CVD 및 PECVD 전기로
플라즈마 강화 증발 증착 PECVD 코팅기
품목 번호 : KT-PED
가격은 다음을 기준으로 달라집니다 사양 및 사용자 정의
- 샘플 홀더 가열 온도
- ≤800℃
- 가스 퍼지 채널
- 4채널
- 진공 챔버 챔버 크기
- Φ500mm × 550mm
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애플리케이션
PECVD 코팅 장비는 증착의 화학 반응을 촉진하기 위해 플라즈마를 사용하므로 기상 화학 증착은 낮은 온도에서 고품질의 고체 필름을 형성할 수 있습니다.
PECVD 코팅 장비의 응용 분야는 주로 LED 조명, 전력 반도체, MEMS 등입니다. SiO2(SiH4, TEOS), SiNx, SiOxNy 및 기타 매체 필름의 증착 및 SiO 후막의 고속 증착에 적합합니다. PSS 복합 기판에.
기술 사양
| 샘플 홀더 | 크기 | 1-6인치 |
| 회전 속도 | 0-20rpm 조절 가능 | |
| 가열 온도 | ≤800℃ | |
| 제어 정확도 | ±0.5℃ SHIMADEN PID 컨트롤러 | |
| 가스 퍼지 | 유량계 | 질량 유량계 컨트롤러(MFC) |
| 채널 | 4채널 | |
| 냉각 방식 | 순환 수냉식 | |
| 진공 챔버 | 챔버 크기 | Φ500mm X 550mm |
| 전망대 | 배플이 있는 풀 뷰 포트 | |
| 챔버 재질 | 316 스테인레스 스틸 | |
| 문 유형 | 전면 개방형 도어 | |
| 캡 재질 | 304 스테인레스 스틸 | |
| 진공 펌프 포트 | CF200 플랜지 | |
| 가스 입구 포트 | φ6 VCR 커넥터 | |
| 플라즈마 파워 | 소스 전원 | DC 전원 또는 RF 전원 |
| 커플링 모드 | 유도 결합 또는 플레이트 용량성 | |
| 출력 파워 | 500W~1000W | |
| 바이어스 전력 | 500v | |
| 진공 펌프 | 사전 펌프 | 15L/S 바람개비 진공 펌프 |
| 터보 펌프 포트 | CF150/CF200 620L/S-1600L/S | |
| 릴리프 포트 | KF25 | |
| 펌프 속도 | 바람개비 펌프: 15L/s, 터보 펌프: 1200l/s ~ 1600l/s | |
| 진공 정도 | ≤5×10-5Pa | |
| 진공 센서 | 이온화/저항 진공 게이지/필름 게이지 | |
| 체계 | 전력 공급 | AC 220V /380 50Hz |
| 정격 전력 | 5kW | |
| 치수 | 900mm X 820mm X870mm | |
| 무게 | 200kg |
경고
작업자 안전이 가장 중요한 문제입니다! 주의하여 장비를 작동하십시오. 인화성 및 폭발성 또는 독성 가스로 작업하는 것은 매우 위험하므로 작업자는 장비를 시작하기 전에 필요한 모든 예방 조치를 취해야 합니다. 반응기 또는 챔버 내부에서 양압으로 작업하는 것은 위험하므로 작업자는 안전 절차를 엄격히 준수해야 합니다. 특히 진공 상태에서 공기 반응성 물질을 사용하여 작동할 때는 각별한 주의를 기울여야 합니다. 누출은 장치 안으로 공기를 빨아들여 격렬한 반응을 일으킬 수 있습니다.
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FAQ
MPCVD란 무엇입니까?
PECVD 방법이란?
MPcvd 머신이란 무엇입니까?
PECVD는 무엇을 위해 사용됩니까?
MPcvd의 장점은 무엇입니까?
PECVD의 장점은 무엇입니까?
CVD 다이아몬드는 진짜입니까 아니면 가짜입니까?
ALD와 PECVD의 차이점은 무엇입니까?
PECVD와 스퍼터링의 차이점은 무엇입니까?
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