제품 열 장비 MPCVD 915MHz MPCVD 다이아몬드 기계
915MHz MPCVD 다이아몬드 기계

MPCVD

915MHz MPCVD 다이아몬드 기계

품목 번호 : MP-CVD-101

가격은 다음을 기준으로 달라집니다 사양 및 사용자 정의


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소개하다

MPCVD는 마이크로파 플라즈마 화학 기상 증착을 의미합니다. 이는 연속 마이크로파 소스를 사용하여 반응하는 화학 물질과 필요한 촉매로 구성된 반응성이 높은 플라즈마를 생성하고 유지하는 화학 기상 증착 공정입니다. 이 공정은 기판 표면에 다이아몬드 박막을 증착하는 데 사용됩니다.

MPCVD 시스템은 증착 공정이 이루어지는 진공 챔버, 마이크로파 발생기 및 가스 전달 시스템으로 구성됩니다. 일반적으로 마그네트론 또는 클라이스트론인 마이크로파 발생기는 2.45GHz 범위의 마이크로파를 생성하며, 이는 석영 창을 통해 진공 챔버에 연결됩니다. 질량 흐름 컨트롤러(MFC)가 장착된 가스 전달 시스템은 진공 챔버로의 가스 흐름을 제어합니다.

애플리케이션

MPCVD는 마이크로파 플라즈마 화학 기상 증착을 의미합니다. 탄소 함유 가스와 마이크로파 플라즈마를 이용하여 실험실에서 고품질의 다이아몬드 필름을 성장시키는 방법입니다. 이는 연속 마이크로파 소스를 활용하여 반응 화학물질과 필요한 촉매로 구성된 반응성이 높은 플라즈마를 생성하고 유지합니다. 이는 일반적으로 ANFF 네트워크에서 다이아몬드 층을 증착하는 데 사용됩니다. 메탄과 수소는 다이아몬드 종자 기판에서 새로운 다이아몬드를 성장시키기 위한 가스 전구체로 도입됩니다. 또한 MPCVD에 사용되는 KINTEK 장비는 성장 과정에서 탄소 구조에 도펀트를 도입할 수 있습니다. 여기에는 초전도 다이아몬드를 생성하는 붕소와 같은 도펀트와 양자 정보 시스템에 사용할 수 있는 흥미로운 광발광 특성을 생성하는 질소 공극이 포함됩니다.

디테일 및 부품

기술 사양

전자레인지 시스템(옵션 전원 공급 장치에 따름)

  • 작동 주파수: 915±15MHz
  • 출력 전력: 3-75kW 지속적으로 조정 가능
  • 냉각수 흐름: 120/min
  • 시스템 정재파 계수: VSWR≤1.5
  • 마이크로파 누출:<2mw/cm2

진공 시스템 및 반응 챔버

  • 누설률 <5×10-9Pa.m3/s
  • 최종 압력은 0.7Pa 미만입니다(이 기계에는 수입된 피라니 진공 게이지가 함께 제공됩니다).
  • 압력을 유지한 후 12시간 후에 캐비티의 압력 상승은 50Pa를 초과해서는 안 됩니다.
  • 반응 챔버 작동 모드: TM021 또는 TM023 모드
  • 캐비티 유형: 냉각된 원통형 캐비티는 최대 75KW의 전력을 운반할 수 있으며 순도가 높으며 스톤 링 씰입니다.
  • 입구 방식: 상단 스프링클러 헤드 입구.
  • 관찰 온도 측정 창: 8개의 관찰 구멍이 수평으로 고르게 분포되어 있습니다.
  • 샘플링 포트: 하단 리프팅 샘플링 포트

샘플 홀더 시스템

  • 샘플 스테이지 직경 ≥200mm, 단결정 유효 사용 영역 ≥130mm, 다결정의 유효 사용 영역은 ≥200mm입니다. 기판 플랫폼 수냉식 샌드위치 구조, 수직 수직 위아래.

가스 시스템

  • 전체 금속 용접 가스 플레이트 5-7 가스 라인
  • 장비의 모든 내부 공기 회로는 용접 또는 VCR 커넥터를 사용합니다.

시스템 냉각

  • 3방향 수냉식, 온도 및 유량의 실시간 모니터링.
  • 시스템 냉각수 유량 120L/min, 냉각수 압력 <4KG, 유입수 온도 20-25.

온도 측정 방법

  • 외부 적외선 온도계, 온도 범위 3001400 M

SL901A 장비 핵심 부품 목록

일련번호 모듈 이름 주목
1 마이크로파 전원 공급 장치 국내 표준 마그네트론: Yingjie Electric / 구별 전원 공급 장치 국내 고체 소스: Watson (+30,000) 수입 마그네트론: MKS/목회자 (+100,000)
2 도파관, 핀 3개, 모드 변환기, 상부 공진기 스스로 만든
진공 반응 챔버(상부 챔버, 하부 챔버, 커넥터) 스스로 만든
4 적외선 온도계, 광학 변위 부품, 브래킷 적외선 온도계, 광학 변위 부품, Fuji Gold Siemens + Schneider 브래킷
5 수냉식 테이블 모션 부품(실린더, 공작물 등)
6 세라믹박막 진공게이지,피라니 진공게이지 인피콘
7 진공 밸브 부품(초고진공 게이트 밸브, 정밀 공압 밸브*2, 전자 진공 충전 차동 밸브) 후지킨 + 중커 + 히맛
8 진공 펌프 및 연결 파이프 피팅, 티, KF25 벨로우즈*2, 어댑터 펌프: 플라이오버 16L
9 금속 마이크로파 밀봉 링*2; 금속 진공 밀봉 링*1; 석영판 석영: 상하이 FeilihuaSemiconductor 등급 고순도 석영
10 순환수 구성요소(조인트, 전환기 블록, 흐름 감지기) 일본 SMC/CKD
11 공압 부품(CKD 필터, airtac 다방향 솔레노이드 밸브, 파이프 피팅 및 어댑터)
12 가스 커넥터, EP 가스관, VCR 커넥터, 필터 0.0023μm*1, 필터 10μm*2 후지킨
13 기계 케이싱, 스테인레스 스틸 테이블, 범용 휠, 발, 브래킷 고정 나사 등 맞춤 처리
14 가스 유량계*6(압력 제어 장치 1개 포함) 표준 7성, 옵션 Fuji Gold( +34,000 ) / Alicat(42,000)
15 가스판 가공(5방향 가스, 필터*5, 공압 밸브*5, 수동 밸브*6, 파이프라인 용접) 후지 골드
16 PLC 자동 제어 지멘스 + 슈나이더
17 몰리브덴 테이블

장점

  1. 마이크로파 전력을 원활하고 연속적으로 조절할 수 있으며 반응 온도를 안정적으로 제어할 수 있습니다. 이를 통해 DC-PJ CVD 방법과 같은 다른 방법에서 발생할 수 있는 아크 및 화염 실패로 인해 기판에서 시드가 분리되는 등의 문제를 방지하는 데 도움이 됩니다.
  2. MPCVD 공법은 반응 챔버의 구조를 조정하고 마이크로파 전력과 압력을 제어하며 대면적에서 안정적인 방전 플라즈마를 생성함으로써 고품질의 대형 단결정 다이아몬드를 생산할 수 있습니다. 다른 CVD 방법과 비교할 때 이는 산업 응용 분야에서 가장 유망한 다이아몬드 합성 방법입니다.
  3. 이를 통해 다양한 산업 요구 사항을 충족하고 열선에 의한 다이아몬드 오염을 방지하기 위해 다양한 가스를 사용할 수 있습니다. MPCVD로 생산된 다이아몬드는 HPHT 방법으로 생산된 다이아몬드보다 순도가 높으며 생산 공정에서 에너지를 덜 소비합니다.
  4. MPCVD 방법은 더 큰 다이아몬드 생산을 용이하게 합니다.

FAQ

MPCVD란 무엇입니까?

MPCVD는 Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition의 약자로 표면에 박막을 증착하는 공정입니다. 진공 챔버, 마이크로파 발생기 및 가스 전달 시스템을 사용하여 반응 화학 물질과 필요한 촉매로 구성된 플라즈마를 생성합니다. MPCVD는 다이아몬드 시드 기판에서 새로운 다이아몬드를 성장시키기 위해 메탄과 수소를 사용하여 다이아몬드 층을 증착하기 위해 ANFF 네트워크에서 많이 사용됩니다. 저비용, 고품질의 대형 다이아몬드를 생산할 수 있는 유망한 기술이며 반도체 및 다이아몬드 절삭 산업에서 광범위하게 사용됩니다.

MPcvd 머신이란 무엇입니까?

MPCVD(Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition) 기계는 고품질 다이아몬드 필름을 성장시키는 데 사용되는 실험실 장비입니다. 탄소 함유 가스와 마이크로파 플라즈마를 사용하여 다이아몬드 기판 위에 플라즈마 볼을 생성하여 특정 온도로 가열합니다. 플라즈마 볼이 와벽과 접촉하지 않아 다이아몬드 성장 과정에 불순물이 없고 다이아몬드의 품질이 향상됩니다. MPCVD 시스템은 진공 챔버, 마이크로파 발생기 및 챔버로의 가스 흐름을 제어하는 가스 전달 시스템으로 구성됩니다.

MPcvd의 장점은 무엇입니까?

MPCVD는 더 높은 순도, 더 적은 에너지 소비 및 더 큰 다이아몬드를 생산할 수 있는 능력과 같은 다른 다이아몬드 생산 방법에 비해 몇 가지 장점이 있습니다.

CVD 다이아몬드는 진짜입니까 아니면 가짜입니까?

CVD 다이아몬드는 가짜가 아닌 진짜 다이아몬드입니다. 그들은 화학 기상 증착(CVD)이라는 공정을 통해 실험실에서 성장합니다. 지표면 아래에서 채굴되는 천연 다이아몬드와 달리 CVD 다이아몬드는 실험실에서 첨단 기술을 사용하여 만들어집니다. 이 다이아몬드는 100% 탄소이며 유형 IIa 다이아몬드로 알려진 가장 순수한 형태의 다이아몬드입니다. 그들은 천연 다이아몬드와 동일한 광학적, 열적, 물리적 및 화학적 특성을 가지고 있습니다. 유일한 차이점은 CVD 다이아몬드는 실험실에서 생성되며 지구에서 채굴되지 않는다는 것입니다.
이 제품에 대한 더 많은 FAQ 보기

4.8

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5

I'm marvelled by the MPCVD machine's ability to produce high-purity diamonds with minimal energy consumption.

Elena Volkova

4.9

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5

The MPCVD machine has revolutionized diamond synthesis, enabling the production of larger diamonds with exceptional quality.

Aiden Smith

4.7

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5

I highly recommend the MPCVD machine for its durability and cost-effectiveness. It's a game-changer in diamond synthesis.

Isabella Garcia

4.6

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5

The MPCVD machine is user-friendly and requires minimal maintenance. It's a valuable asset for any laboratory.

Liam Brown

4.8

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5

The MPCVD machine has enabled us to produce high-quality diamonds for various industrial applications. It's a reliable and efficient machine.

Sophia Patel

4.9

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5

The MPCVD machine's ability to adjust microwave power and control reaction temperature precisely is remarkable. It ensures consistent and high-quality diamond synthesis.

Jackson Kim

4.7

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5

The MPCVD machine stands out with its large-area stable discharge plasma, which enables the production of high-quality, large-sized single crystal diamonds.

Mia Rodriguez

4.6

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5

I'm thoroughly impressed with the MPCVD machine's ability to avoid contamination and produce purer diamonds compared to traditional methods.

Oliver Chen

4.8

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5

The MPCVD machine is an excellent choice for laboratories seeking to produce high-quality diamonds for research and industrial applications.

Ava Johnson

4.9

out of

5

The MPCVD machine has exceeded our expectations. It's a valuable addition to our laboratory, enabling us to produce diamonds with remarkable properties.

Lucas Baker

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