MPCVD
실험실 및 다이아몬드 성장을 위한 원통형 공진기 MPCVD 기계
품목 번호 : KTWB315
가격은 다음을 기준으로 달라집니다 사양 및 사용자 정의
- 마이크로파 전력
- 마이크로파 주파수 2450±15MHZ
- 출력 파워
- 1~10KW 연속 조정 가능
- 마이크로파 누출
- ≤2MW/cm2
- 출력 도파관 인터페이스
- FD-340 포함 WR340, 430, 430 표준 플랜지
- 샘플 홀더
- 샘플 table≥72mm의 직경, 유효 사용 area≥66 mm
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MPCVD는 Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition의 약자입니다. 탄소 함유 가스와 마이크로웨이브 플라즈마를 이용하여 실험실에서 고품질의 다이아몬드 박막을 성장시키는 방법입니다.
MPCVD 시스템
MPCVD(Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition) 시스템은 기판 표면에 박막을 증착하는 데 사용되는 프로세스입니다. 이 시스템은 증착 공정이 이루어지는 진공 챔버, 마이크로웨이브 발생기 및 가스 전달 시스템으로 구성됩니다. 마이크로웨이브 발생기는 진공 챔버 내부에서 플라즈마를 생성하는 데 사용되며, 이는 가스 종을 분해하고 기판에 증착하는 데 사용됩니다.
마이크로파 발생기는 일반적으로 2.45GHz 범위의 마이크로파를 생성하는 마그네트론 또는 클라이스트론입니다. 마이크로파는 석영 창을 통해 진공 챔버에 연결됩니다.
가스 전달 시스템은 진공 챔버로의 가스 흐름을 제어하는 질량 흐름 컨트롤러(MFC)로 구성됩니다. MFC는 분당 표준 입방 센티미터(sccm)로 보정됩니다.
기판 온도는 플라즈마 위치에 의해 제어되며 열전쌍으로 측정됩니다. 플라즈마는 기판을 가열하는 데 사용되며 증착 프로세스 동안 기판이 원하는 온도에 있는지 확인하기 위해 열전쌍으로 온도를 모니터링합니다.
애플리케이션
MPCVD는 저비용 고품질 대형 다이아몬드를 생산할 수 있는 유망한 기술입니다.
경도, 강성, 높은 열전도율, 낮은 열팽창, 방사선 경도, 화학적 불활성 등 다이아몬드의 고유한 특성은 귀중한 재료입니다.
높은 잠재력에도 불구하고 천연 및 합성 고압 고온 다이아몬드의 높은 비용, 제한된 크기 및 불순물 제어의 어려움으로 인해 응용 분야가 제한되었습니다.
MPCVD는 다이아몬드 원석 및 필름 성장에 사용되는 기본 장비입니다.
다이아몬드 막 성장은 단결정 또는 다결정일 수 있으며 반도체 산업에서 대형 다이아몬드 기판뿐만 아니라 다이아몬드 절단 또는 드릴링 도구 산업에서 광범위하게 사용됩니다.
랩그로운 다이아몬드의 HPHT 방식에 비해 마이크로웨이브 CVD 방식은 저렴한 비용으로 대형 다이아몬드 성장에 유리하여 반도체 다이아몬드, 광학 다이아몬드 성장, 대형 보석 다이아몬드 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다. 시장 요구.
MPCVD의 장점
MPCVD는 HFCVD 및 DC-PJ CVD와 같은 다른 방법에 비해 몇 가지 장점이 있는 다이아몬드 합성 방법입니다. 열선에 의한 다이아몬드 오염을 방지하고 다양한 산업 요구 사항을 충족하기 위해 여러 가스를 사용할 수 있습니다. DC-PJ CVD와 비교하여 마이크로웨이브 출력을 원활하고 지속적으로 조정하고 반응 온도를 안정적으로 제어할 수 있어 아킹 및 화염 장애로 인해 결정 시드가 기판에서 떨어지는 것을 방지합니다. 넓은 면적의 안정적인 방전 플라즈마를 가진 MPCVD 방법은 산업 응용 분야에서 가장 유망한 다이아몬드 합성 방법으로 간주됩니다.
MPCVD를 통해 생산된 다이아몬드는 HPHT 방식으로 생산된 다이아몬드보다 순도가 높고 생산 공정에서 에너지 소비가 적습니다. 또한 MPCVD 방법은 더 큰 다이아몬드 생산을 용이하게 합니다.
당사 MPCVD 시스템의 장점
우리는 수년 동안 업계에 깊이 관여해 왔으며 그 결과 우리 장비를 신뢰하고 사용하는 방대한 고객 기반을 보유하고 있습니다. 당사의 MPCVD 장비는 40,000시간 이상 꾸준히 실행되어 탁월한 안정성, 신뢰성, 반복성 및 비용 효율성을 입증했습니다. MPCVD 시스템의 추가 이점은 다음과 같습니다.
- 3인치 기판 성장 영역, 최대. 다이아몬드 최대 45개 일괄 로드
- 1-10Kw 조정 가능한 출력 마이크로파 전력으로 전력 소비 감소
- 프론티어 다이아몬드 성장 레시피 지원을 제공하는 풍부한 경험의 연구팀
- 제로 다이아몬드 재배 체험단 전용 기술 지원 프로그램
축적된 첨단 기술을 활용하여 MPCVD 시스템에 대한 여러 차례의 업그레이드 및 개선을 구현하여 효율성을 크게 향상시키고 장비 비용을 절감했습니다. 결과적으로 당사의 MPCVD 장비는 기술 발전의 최전선에 있으며 경쟁력 있는 가격으로 제공됩니다. 상담을 환영합니다.
작업 처리
MPCVD 기계는 특정 압력 하에서 반응 가스(예: CH4, H2, Ar, O2, N2 등)를 캐비티에 도입하면서 각 가스 경로의 흐름과 캐비티 압력을 제어합니다. 공기 흐름을 안정화한 후 6KW 고체 마이크로파 발생기는 웨이브 가이드를 통해 공동으로 유입되는 마이크로파를 생성합니다.
반응 가스는 마이크로웨이브 필드 아래에서 플라즈마 상태로 변환되어 다이아몬드 기판 위에 떠 있는 플라즈마 볼을 형성합니다. 플라즈마의 고온은 기판을 특정 온도로 가열합니다. 캐비티에서 생성된 과도한 열은 수냉 장치에 의해 소산됩니다.
MPCVD 단결정 다이아몬드 성장 공정 중 최적의 성장 조건을 보장하기 위해 전력, 가스 소스 구성 및 공동 압력과 같은 요소를 조정합니다. 또한 플라즈마 볼이 와벽과 접촉하지 않기 때문에 다이아몬드 성장 과정에 불순물이 없어 다이아몬드의 품질을 높일 수 있다.
세부 정보 및 부품
마이크로파 시스템
반응 챔버
가스 흐름 시스템
진공 및 센서 시스템
기술 사양
| 마이크로파 시스템 |
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| 반응 챔버 |
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| 샘플 홀더 |
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| 가스 흐름 시스템 |
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| 냉각 시스템 |
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| 온도 센서 |
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| 제어 시스템 |
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| 선택적 기능 |
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경고
작업자 안전이 가장 중요한 문제입니다! 주의하여 장비를 작동하십시오. 인화성 및 폭발성 또는 독성 가스로 작업하는 것은 매우 위험하므로 작업자는 장비를 시작하기 전에 필요한 모든 예방 조치를 취해야 합니다. 반응기 또는 챔버 내부에서 양압으로 작업하는 것은 위험하므로 작업자는 안전 절차를 엄격히 준수해야 합니다. 특히 진공 상태에서 공기 반응성 물질을 사용하여 작동할 때는 각별한 주의를 기울여야 합니다. 누출은 장치 안으로 공기를 빨아들여 격렬한 반응을 일으킬 수 있습니다.
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FAQ
MPCVD란 무엇입니까?
MPcvd 머신이란 무엇입니까?
MPcvd의 장점은 무엇입니까?
CVD 다이아몬드는 진짜입니까 아니면 가짜입니까?
4.9
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5
KINTEK's MPCVD machine is a game-changer! Its 1-10Kw adjustable output microwave power feature not only saves electricity but also ensures precise control over the diamond growth process.
4.8
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5
As a lab manager, I appreciate the stability and reliability of the KINTEK MPCVD system. It has been running non-stop for over 40,000 hours, providing us with consistent, high-quality diamond growth.
4.7
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5
The rich experience and frontier diamond growing recipe support from KINTEK's research team have been invaluable. Their expertise has helped us optimize our MPCVD process and achieve exceptional results.
4.8
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5
KINTEK's exclusive technical support program for teams with zero diamond growing experience is a lifesaver. Their guidance and assistance have been instrumental in our successful adoption of the MPCVD system.
5.0
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5
The 3 inches substrate growing area and max. batch load of up to 45 pieces diamonds make the KINTEK MPCVD machine a highly efficient and productive choice for our lab. We can now produce more diamonds in less time.
4.9
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5
The KINTEK MPCVD system is a technological marvel. Its advanced features and continuous upgrades have kept us at the forefront of diamond growth innovation.
4.7
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5
The competitive price of the KINTEK MPCVD equipment makes it an affordable and accessible solution for labs like ours. We're grateful for the opportunity to leverage its cutting-edge technology without breaking the bank.
5.0
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5
The KINTEK MPCVD machine has exceeded our expectations. Its user-friendly interface, stable performance, and exceptional diamond quality have made it an indispensable tool in our lab.
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