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CVD 붕소 도핑 다이아몬드

CVD 재료

CVD 붕소 도핑 다이아몬드

품목 번호 : cvdm-07

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지름
100mm
두께
0.3-2mm
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소개

화학 기상 증착(CVD) 붕소 도핑 다이아몬드는 다이아몬드의 놀라운 특성과 제어 가능한 전기 전도성을 결합한 독특한 소재입니다. CVD 성장 중에 다이아몬드 격자에 붕소 원자를 정확하게 도입함으로써 절연성부터 고전도성까지 맞춤형 전기적 특성을 지닌 다용도 소재가 됩니다. 이를 통해 전자, 센서, 열 관리, 광학 및 양자 기술 분야의 다양한 응용이 가능합니다.

CVD 붕소 도핑 다이아몬드

응용

화학 기상 증착(CVD) 붕소 도핑 다이아몬드는 탁월한 특성을 지닌 다용도 소재로, 전자제품부터 양자 기술까지 다양한 산업 분야의 과제에 대한 고유한 솔루션을 제공합니다. 지속적인 개발과 다양한 응용 분야와의 통합은 향후 기술 및 과학 연구 발전에 큰 가능성을 제시합니다.

  • 전자 제품: 고전력 전자 장치, 고주파 트랜지스터, 다이오드, 전계 효과 트랜지스터(FET)
  • 센서: 온도, 압력, 방사선, 가스 조성
  • 열 관리: 열 분산기, 방열판, 열 관리 솔루션
  • 광학 및 포토닉스: 양자광학 실험을 위한 광학창, 렌즈, 기판
  • 양자 기술: 양자 컴퓨팅, 양자 통신, 양자 감지 애플리케이션

특징

  • 뛰어난 열 전도성: CVD 붕소 도핑 다이아몬드는 뛰어난 열 전도성을 갖고 있어 고전력 전자 장치, 레이저 시스템 및 마이크로 전자 장치에서 열을 효율적으로 분산시킬 수 있습니다.

  • 맞춤형 전기 전도도: CVD 성장 공정 중 붕소 농도의 정밀한 제어를 통해 CVD 붕소 도핑 다이아몬드의 전기 전도도는 절연에서 고전도까지 광범위한 범위에 걸쳐 맞춤화될 수 있습니다.

  • 넓은 스펙트럼 투명성: CVD 붕소 도핑 다이아몬드는 넓은 스펙트럼 범위에 걸쳐 투명성을 나타내므로 광학 창 및 렌즈와 같은 광학 및 포토닉스 응용 분야에 적합합니다.

  • 컬러 센터 호스팅: 붕소가 첨가된 다이아몬드는 고유한 광학 특성을 나타내는 다이아몬드 격자의 결함인 컬러 센터를 호스팅할 수 있습니다. 이러한 컬러 센터는 양자 광학 실험 및 양자 정보 처리에 응용됩니다.

  • 높은 항복 전압: CVD 붕소 도핑 다이아몬드는 높은 항복 전압을 견딜 수 있어 열악한 환경에서 작동하는 고전력 전자 장치에 이상적입니다.

  • 높은 캐리어 이동성: 붕소가 도핑된 다이아몬드는 높은 캐리어 이동성을 갖고 있어 전자 장치의 스위칭 속도를 높이고 성능을 향상시킬 수 있습니다.

  • 넓은 전위 창: 붕소 도핑된 다이아몬드는 약 3.5V의 넓은 전위 창을 갖고 있어 "과전압"을 적용하여 고에너지 화학 반응을 자극할 수 있습니다.

  • 낮은 배경 전류: 붕소 도핑된 다이아몬드 전극은 전해질 용액과 반도체와 같은 경계면에 있는 작은 정전용량 층으로 인해 순환 전압전류법 스캔에서 낮은 배경 전류를 나타냅니다.

  • 화학적 불활성: CVD 붕소 도핑 다이아몬드는 화학적으로 불활성이므로 부식에 강하고 열악한 환경에 적합합니다.

  • 양자 특성: 붕소 도핑 다이아몬드는 긴 일관성 시간과 실온에서 개별 양자 비트(큐비트)를 호스팅하는 능력으로 인해 양자 컴퓨팅, 양자 통신 및 양자 감지와 같은 양자 기술에서 유망한 응용 분야를 가지고 있습니다.

원칙

화학 기상 증착(CVD) 붕소 도핑 다이아몬드는 CVD 성장 과정에서 다이아몬드 격자에 붕소 원자를 도입하여 생성됩니다. 이 도핑 공정은 재료의 전기 전도도를 제어하여 절연성에서 고전도성까지 맞춤화가 가능합니다.

장점

  • 반도체 거동: 붕소 도핑은 다이아몬드 격자에 전하 캐리어를 도입하여 절연부터 고전도까지 전기 전도도를 제어할 수 있게 하여 다양한 전자 응용 분야에 적합하게 만듭니다.

  • 높은 열전도율: 붕소가 첨가된 다이아몬드는 다른 반도체를 능가하는 탁월한 열전도율을 갖고 있어 고출력 전자 장치, 레이저 시스템 및 마이크로전자공학에서 효율적인 열 방출을 가능하게 합니다.

  • 넓은 스펙트럼 투명성: 붕소가 첨가된 다이아몬드는 자외선부터 적외선까지 넓은 스펙트럼 범위에 걸쳐 투명성을 나타내므로 광학 창, 렌즈, 광학 및 포토닉스 응용 분야에 유용합니다.

  • 컬러 센터: 붕소 도핑 다이아몬드는 고유한 광학 및 스핀 특성을 지닌 원자 규모 결함인 컬러 센터를 호스팅할 수 있습니다. 이러한 컬러 센터는 양자 컴퓨팅, 양자 통신 및 양자 감지를 포함한 양자 기술의 응용 분야를 찾습니다.

  • 화학적 불활성: 붕소 도핑된 다이아몬드는 화학적으로 불활성이고 열악한 환경에 강하며 다양한 화학 물질과 호환되므로 부식성 또는 극한 조건의 응용 분야에 적합합니다.

  • 기계적 경도: 붕소가 첨가된 다이아몬드는 다이아몬드의 뛰어난 기계적 경도를 이어받아 까다로운 응용 분야에서도 내구성과 마모에 대한 저항성을 제공합니다.

  • 맞춤형 전기적 특성: CVD 성장 공정 중에 붕소 원자의 농도를 정밀하게 제어할 수 있으므로 재료의 전기 전도성을 넓은 범위에 걸쳐 맞춤화할 수 있어 특정 응용 분야에 맞게 최적화할 수 있습니다.

  • 저온 증착: 화학 기상 증착(CVD) 공정은 일반적으로 저온에서 수행되므로 광범위한 기판과 통합되고 다양한 장치 제조 공정과 호환됩니다.

  • 산업 호환성: CVD 붕소 도핑 다이아몬드는 산업 제조 공정과 호환되므로 확장 가능하고 비용 효율적인 생산이 가능하므로 대량 응용 분야에 적합합니다.

사양

사용 가능한 측정기준: 직경100mm, 두께 0.3-2mm
붕소 농도 [B]: 2 ~ 6 x 1020 원자/cm3, 평균 0.16 mm2 이상
벌크 저항률(Rv): 2~1.8 x 10-3Ω·m, ± 0.25 x 10-3Ω·m
용매 창: >3.0V

FAQ

화학 기상 증착(CVD) 붕소 도핑 다이아몬드의 주요 장점과 응용 분야는 무엇입니까?

CVD 붕소 도핑 다이아몬드는 높은 열 전도성, 기계적 경도, 광학적 투명성, 제어된 전기 전도성 등 탁월한 특성을 제공합니다. 이러한 장점으로 인해 전자, 감지, 열 관리, 광학 및 양자 기술에 가치가 있습니다.

다이아몬드 필름 성장 중에 붕소 도핑은 어떻게 이루어지나요?

붕소 원자는 증착 공정 중에 디보란 또는 트리메틸 보란과 같은 붕소 함유 가스를 성장 챔버에 추가하여 다이아몬드 격자에 도입됩니다. 이러한 의도적인 도핑을 통해 재료의 전기 전도성을 정밀하게 제어할 수 있습니다.

붕소 원자의 농도와 다이아몬드 필름의 전기 전도도 사이에는 어떤 관계가 있습니까?

낮은 도핑 수준(10^19 원자 cm−3 이하)에서 다이아몬드 필름은 반도체처럼 동작합니다. 도핑 농도가 증가함에 따라 필름은 전기 전도도가 높은 반금속 상태(≥10^20 원자 cm−3)로 전환됩니다.

다이아몬드 필름의 전기 전도성을 어떻게 맞춤화할 수 있나요?

다이아몬드 필름의 전기 전도성은 성장 과정에서 붕소 원자의 농도를 정밀하게 제어하여 원하는 재료 특성을 허용함으로써 맞춤화될 수 있습니다.

붕소 도핑된 다이아몬드 필름 제조와 관련된 제한 사항이나 과제는 무엇입니까?

붕소가 도핑된 다이아몬드 필름은 증착 공정에 사용되는 뜨거운 필라멘트로 인해 오염이 발생할 수 있습니다. 또한 필라멘트의 변형과 불균일한 기판 온도 분포로 인해 제작 중에 문제가 발생할 수 있습니다.
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