박막 증착 부품
전자총 빔 도가니
품목 번호 : KES01
가격은 다음을 기준으로 달라집니다 사양 및 사용자 정의
- 재료
- 탄탈륨 / 몰리브덴 / 텅스텐
- 사양
- 4CC / 7CC /15CC / 25CC / 40CC
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애플리케이션
전자총은 도가니로 향하는 강력한 전자 빔을 생성합니다. 전자는 원자 또는 분자 클러스터가 될 때까지 도가니의 재료를 가열합니다. 그런 다음 이 구름을 표면에 증착하여 박막을 형성할 수 있습니다. 전자총 빔 증발에서 도가니는 증착할 재료를 잡고 가열하는 용기와 같습니다. 녹지 않고 고온을 견딜 수 있는 특수 소재로 제작되었습니다. 증발하는 물질에 열을 집중시키는 데 도움이 됩니다.
주로 다음과 같은 용도로 사용됩니다.
- 박막 증착: 전자 빔 증착, 전자 장치의 박막 생산, 광학 코팅 및 재료의 표면 개질과 같은 박막 증착 기술에 널리 사용됩니다.
- 반도체 산업: 인터커넥트, 옴 접촉 및 확산 장벽으로서 금속 박막 증착.
- 광학 및 광전자 공학: 다양한 광학 장치용 광학 코팅, 반사 방지 코팅 및 거울.
세부 정보 및 부품
기술 사양
| 제품 | 몰리브덴/텅스텐 도가니 | 질화붕소 도가니/도전성 질화붕소 도가니 | 흑연 도가니/코팅 흑연 도가니 | 열분해 흑연 코팅 도가니 | 니켈 도가니 | 티타늄 도가니 | 구리 도가니 | 알루미나 도가니 |
| 사양 | 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC | 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC | 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC | 4CC / 7CC | 4CC | 4CC | 4CC / 2CC / 40CC | 4CC |
우리가 보여주는 도가니는 다양한 크기로 제공되며 요청 시 맞춤 크기를 사용할 수 있습니다.
이점
- 더 높은 증발 속도.
- 열 안정성 향상; 균일한 가열.
- 도가니로 전달되는 열을 줄이고; 좋은 단열 성능.
- 빠른 재료 전환을 가능하게 하여 챔버 가동 중지 시간을 최소화합니다.
- 진공 호환성; 고순도 막.
- 다재; 여러 재료를 지원합니다.
- 도가니 손상 및 유지 보수를 최소화합니다.
- 이러한 장점으로 인해 전자총 빔 도가니는 박막 증착 공정에서 중요한 도구가 되어 다양한 산업 및 연구 분야에 정밀 제어, 높은 증착 속도 및 고품질 박막을 제공합니다.
FAQ
열 증발원이란 무엇인가요?
열 증발과 전자빔 증발의 비교.
열 증발 소스의 주요 유형은 무엇인가요?
열 증발 소스는 어떻게 작동하나요?
도가니 증발에 사용되는 일반적인 재료는 무엇입니까?
열 증착 소스를 사용하면 어떤 이점이 있을까요?
증발 도가니를 사용하면 어떤 이점이 있나요?
열 증발 소스는 어떤 용도로 사용되나요?
증발 도가니는 어떻게 취급하고 유지관리해야 합니까?
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