PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 기계는 기판에 박막을 증착하기 위해 반도체 산업에서 사용되는 도구입니다. 기계는 저온 플라즈마를 사용하여 글로우 방전을 생성하여 샘플을 예열하고 적절한 양의 공정 가스를 주입합니다. 이 프로세스에는 화학 및 플라즈마 반응이 포함되어 샘플 표면에 고체 필름을 형성합니다. PECVD 장비는 주로 진공 및 압력 제어 시스템, 침전 시스템, 가스 및 흐름 제어, 컴퓨터 제어 및 안전 보호 시스템으로 구성됩니다. 이 기계는 대기 보호 환경에서 CVD 방법으로 분말 재료의 연속 코팅 및 개질에 사용됩니다.
카테고리 전환
pecvd 기계
품목 번호 : KT-VHP
진공 스테이션 CVD 장비가 있는 스플릿 챔버 CVD 튜브 퍼니스
품목 번호 : KT-CTF12
품목 번호 : KT-CTF14
품목 번호 : KT-CTF16
액체 가스화기 PECVD 장비가 장착된 슬라이드 PECVD 관로
품목 번호 : KT-PE12
경사 회전 플라즈마 강화 화학 증착(PECVD) 관로 기계
품목 번호 : KT-PE16
품목 번호 : KT-PED
실험실 및 다이아몬드 성장을 위한 원통형 공진기 MPCVD 기계
품목 번호 : KTWB315
실험실 및 다이아몬드 성장을 위한 Bell-jar Resonator MPCVD 장비
품목 번호 : KTMP315
RF PECVD 시스템 무선 주파수 플라즈마 강화 화학 기상 증착
품목 번호 : KT-RFPE
품목 번호 : MP-CVD-100
품목 번호 : MP-CVD-101
품목 번호 : cvdm-05
당사의 광범위한 포트폴리오는 귀하의 요구를 충족시킬 적절한 표준 솔루션을 보유하고 있음을 보장합니다. 또한 고객의 고유한 요구 사항을 충족하기 위해 맞춤형 디자인 서비스를 제공합니다. 당사의 PECVD 기계는 우수한 필름 균일성, 저온 처리 및 높은 처리량을 제공하는 최신 반도체 제조의 필수 도구입니다. 당사의 기계는 마이크로 전자 장치, 광전지 및 디스플레이 패널용 박막 증착을 포함하여 광범위한 응용 분야에 사용됩니다.
PECVD 기계의 응용
- 마이크로 전자 장치용 박막 증착
- 광전지 생산
- 디스플레이 패널 제조
- 이산화규소 필름 증착
- 실리콘 질화막 증착
- 비정질 실리콘 필름 증착
- 낮은 열 예산으로 기판에 필름 증착
- 전력반도체 소자 생산
- 광전자공학의 생산
- 데이터 센터에서 사용
- 5G 네트워크 장비 생산
- 자율주행차 장비 제조업
- 재생 에너지 기기 생산
- 전자전 장비 생산
- 스마트 조명 제조
PECVD 장비의 장점
- 낮은 증착 온도
- 고르지 않은 표면에서 우수한 적합성 및 스텝 커버리지
- 박막 공정의 보다 엄격한 제어
- 높은 증착 속도
- 조성과 미세 구조가 다른 필름 제조에 적합하여 깊이에 따라 필름 특성을 지속적으로 변화시킬 수 있습니다.
- 다른 전통적인 진공 기반 기술보다 상당히 높은 높은 증착 속도를 제공합니다.
- 다양한 기판 모양(3D 포함)을 균일하게 코팅할 수 있습니다.
- 증착되는 필름은 기계적 응력이 낮습니다.
- 우수한 컨포멀 스텝 커버리지 및 스텝 에지와 평평한 표면에 걸쳐 필름 두께의 우수한 균일성
- 유전 특성이 우수한 박막 증착
- 고효율 전기 성능 및 매우 높은 기준에 대한 결합
당사의 PECVD 기계는 모든 박막 증착 요구에 맞는 비용 효율적인 솔루션입니다. 당사의 광범위한 제품 라인을 통해 귀하의 요구에 맞는 표준 솔루션을 제공하고 보다 고유한 응용 분야의 경우 맞춤형 설계 서비스를 통해 귀하의 특정 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
FAQ
PECVD 방법이란?
PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)는 마이크로 전자 장치, 광전지 및 디스플레이 패널에 박막을 증착하기 위해 반도체 제조에 사용되는 프로세스입니다. PECVD에서 전구체는 기체 상태로 반응 챔버에 도입되며 플라즈마 반응 매체의 도움으로 CVD보다 훨씬 낮은 온도에서 전구체를 분리합니다. PECVD 시스템은 우수한 필름 균일성, 저온 처리 및 높은 처리량을 제공합니다. 그들은 광범위한 응용 분야에서 사용되며 첨단 전자 장치에 대한 수요가 계속 증가함에 따라 반도체 산업에서 점점 더 중요한 역할을 할 것입니다.
PECVD는 무엇을 위해 사용됩니까?
PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)는 반도체 산업에서 광전지, 마찰 공학, 광학 및 생의학 분야뿐만 아니라 집적 회로를 제조하는 데 널리 사용됩니다. 마이크로 전자 장치, 광전지 및 디스플레이 패널용 박막을 증착하는 데 사용됩니다. PECVD는 일반적인 CVD 기술만으로는 생성할 수 없는 고유한 화합물 및 필름을 생성할 수 있으며 화학적 및 열적 안정성과 함께 높은 용매 및 내식성을 나타내는 필름을 생성할 수 있습니다. 또한 넓은 표면에 균질한 유기 및 무기 폴리머를 생산하는 데 사용되며, 마찰 공학용 DLC(Diamond-like Carbon)도 사용됩니다.
PECVD의 장점은 무엇입니까?
PECVD의 주요 장점은 낮은 증착 온도에서 작동할 수 있어 고르지 않은 표면에서 더 나은 정합성 및 스텝 커버리지를 제공하고 박막 프로세스를 보다 엄격하게 제어하며 높은 증착 속도를 제공한다는 것입니다. PECVD는 기존의 CVD 온도가 잠재적으로 코팅되는 장치나 기판을 손상시킬 수 있는 상황에서 성공적인 적용을 허용합니다. 더 낮은 온도에서 작동함으로써 PECVD는 박막 층 사이에 응력을 덜 생성하여 고효율 전기 성능과 매우 높은 기준에 대한 접합을 허용합니다.
ALD와 PECVD의 차이점은 무엇입니까?
원자층 증착(ALD: Atomic Layer Deposition)은 원자층 두께 분해능, 종횡비가 높은 표면 및 핀홀 없는 층의 우수한 균일성을 가능하게 하는 박막 증착 공정입니다. 이것은 자기 제한 반응에서 원자층의 연속적인 형성에 의해 달성됩니다. 반면에 PECVD는 플라즈마를 사용하여 소스 재료를 하나 이상의 휘발성 전구체와 혼합하여 소스 재료를 화학적으로 상호 작용하고 분해합니다. 공정은 더 높은 압력으로 열을 사용하여 필름 두께가 시간/전력으로 관리될 수 있는 더 재현 가능한 필름으로 이어집니다. 이 필름은 더 화학양론적이고 밀도가 높으며 더 높은 품질의 절연 필름을 성장시킬 수 있습니다.
PECVD와 스퍼터링의 차이점은 무엇입니까?
PECVD 및 스퍼터링은 둘 다 박막 증착에 사용되는 물리적 기상 증착 기술입니다. PECVD는 스퍼터링이 가시선 증착인 반면 매우 고품질의 박막을 생성하는 확산 가스 구동 프로세스입니다. PECVD는 트렌치, 벽과 같은 고르지 않은 표면에 더 나은 커버리지를 허용하고 높은 적합성을 제공하며 고유한 화합물과 필름을 생성할 수 있습니다. 반면에 스퍼터링은 여러 재료의 미세한 층을 증착하는 데 적합하며 다층 및 다단계 코팅 시스템을 만드는 데 이상적입니다. PECVD는 주로 반도체 산업, 마찰 공학, 광학 및 생물 의학 분야에서 사용되는 반면 스퍼터링은 주로 유전체 재료 및 마찰 공학 응용 분야에 사용됩니다.
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