
| 퍼니스 튜브 재질 | 고순도 석영 |
| 퍼니스 튜브 직경 | 60mm |
| 가열 구역 길이 | 1x450mm |
| 챔버 재질 | 일본 알루미나 섬유 |
| 가열 요소 | Cr2Al2Mo2 와이어 코일 |
| 가열 속도 | 0-20℃/min |
| 열전대 | 내장 K 타입 |
| 온도 컨트롤러 | 디지털 PID 컨트롤러/터치 스크린 PID 컨트롤러 |
| 온도 제어 정확도 | ±1℃ |
| 슬라이딩 거리 | 600mm |
| RF 플라즈마 장치 | |
| 출력 전력 | ± 1% 안정성으로 5-500W 조절 가능 |
| RF 주파수 | 13.56 MHz ±0.005% 안정성 |
| 반사 전력 | 최대 350W |
| 매칭 | 자동 |
| 소음 | <50 dB |
| 냉각 | 공기 냉각. |
| 가스 정밀 제어 장치 | |
| 유량계 | MFC 질량 유량계 |
| 가스 채널 | 4 채널 |
| 유량 | MFC1: 0-5SCCM O2 MFC2: 0-20SCMCH4 MFC3: 0-100SCCM H2 MFC4: 0-500 SCCM N2 |
| 직선성 | ±0.5% F.S. |
| 반복성 | ±0.2% F.S. |
| 파이프 라인 및 밸브 | 스테인리스 스틸 |
| 최대 작동 압력 | 0.45MPa |
| 유량계 컨트롤러 | 디지털 노브 컨트롤러/터치 스크린 컨트롤러 |
| 표준 진공 장치(선택 사항) | |
| 진공 펌프 | 로터리 베인 진공 펌프 |
| 펌프 유량 | 4L/S |
| 진공 흡입구 | KF25 |
| 진공 게이지 | 피라니/저항 실리콘 진공 게이지 |
| 정격 진공 압력 | 10Pa |
| 고진공 장치(선택 사항) | |
| 진공 펌프 | 로터리 베인 펌프 + 분자 펌프 |
| 펌프 유량 | 4L/S+110L/S |
| 진공 흡입구 | KF25 |
| 진공 게이지 | 복합 진공 게이지 |
| 정격 진공 압력 | 6x10-4Pa |
| 위 사양 및 설정은 맞춤 설정 가능 | |
표준 패키지
| 번호 | 설명 | 수량 |
| 1 | 퍼니스 | 1 |
| 2 | 석영 튜브 | 1 |
| 3 | 진공 플랜지 | 2 |
| 4 | 튜브 열 블록 | 2 |
| 5 | 튜브 열 블록 후크 | 1 |
| 6 | 내열 장갑 | 1 |
| 7 | RF 플라즈마 소스 | 1 |
| 8 | 정밀 가스 제어 | 1 |
| 9 | 진공 장치 | 1 |
| 10 | 작동 설명서 | 1 |
선택 사항 설정
- 튜브 내 가스 감지 및 모니터링(예: H2, O2 등)
- 독립적인 퍼니스 온도 모니터링 및 기록
- PC 원격 제어 및 데이터 내보내기를 위한 RS 485 통신 포트
- 질량 유량계 및 플로트 유량계와 같은 삽입 가스 공급 유량 제어
- 다양한 사용자 친화적인 기능이 있는 터치 스크린 온도 컨트롤러
- 고진공 펌프 스테이션 설정(예: 베인 진공 펌프, 분자 펌프, 확산 펌프)
경고
작업자 안전이 가장 중요한 문제입니다! 주의하여 장비를 작동하십시오. 인화성 및 폭발성 또는 독성 가스로 작업하는 것은 매우 위험하므로 작업자는 장비를 시작하기 전에 필요한 모든 예방 조치를 취해야 합니다. 반응기 또는 챔버 내부에서 양압으로 작업하는 것은 위험하므로 작업자는 안전 절차를 엄격히 준수해야 합니다. 특히 진공 상태에서 공기 반응성 물질을 사용하여 작동할 때는 각별한 주의를 기울여야 합니다. 누출은 장치 안으로 공기를 빨아들여 격렬한 반응을 일으킬 수 있습니다.
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FAQ
PECVD 방법이란?
MPCVD란 무엇입니까?
PECVD는 무엇을 위해 사용됩니까?
MPcvd 머신이란 무엇입니까?
PECVD의 장점은 무엇입니까?
MPcvd의 장점은 무엇입니까?
ALD와 PECVD의 차이점은 무엇입니까?
CVD 다이아몬드는 진짜입니까 아니면 가짜입니까?
PECVD와 스퍼터링의 차이점은 무엇입니까?
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