MPCVD
915MHz MPCVD 다이아몬드 기계
품목 번호 : MP-CVD-101
가격은 다음을 기준으로 달라집니다 사양 및 사용자 정의
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소개하다
MPCVD는 마이크로파 플라즈마 화학 기상 증착을 의미합니다. 이는 연속 마이크로파 소스를 사용하여 반응하는 화학 물질과 필요한 촉매로 구성된 반응성이 높은 플라즈마를 생성하고 유지하는 화학 기상 증착 공정입니다. 이 공정은 기판 표면에 다이아몬드 박막을 증착하는 데 사용됩니다.
MPCVD 시스템은 증착 공정이 이루어지는 진공 챔버, 마이크로파 발생기 및 가스 전달 시스템으로 구성됩니다. 일반적으로 마그네트론 또는 클라이스트론인 마이크로파 발생기는 2.45GHz 범위의 마이크로파를 생성하며, 이는 석영 창을 통해 진공 챔버에 연결됩니다. 질량 흐름 컨트롤러(MFC)가 장착된 가스 전달 시스템은 진공 챔버로의 가스 흐름을 제어합니다.
애플리케이션
MPCVD는 마이크로파 플라즈마 화학 기상 증착을 의미합니다. 탄소 함유 가스와 마이크로파 플라즈마를 이용하여 실험실에서 고품질의 다이아몬드 필름을 성장시키는 방법입니다. 이는 연속 마이크로파 소스를 활용하여 반응 화학물질과 필요한 촉매로 구성된 반응성이 높은 플라즈마를 생성하고 유지합니다. 이는 일반적으로 ANFF 네트워크에서 다이아몬드 층을 증착하는 데 사용됩니다. 메탄과 수소는 다이아몬드 종자 기판에서 새로운 다이아몬드를 성장시키기 위한 가스 전구체로 도입됩니다. 또한 MPCVD에 사용되는 KINTEK 장비는 성장 과정에서 탄소 구조에 도펀트를 도입할 수 있습니다. 여기에는 초전도 다이아몬드를 생성하는 붕소와 같은 도펀트와 양자 정보 시스템에 사용할 수 있는 흥미로운 광발광 특성을 생성하는 질소 공극이 포함됩니다.
디테일 및 부품
기술 사양
전자레인지 시스템(옵션 전원 공급 장치에 따름) |
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진공 시스템 및 반응 챔버 |
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샘플 홀더 시스템 |
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가스 시스템 |
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시스템 냉각 |
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온도 측정 방법 |
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SL901A 장비 핵심 부품 목록
일련번호 | 모듈 이름 | 주목 |
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1 | 마이크로파 전원 공급 장치 | 국내 표준 마그네트론: Yingjie Electric / 구별 전원 공급 장치 국내 고체 소스: Watson (+30,000) 수입 마그네트론: MKS/목회자 (+100,000) |
2 | 도파관, 핀 3개, 모드 변환기, 상부 공진기 | 스스로 만든 |
삼 | 진공 반응 챔버(상부 챔버, 하부 챔버, 커넥터) | 스스로 만든 |
4 | 적외선 온도계, 광학 변위 부품, 브래킷 | 적외선 온도계, 광학 변위 부품, Fuji Gold Siemens + Schneider 브래킷 |
5 | 수냉식 테이블 모션 부품(실린더, 공작물 등) | |
6 | 세라믹박막 진공게이지,피라니 진공게이지 | 인피콘 |
7 | 진공 밸브 부품(초고진공 게이트 밸브, 정밀 공압 밸브*2, 전자 진공 충전 차동 밸브) | 후지킨 + 중커 + 히맛 |
8 | 진공 펌프 및 연결 파이프 피팅, 티, KF25 벨로우즈*2, 어댑터 | 펌프: 플라이오버 16L |
9 | 금속 마이크로파 밀봉 링*2; 금속 진공 밀봉 링*1; 석영판 | 석영: 상하이 FeilihuaSemiconductor 등급 고순도 석영 |
10 | 순환수 구성요소(조인트, 전환기 블록, 흐름 감지기) | 일본 SMC/CKD |
11 | 공압 부품(CKD 필터, airtac 다방향 솔레노이드 밸브, 파이프 피팅 및 어댑터) | |
12 | 가스 커넥터, EP 가스관, VCR 커넥터, 필터 0.0023μm*1, 필터 10μm*2 | 후지킨 |
13 | 기계 케이싱, 스테인레스 스틸 테이블, 범용 휠, 발, 브래킷 고정 나사 등 | 맞춤 처리 |
14 | 가스 유량계*6(압력 제어 장치 1개 포함) | 표준 7성, 옵션 Fuji Gold( +34,000 ) / Alicat(42,000) |
15 | 가스판 가공(5방향 가스, 필터*5, 공압 밸브*5, 수동 밸브*6, 파이프라인 용접) | 후지 골드 |
16 | PLC 자동 제어 | 지멘스 + 슈나이더 |
17 | 몰리브덴 테이블 |
장점
- 마이크로파 전력을 원활하고 연속적으로 조절할 수 있으며 반응 온도를 안정적으로 제어할 수 있습니다. 이를 통해 DC-PJ CVD 방법과 같은 다른 방법에서 발생할 수 있는 아크 및 화염 실패로 인해 기판에서 시드가 분리되는 등의 문제를 방지하는 데 도움이 됩니다.
- MPCVD 공법은 반응 챔버의 구조를 조정하고 마이크로파 전력과 압력을 제어하며 대면적에서 안정적인 방전 플라즈마를 생성함으로써 고품질의 대형 단결정 다이아몬드를 생산할 수 있습니다. 다른 CVD 방법과 비교할 때 이는 산업 응용 분야에서 가장 유망한 다이아몬드 합성 방법입니다.
- 이를 통해 다양한 산업 요구 사항을 충족하고 열선에 의한 다이아몬드 오염을 방지하기 위해 다양한 가스를 사용할 수 있습니다. MPCVD로 생산된 다이아몬드는 HPHT 방법으로 생산된 다이아몬드보다 순도가 높으며 생산 공정에서 에너지를 덜 소비합니다.
- MPCVD 방법은 더 큰 다이아몬드 생산을 용이하게 합니다.
FAQ
다이아몬드 커팅 머신으로 절단할 수 있는 재료는 무엇인가요?
CVD(화학 기상 증착)란 무엇이며 주요 장점은 무엇인가요?
CVD 다이아몬드 기계는 무엇입니까?
어떤 유형의 다이아몬드 성장 기계를 사용할 수 있습니까?
다이아몬드 커팅 머신의 원리는 무엇인가요?
PECVD 방법이란?
MPCVD란 무엇입니까?
RF PECVD란?
CVD 재료의 일반적인 응용 분야에는 어떤 것이 있을까요?
랩그로운 다이아몬드의 장점은?
다이아몬드 커팅기를 사용하면 어떤 이점이 있나요?
PECVD는 무엇을 위해 사용됩니까?
MPcvd 머신이란 무엇입니까?
CVD의 기본 원리는 무엇입니까?
어떤 유형의 CVD 재료를 사용할 수 있나요?
PACVD는 PECVD입니까?
CVD 성장 기계의 가격은 얼마입니까?
어떤 유형의 다이아몬드 커팅 머신을 사용할 수 있나요?
PECVD의 장점은 무엇입니까?
MPcvd의 장점은 무엇입니까?
CVD 방법의 다른 유형은 무엇입니까?
CVD 다이아몬드는 절삭 공구의 성능을 어떻게 향상시킬까요?
다이아몬드 커팅 머신은 어떻게 고정밀 절단을 보장하나요?
ALD와 PECVD의 차이점은 무엇입니까?
CVD 다이아몬드는 진짜입니까 아니면 가짜입니까?
CVD 다이아몬드 돔이 고성능 라우드스피커에 적합한 이유는 무엇일까요?
다이아몬드 커팅 머신의 적용 범위는 어떻게 되나요?
PECVD와 스퍼터링의 차이점은 무엇입니까?
CVD 다이아몬드는 전자 기기의 열 관리를 어떻게 개선하나요?
4.8
out of
5
I'm marvelled by the MPCVD machine's ability to produce high-purity diamonds with minimal energy consumption.
4.9
out of
5
The MPCVD machine has revolutionized diamond synthesis, enabling the production of larger diamonds with exceptional quality.
4.7
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5
I highly recommend the MPCVD machine for its durability and cost-effectiveness. It's a game-changer in diamond synthesis.
4.6
out of
5
The MPCVD machine is user-friendly and requires minimal maintenance. It's a valuable asset for any laboratory.
4.8
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5
The MPCVD machine has enabled us to produce high-quality diamonds for various industrial applications. It's a reliable and efficient machine.
4.9
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5
The MPCVD machine's ability to adjust microwave power and control reaction temperature precisely is remarkable. It ensures consistent and high-quality diamond synthesis.
4.7
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5
The MPCVD machine stands out with its large-area stable discharge plasma, which enables the production of high-quality, large-sized single crystal diamonds.
4.6
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5
I'm thoroughly impressed with the MPCVD machine's ability to avoid contamination and produce purer diamonds compared to traditional methods.
4.8
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5
The MPCVD machine is an excellent choice for laboratories seeking to produce high-quality diamonds for research and industrial applications.
4.9
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5
The MPCVD machine has exceeded our expectations. It's a valuable addition to our laboratory, enabling us to produce diamonds with remarkable properties.
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