RF PECVD 시스템 고주파 플라즈마 강화 화학 기상 증착 RF PECVD

소개

고주파 플라즈마 강화 화학 기상 증착(RF PECVD)은 플라즈마를 사용하여 화학 기상 증착 공정을 강화하는 박막 증착 기술입니다. 이 공정은 금속, 유전체, 반도체를 포함한 다양한 재료를 증착하는 데 사용됩니다. RF PECVD는 두께, 조성, 형태를 포함한 광범위한 특성을 가진 필름을 증착하는 데 사용할 수 있는 다목적 기술입니다.

응용 분야

박막 증착 분야의 혁신적인 기술인 RF-PECVD는 다음과 같은 다양한 산업 분야에서 널리 응용됩니다.

• 광학 부품 및 장치 제작
• 반도체 장치 제조
• 보호 코팅 생산
• 마이크로일렉트로닉스 및 MEMS 개발
• 신소재 합성

구성 요소 및 기능

고주파 플라즈마 강화 화학 기상 증착(RF PECVD)은 전구체 가스를 이온화하는 플라즈마를 생성하기 위해 고주파 발생기를 사용하여 기판에 박막을 증착하는 기술입니다. 이온화된 가스는 서로 반응하여 기판에 증착되어 박막을 형성합니다. RF PECVD는 일반적으로 3-12um 적외선 파장 범위의 응용 분야를 위해 게르마늄 및 실리콘 기판에 다이아몬드 유사 탄소(DLC) 필름을 증착하는 데 사용됩니다.

진공 챔버, 진공 펌핑 시스템, 음극 및 양극 타겟, RF 소스, 팽창 가능한 가스 혼합 시스템, 컴퓨터 제어 캐비닛 시스템 등으로 구성된 이 장치는 원활한 원 버튼 코팅, 공정 저장 및 검색, 경보 기능, 신호 및 밸브 전환, 포괄적인 공정 작업 로깅을 가능하게 합니다.

세부 정보 및 예시

특징

RF-PECVD 시스템 고주파 플라즈마 강화 화학 기상 증착의 특징:

• 원 버튼 코팅: 코팅 공정을 단순화하여 사용자가 쉽게 작동할 수 있습니다.
• 공정 저장 및 검색: 사용자가 공정 매개변수를 저장하고 검색할 수 있어 일관된 결과를 보장합니다.
• 경보 기능: 코팅 공정 중 발생하는 모든 문제나 오류를 사용자에게 알려 가동 중지 시간을 최소화합니다.
• 신호 및 밸브 전환: 코팅 공정을 정밀하게 제어하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다.
• 포괄적인 공정 작업 로깅: 모든 공정 매개변수를 기록하여 코팅 공정을 추적하고 분석하기 쉽습니다.
• 진공 챔버, 진공 펌핑 시스템, 음극 및 양극 타겟, RF 소스, 팽창 가능한 가스 혼합 시스템, 컴퓨터 제어 캐비닛 시스템: 코팅 공정을 위한 안정적이고 제어된 환경을 보장합니다.

장점

• 저온에서 고품질 필름 증착, 온도에 민감한 기판에 적합합니다.
• 필름 두께 및 조성에 대한 정밀한 제어.
• 복잡한 형상에 대한 균일하고 등각적인 필름 증착.
• 낮은 입자 오염 및 고순도 필름.
• 대량 생산을 위한 확장 가능하고 비용 효율적인 공정.
• 유해 폐기물 발생을 최소화하는 환경 친화적인 공정.

기술 사양

주요 장비 부분

진공 시스템

가열 시스템

• 가열 방식: 요오드 텅스텐 램프 가열 방식;
• 전력 조절기: 디지털 전력 조절기;
• 가열 온도: 최대 온도 200°C, 전력 2000W/220V, 제어 가능 및 조절 가능한 디스플레이, ±2°C 제어;
• 연결 방법: 빠른 삽입 및 빠른 추출, 오염 방지를 위한 금속 차폐 커버, 격리된 전원 공급 장치로 인력 안전 보장.

RF 고주파 전원 공급 장치

• 주파수: RF 주파수 13.56MHZ;
• 전력: 0-2000W 연속 조절 가능;
• 기능: 완전 자동 임피던스 매칭 기능 조정, 반사 기능을 매우 낮게 유지하기 위한 완전 자동 조정, 0.5% 이내의 내부 반사, 수동 및 자동 변환 조정 기능 포함;
• 디스플레이: 바이어스 전압, CT 커패시터 위치, RT 커패시터 위치, 설정 전력, 반사 기능 디스플레이, 통신 기능 포함, 터치 스크린과 통신, 구성 소프트웨어에서 매개변수 설정 및 표시, 튜닝 라인 디스플레이 등.

음극 양극 타겟

• 양극 타겟: φ300mm 구리 기판을 음극 타겟으로 사용하며, 작동 시 온도가 낮아 냉각수가 필요 없습니다.
• 음극 타겟: φ200mm 구리 수냉 음극 타겟, 작동 시 온도가 높으며 내부에는 냉각수가 있어 작업 중 일정한 온도를 유지합니다. 양극과 음극 타겟 사이의 최대 거리는 100-250mm입니다.

가스 주입 제어

• 유량계: 4방향 영국 유량계 사용, 유량 0-200SCCM, 압력 디스플레이, 통신 설정 매개변수, 가스 종류 설정 가능;
• 정지 밸브: Qixing Huachuang DJ2C-VUG6 정지 밸브, 유량계와 함께 작동, 가스를 혼합하고 환형 주입 장치를 통해 챔버에 채우고 타겟 표면을 통해 균일하게 흐릅니다.
• 전단 가스 저장 병: 주로 플러싱 변환 병으로, C4H10 액체를 기화시킨 후 유량계의 전단 파이프라인으로 들어갑니다. 가스 저장 병에는 압력 디지털 디스플레이 DSP 계측기가 있어 압력 과압 및 저압 경보 프롬프트를 수행합니다.
• 혼합 가스 버퍼 병: 버퍼 병은 후단에서 4가지 가스를 혼합합니다. 혼합 후 버퍼 병에서 챔버 하단으로 한 방향, 상단으로 한 방향으로 출력되며, 하나는 독립적으로 닫을 수 있습니다.
• 주입 장치: 챔버 본체의 가스 회로 출구에 있는 균일한 가스 파이프라인으로, 타겟 표면에 균일하게 충전하여 코팅이 더 균일하도록 합니다.

제어 시스템

• 터치 스크린: TPC1570GI 터치 스크린을 호스트 컴퓨터 + 키보드 및 마우스로 사용;
• 제어 소프트웨어: 표 형식의 공정 매개변수 설정, 경보 매개변수 디스플레이, 진공 매개변수 디스플레이 및 곡선 디스플레이, RF 전원 공급 장치 및 DC 직류 전원 공급 장치 매개변수 설정 및 디스플레이, 모든 밸브 및 스위치 작동 상태 기록, 공정 기록, 경보 기록, 진공 기록 매개변수, 약 6개월 동안 저장 가능하며, 전체 장비의 공정 작업은 1초마다 저장됩니다.
• PLC: 옴론 PLC를 하위 컴퓨터로 사용하여 다양한 구성 요소 및 위치 스위치의 데이터를 수집하고, 밸브 및 다양한 구성 요소를 제어하며, 구성 소프트웨어와 데이터 상호 작용, 디스플레이 및 제어를 수행합니다. 이는 더 안전하고 신뢰할 수 있습니다.
• 제어 상태: 원 버튼 코팅, 자동 진공, 자동 상수도, 자동 가열, 자동 다층 공정 증착, 픽업 및 기타 작업의 자동 완료;
• 터치 스크린의 장점: 터치 스크린 제어 소프트웨어는 변경할 수 없으며, 안정적인 작동이 더 편리하고 유연하지만, 저장된 데이터 양은 제한적이며, 매개변수는 직접 내보낼 수 있고, 공정에 문제가 발생할 경우; 6. 경보: 음향 및 광학 경보 모드를 채택하고, 구성 경보 매개변수 라이브러리에 경보를 기록합니다. 향후 언제든지 조회할 수 있으며, 저장된 데이터는 언제든지 조회하고 호출할 수 있습니다.

상수도

• 버터플라이 밸브 상수도: DN80 버터플라이 밸브는 Inficon CDG025 용량성 필름 게이지와 협력하여 상수도 작동, 단점은 밸브 포트가 오염되기 쉽고 청소하기 어렵다는 것입니다.
• 밸브 위치 모드: 위치 제어 모드 설정.

물, 전기, 가스

• 주 입수 및 배수 파이프는 스테인리스 스틸로 제작되었으며 비상 입수구가 장착되어 있습니다.
• 진공 챔버 외부의 모든 수냉 파이프는 스테인리스 스틸 빠른 연결 고정 조인트와 플라스틱 고압 (고품질 수도관, 누출이나 파손 없이 장기간 사용 가능)을 채택하며, 입수 및 배수 플라스틱 고압 수도관은 두 가지 다른 색상으로 표시되고 해당 표시가 있어야 합니다. 브랜드 Airtek;
• 진공 챔버 내부의 모든 수냉 튜브는 고품질 SUS304 재질로 제작됩니다.
• 수 회로 및 가스 회로는 각각 안전하고 신뢰할 수 있는 고정밀 디스플레이 수압 및 공기압 계측기가 설치되어 있습니다.
• 탄소 필름 기계의 수류를 위해 8P 냉각기 장착.
• 6KW 온수기 세트 장착, 문을 열면 온수가 방을 통과합니다.

안전 보호 요구 사항

• 기계에는 경보 장치가 장착되어 있습니다.
• 수압 또는 공기압이 지정된 유량에 도달하지 않으면 모든 진공 펌프 및 밸브가 보호되고 시작할 수 없으며 경보음 및 빨간색 신호등이 표시됩니다.
• 기계가 정상 작동 중일 때, 수압 또는 공기압이 갑자기 부족하면 모든 밸브가 자동으로 닫히고 경보음 및 빨간색 신호등이 표시됩니다.
• 운영 체제가 비정상일 경우 (고전압, 이온 소스, 제어 시스템), 경보음 및 빨간색 신호등이 표시됩니다.
• 고전압이 켜져 있고 보호 경보 장치가 있습니다.

작업 환경 요구 사항

• 주변 온도: 10～35℃;
• 상대 습도: 80% 이하;
• 장비 주변 환경은 깨끗하고 공기가 깨끗해야 합니다. 전기 제품 및 기타 금속 표면을 부식시키거나 금속 간 전기 전도를 유발할 수 있는 먼지나 가스가 없어야 합니다.

장비 전원 요구 사항

• 수원: 산업용 연수, 수압 0.2~0.3Mpa, 수량 ~60L/min, 입수 온도 ≤25°C; 수도관 연결 1.5인치;
• 공기 공급원: 공기 압력 0.6MPa;
• 전원: 3상 5선식 380V, 50Hz, 전압 변동 범위: 선간 전압 342 ~ 399V, 상 전압 198 ~ 231V; 주파수 변동 범위: 49 ~ 51Hz; 장비 전력 소비: ~ 16KW; 접지 저항 ≤ 1Ω;
• 호이스트 요구 사항: 자체 제공 3톤 크레인, 호이스트 도어 2000X2200mm 이상

경고

작업자 안전이 가장 중요한 문제입니다! 주의하여 장비를 작동하십시오. 인화성 및 폭발성 또는 독성 가스로 작업하는 것은 매우 위험하므로 작업자는 장비를 시작하기 전에 필요한 모든 예방 조치를 취해야 합니다. 반응기 또는 챔버 내부에서 양압으로 작업하는 것은 위험하므로 작업자는 안전 절차를 엄격히 준수해야 합니다. 특히 진공 상태에서 공기 반응성 물질을 사용하여 작동할 때는 각별한 주의를 기울여야 합니다. 누출은 장치 안으로 공기를 빨아들여 격렬한 반응을 일으킬 수 있습니다.

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