blog MPCVD 장비로 CVD 다이아몬드를 제작하는 과정
MPCVD 장비로 CVD 다이아몬드를 제작하는 과정

MPCVD 장비로 CVD 다이아몬드를 제작하는 과정

1 year ago

CVD 다이아몬드 기술 소개

CVD(Chemical Vapor Deposition) 다이아몬드 기술은 실험실에서 합성 다이아몬드를 성장시키는 과정입니다. 여기에는 탄화수소 가스 혼합물과 고에너지 열원의 사용이 포함됩니다. 공정은 탄소 원자가 가스 혼합물에서 분리되어 다이아몬드 시드에 정착하는 진공 챔버에서 발생합니다. 시간이 지남에 따라 탄소 원자는 씨앗에 계속 축적되어 다이아몬드를 형성합니다. CVD 다이아몬드 기술은 전자, 의료 및 절삭 공구를 포함한 다양한 산업에서 매우 중요합니다. 다재다능함과 효율성으로 고품질의 내구성 있는 다이아몬드를 제조하는 데 널리 사용되는 선택이 되었습니다.

CVD 다이아몬드 기계의 중요성

CVD 다이아몬드 기계는 다양한 산업 및 과학 연구에서 상당한 중요성을 얻었습니다. 이러한 기계는 현대 제조 공정에서 없어서는 안 될 도구로 만드는 고유한 특성을 가지고 있습니다.

KINTEK MPCVD는 다이아몬드를 성장시키고 있습니다.
KINTEK MPCVD는 다이아몬드를 성장시키고 있습니다.

튼튼한 절단 도구

CVD 다이아몬드 기계의 주요 응용 분야 중 하나는 내구성 있고 효율적인 다이아몬드 코팅 절삭 공구를 만드는 것입니다. 다이아몬드가 코팅된 절삭공구는 철, 금속, 스테인리스강 등과 같은 단단한 재료를 절단하는 데 적합합니다. CVD 다이아몬드의 높은 경도는 가장 단단한 천연 다이아몬드와 동일합니다. 절삭 작업에 사용되는 다른 합성 다이아몬드에 비해 경도는 8,500kgf/mm2입니다. 또한 CVD 다이아몬드 코팅 공구는 공구 수명이 길어 PCD보다 2~10배 더 오래 사용할 수 있고 PCD보다 약 35% 더 잘 작동합니다.

고품질 다이아몬드 필름

CVD 다이아몬드 기계는 트랜지스터, 다이오드 및 센서와 같은 전자 부품에 사용되는 고품질 다이아몬드 필름도 생산할 수 있습니다. CVD 다이아몬드 기계로 생산된 다이아몬드 필름은 고순도 및 고품질입니다. 다이아몬드 필름의 크기는 특정 조건에서 다이아몬드를 합성하는 데 사용되는 공동이 충분히 크면서 더 커질 수 있으며 많은 입자가 동시에 성장할 수 있으므로 생산 비용이 절감됩니다. 생산된 다이아몬드 필름은 생체 적합하고 오래 지속되는 다이아몬드 코팅 임플란트 생성과 같은 다양한 응용 분야에 사용됩니다.

환경적 이점

또한 CVD 다이아몬드 기계는 채굴된 다이아몬드에 비해 환경 친화적입니다. 랩그로운 다이아몬드는 채굴된 다이아몬드보다 더 안전하고 환경 친화적이며 생산 비용이 저렴합니다. 이 프로세스는 HPHT와 같은 극한의 온도 및 압력 요구 사항이 필요하지 않기 때문에 작동에 에너지를 적게 사용합니다.

결론적으로 CVD 다이아몬드 기계는 전자, 항공우주, 절삭공구 등 다양한 산업에서 필수적이다. 고품질 다이아몬드 코팅 및 필름을 생산하는 기계의 능력은 현대 제조 공정에서 없어서는 안 될 도구입니다. 이 기계는 채굴된 다이아몬드보다 환경 친화적이고 안전하며 생산 비용이 저렴하여 선호되는 옵션입니다. 다이아몬드 절삭 공구에 대한 수요가 증가하고 있으며 공구 기술의 발전으로 다이아몬드 공구의 전반적인 성능이 크게 향상되었습니다.

CVD 다이아몬드 생성 과정

CVD(Chemical Vapor Deposition) 다이아몬드는 탄소가 풍부한 가스를 기판 재료와 결합하여 생성되는 랩그로운 다이아몬드입니다. CVD 다이아몬드를 만드는 과정은 여러 단계로 나눌 수 있습니다.

1단계: 기판 청소

공정은 다이아몬드가 성장할 재료인 기판을 세척하는 것으로 시작됩니다. 기판의 불순물이나 오염 물질이 최종 다이아몬드의 품질에 영향을 미칠 수 있기 때문에 이것은 중요한 단계입니다.

2단계: 챔버에 기판 놓기

기판이 세척되면 진공 밀봉된 챔버에 배치됩니다. 그런 다음 챔버는 수소와 메탄 가스의 혼합물로 채워집니다. 가스 혼합물은 일반적으로 약 800°C의 고온으로 가열되어 가스 분자를 분해합니다.

3단계: 탄소 원자의 형성

가스 혼합물이 가열되면 분해되어 탄소 원자를 형성합니다. 이 탄소 원자는 기판에 부착되어 층별로 다이아몬드를 형성합니다. 이 과정은 원하는 다이아몬드의 크기와 품질에 따라 몇 시간에서 며칠이 걸릴 수 있습니다.

4단계: 다이아몬드 제거

다이아몬드가 형성되면 챔버에서 조심스럽게 제거하고 일련의 테스트를 거쳐 품질과 순도를 확인합니다. 그런 다음 다이아몬드를 세척하고 연마하여 최적의 반짝임과 광채를 만들어냅니다.

5단계: 인증 및 채점

다이아몬드를 세척하고 연마한 후 다이아몬드의 색상, 컷, 투명도 및 캐럿 중량을 평가하고 측정하는 인증 프로세스를 거칩니다. 각 다이아몬드에는 전체 가치를 결정하는 등급이 부여됩니다.

6단계: 신청

최종 제품은 절삭 공구, 전자 제품 및 의료 기기를 비롯한 다양한 응용 분야에 사용할 수 있는 고품질 다이아몬드입니다. CVD 다이아몬드는 화학적으로 순수하며 다이아몬드 이외의 기판에 다이아몬드 증착에 사용할 수 있습니다.

결론적으로 CVD 다이아몬드를 만드는 과정은 많은 기술과 전문지식을 필요로 하는 매혹적이고 복잡한 과정입니다. 다이아몬드는 탄소가 풍부한 가스와 기판 재료를 사용하여 층층이 성장합니다. 인증 절차를 거친 다이아몬드는 다양한 용도로 사용되어 다양한 산업 분야에서 귀중한 자원이 됩니다.

다이아몬드 종자 및 챔버 선택

CVD 다이아몬드 기계를 제작하는 공정은 최종 제품의 품질과 정밀도를 높이기 위해 재료와 부품을 신중하게 선택해야 하는 다단계 공정입니다. 제조 공정의 중요한 단계 중 하나는 다이아몬드 시드와 챔버를 선택하는 것입니다.

다이아몬드 종자 선택

다이아몬드 씨는 다이아몬드 결정 성장의 출발점입니다. 크기, 모양 및 품질에 따라 신중하게 선택해야 합니다. 이러한 요소가 생산되는 다이아몬드의 최종 품질에 영향을 미치기 때문입니다. 다이아몬드 씨앗은 HPHT에서 만든 고품질 다이아몬드에서 가져온 약 300미크론 두께와 10x10mm의 얇은 다이아몬드 조각입니다. CVD 다이아몬드 성장 중에 미량 원소나 결함이 결정화되어 내포물과 결점을 생성하므로 다이아몬드 종자는 깨끗해야 합니다.

챔버 선택

챔버는 화학 기상 증착 공정이 일어나는 곳입니다. 온도, 압력 및 가스 유량을 포함하여 증착 공정을 정밀하게 제어할 수 있도록 설계해야 합니다. 다른 가스가 들어와 다이아몬드의 성장을 방해하지 않도록 챔버를 완전히 밀봉해야 합니다.

고려해야 할 요소

다이아몬드 시드 및 챔버의 선택은 CVD 다이아몬드 기계의 성공에 매우 중요하며 비용, 성능 및 신뢰성을 포함한 다양한 요소를 신중하게 고려해야 합니다. 최종 제품의 선명도와 색상이 우수하려면 다이아몬드 씨앗의 품질이 높아야 합니다. 챔버는 증착 공정을 정밀하게 제어할 수 있도록 설계되어야 하며 고온 및 고압을 견딜 수 있는 재료로 만들어져야 합니다.

결론

결론적으로 다이아몬드 시드와 챔버의 선택은 CVD 다이아몬드 기계의 제조 공정에서 중요한 부분입니다. 다이아몬드 종자는 크기, 모양 및 품질에 따라 신중하게 선택해야 하며 증착 공정을 정밀하게 제어할 수 있도록 챔버를 설계해야 합니다. 다이아몬드 시드와 챔버를 올바르게 선택하면 CVD 다이아몬드 기계는 반도체, 광학 및 전자와 같은 분야에서 광범위한 응용 분야에서 고품질 다이아몬드를 생산할 수 있습니다.

탄소가 풍부한 가스 범람 및 이온화

CVD(Chemical Vapor Deposition) 다이아몬드를 제조하는 과정에는 여러 단계가 포함되며 그 중 하나는 탄소가 풍부한 가스 범람 및 이온화입니다.

첫 번째 단계는 반응 챔버에 탄소를 포함하는 가스 혼합물을 도입하는 것입니다. 이 가스 혼합물은 일반적으로 메탄과 수소로 구성됩니다.

다음으로, 전기장이 반응 챔버에 적용되어 가스 혼합물을 이온화합니다. 이 이온화 프로세스는 가스를 분리하는 플라즈마를 생성하여 기판에 증착되는 탄소 원자를 방출합니다.

일반적으로 실리콘 웨이퍼인 기판은 반응 챔버 내부에 배치됩니다. 증착 공정은 다이아몬드 필름의 원하는 두께에 따라 몇 시간에서 며칠까지 걸릴 수 있습니다.

증착 공정 중에 탄소 원자를 포함하는 플라즈마는 실리콘 기판과 반응하여 다결정 다이아몬드 필름을 형성합니다. 다이아몬드 필름의 품질은 온도, 압력 및 가스 조성과 같은 다양한 성장 조건에 따라 달라집니다.

다이아몬드 필름은 우수한 광학적 및 기계적 특성을 지닌 고품질이므로 절삭 공구, 전자 장치 및 생체 의학 장치를 포함한 광범위한 응용 분야에 적합하다는 점에 유의하는 것이 중요합니다.

전반적으로 탄소가 풍부한 가스 범람 및 이온화는 CVD 다이아몬드 제조 공정에서 중요한 단계입니다. 다이아몬드 필름의 원하는 품질을 달성하려면 상당한 전문 지식과 다양한 성장 조건의 정밀한 제어가 필요합니다.

이온화된 플라즈마 또는 가열을 이용한 에너지 공급

에너지 공급은 CVD 다이아몬드 기계의 중요한 구성 요소입니다. CVD 다이아몬드 기계에 사용되는 두 가지 일반적인 에너지 공급 방법은 이온화 플라즈마와 가열입니다.

이온화 플라즈마 방식

이온화 플라즈마 방식에서는 가스를 이온화하여 플라즈마를 생성합니다. 그런 다음 플라즈마를 사용하여 탄소 함유 가스를 분리하고 기판에 증착하여 다이아몬드를 형성합니다. 이온화 플라즈마 방식은 다른 방식에 비해 낮은 온도에서 고품질의 다이아몬드를 성장시킬 수 있다는 장점이 있다. 그 결과 공정의 에너지 효율이 높아지고 기판에 대한 열 손상이 줄어듭니다.

가열 방식

가열 방법에서는 기판을 고온으로 가열하고 탄소 함유 가스를 도입한다. 가열된 기판은 가스를 해리시키고 탄소 원자는 기판에 증착되어 다이아몬드를 형성합니다. 가열 방식은 공정이 간단하고 고품질의 다이아몬드를 더 빠른 속도로 생산할 수 있다는 점에서 유리하다.

장점과 단점

이온화 플라즈마와 가열 방법 모두 CVD 다이아몬드 기계 제작에 장단점이 있습니다. 에너지 공급 장치의 선택은 애플리케이션의 특정 요구 사항에 따라 다릅니다.

이온화 플라즈마 방식은 다른 방식에 비해 낮은 온도에서 고품질의 다이아몬드를 성장시킬 수 있습니다. 그 결과 공정의 에너지 효율이 높아지고 기판에 대한 열 손상이 줄어듭니다. 그러나 이온화 플라즈마 방법은 더 복잡한 장비와 전문 지식이 필요하므로 공정 비용이 증가할 수 있습니다.

가열 방식은 공정이 간단하고 고품질의 다이아몬드를 더 빠른 속도로 생산할 수 있다는 점에서 유리하다. 그러나 가열 방식은 더 높은 온도를 필요로 하므로 기판에 열 손상을 일으킬 수 있습니다.

결론

결론적으로 에너지 공급은 CVD 다이아몬드 기계의 중요한 구성 요소입니다. CVD 다이아몬드 기계에 사용되는 두 가지 일반적인 에너지 공급 방법은 이온화 플라즈마와 가열입니다. 두 방법 모두 장점과 단점이 있습니다. 에너지 공급 장치의 선택은 애플리케이션의 특정 요구 사항에 따라 다릅니다.

성장 규제 및 품질 관리

고품질 CVD 다이아몬드 필름의 생산을 보장하기 위해 성장 조절 및 품질 관리는 CVD 다이아몬드 기계의 제조 공정에서 필수적인 단계입니다. 이 섹션에서는 성장 규제 및 품질 관리 프로세스를 단계별로 살펴보겠습니다.

다이아몬드 기판 준비

성장 조절 공정의 첫 번째 단계는 다이아몬드 필름 성장의 기초 역할을 하는 다이아몬드 기판을 준비하는 것입니다. 기판은 다이아몬드 막의 성장을 돕는 매끄러운 표면을 보장하기 위해 높은 정밀도로 연마됩니다.

기판을 CVD 챔버에 로드

다음으로 기판이 CVD 챔버에 로드되고 성장 프로세스가 시작됩니다. 이 단계에서 성장 속도, 압력, 온도 및 가스 화학을 면밀히 모니터링하고 고품질 다이아몬드 필름을 얻기 위해 제어해야 합니다. 기판은 고온 및 고압에 노출됩니다. 결과적으로 다이아몬드 필름이 핵을 생성하고 성장하기 시작합니다.

성장 과정 모니터링

다이아몬드 필름의 품질을 보장하려면 성장 과정을 면밀히 모니터링해야 합니다. 성장 속도, 압력, 온도 및 가스 화학은 다이아몬드 필름의 원하는 품질과 두께를 달성하기 위해 지속적으로 측정되고 조정됩니다. 이러한 매개변수의 미세한 변화는 다이아몬드 필름의 품질에 상당한 영향을 미칠 수 있습니다.

품질 관리

다이아몬드 필름이 성장되면 필요한 사양을 충족하는지 확인하기 위해 몇 가지 품질 관리 테스트를 거칩니다. 다이아몬드 필름의 두께, 경도, 접착력 및 광학적 특성을 측정하여 원하는 표준을 충족하는지 확인합니다. 요구되는 기준을 충족하지 못하는 모든 필름은 거부되며 재생산되어야 합니다.

성장 개선 전략

다이아몬드 막의 성장 속도를 향상시키기 위해 플라즈마 밀도 증가, 성장 압력, 성장력 및 질소 첨가와 같은 다양한 전략을 사용할 수 있습니다. 목표는 다이아몬드의 전자 응용에 필수적인 낮은 전위 밀도를 유지하면서 높은 성장률을 달성하는 것입니다.

결론

결론적으로 CVD 다이아몬드 기계를 제작하는 과정은 복잡하고 높은 수준의 기술 지식과 전문성이 필요합니다. 성장 조절 및 품질 관리는 프로세스의 필수 단계이며 이러한 매개변수의 약간의 변화는 다이아몬드 필름의 품질에 상당한 영향을 미칠 수 있습니다. 낮은 전위 밀도를 유지하면서 성장 속도를 개선하는 전략의 사용은 고품질 다이아몬드 필름의 성공적인 생산에 매우 중요합니다.

성장 후 처리 및 연마

CVD 다이아몬드 성장 공정이 완료되면 생성된 다이아몬드는 성장 후 처리 및 연마를 거쳐야 다양한 용도로 사용할 수 있습니다. 이 프로세스에는 성장 프로세스 중에 형성되었을 수 있는 불순물과 결함을 제거하는 작업이 포함됩니다. 성장 후 처리의 첫 번째 단계는 표면 오염 물질을 제거하기 위해 다양한 화학 물질을 사용하여 다이아몬드를 세척하는 것입니다.

다이아몬드 세척

세척 과정은 성장 과정에서 다이아몬드 표면에 형성되었을 수 있는 불순물과 오염 물질을 제거하는 데 도움이 되므로 매우 중요합니다. 일반적으로 불화 수소산 및 질산과 같은 산은 다이아몬드를 청소하는 데 사용됩니다. 청소 과정은 또한 다이아몬드 표면에서 잔류 촉매 입자를 제거하는 데 도움이 됩니다.

다이아몬드 연마

다이아몬드가 세척되면 일련의 다이아몬드 그릿을 사용하여 광택을 내어 매끄러운 표면 마감을 만듭니다. 이 과정은 빛을 효과적으로 전달하고 다이아몬드의 광학적 특성을 극대화할 수 있는 매끄럽고 평평한 표면을 만드는 데 중요합니다. 연마 공정은 일반적으로 거친 입자에서 미세한 입자로 시작하여 일련의 연마 입자를 사용하는 기계적 연마 기술을 사용하여 수행됩니다.

검사 및 수리

연마 후 다이아몬드에 결함이나 결함이 있는지 검사하고 필요한 수리를 합니다. 다이아몬드에 성능에 부정적인 영향을 줄 수 있는 결함이나 불순물이 없는지 확인하는 검사 프로세스가 중요합니다. 검사 과정에서 발견된 결함이나 결함은 최종 코팅 공정 전에 수리됩니다.

독립 연구소의 등급 및 인증

CVD(화학 기상 증착) 다이아몬드 기계는 반도체, 의료, 항공우주 등 다양한 산업에서 고품질 합성 다이아몬드를 생산하는 데 사용됩니다. 이러한 기계의 등급 및 인증은 품질과 신뢰성을 보장하는 데 매우 중요합니다.

등급 및 인증이 중요한 이유는 무엇입니까?

독립 연구소에서 성능, 안전 및 산업 표준 준수를 기준으로 이러한 기계를 등급 지정하고 인증합니다. 인증 프로세스에는 기계가 필수 사양을 충족하는지 확인하기 위해 기계적, 전기적 및 화학적 분석을 포함한 엄격한 테스트가 포함됩니다. 등급 지정 프로세스에는 기계의 성능, 내구성 및 전반적인 품질을 기준으로 등급을 지정하는 작업이 포함됩니다. 더 높은 등급의 기계는 우수한 품질과 신뢰성을 나타냅니다.

채점 연구소는 누구입니까?

전 세계적으로 실험실 다이아몬드를 인증하는 여러 감정소가 있지만 가장 유명하고 신뢰할 수 있는 곳은 GIA와 IGI입니다. GIA와 IGI는 모두 CVD 다이아몬드의 특성을 평가하여 품질을 정확하게 판독한 다음 원석 가격을 안내합니다.

IGI는 CVD 다이아몬드를 평가합니다.

GIA 및 IGI 레이저는 스톤의 거들에 고유한 코드를 각인하며, 이는 확대로만 볼 수 있으며 종이(또는 디지털) 인증서에 해당하며 등급, 캐럿 중량 및 측정. 인증서는 또한 다이아몬드가 CVD, HPHT로 생성되었는지 또는 천연 다이아몬드인지 확인합니다.

결론: 관련된 장인 정신에 대한 감사

CVD 다이아몬드 기술은 장인 정신의 놀라운 위업이며, 이 다이아몬드를 생산하는 기계는 현대 공학의 경이로움입니다. CVD 다이아몬드를 생성하는 프로세스에는 다이아몬드 시드 및 챔버 선택, 탄소가 풍부한 가스 플러딩 및 이온화, 이온화 플라즈마 또는 가열을 사용한 에너지 공급, 성장 조절 및 품질 관리, 성장 후 처리 및 연마 등 수많은 변수에 대한 정밀한 제어가 포함됩니다. , 그리고 독립적인 실험실에 의한 등급 및 인증.

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