박막 증착 부품
전자총 빔 도가니
품목 번호 : KES01
가격은 다음을 기준으로 달라집니다 사양 및 사용자 정의
- 재료
- 탄탈륨 / 몰리브덴 / 텅스텐
- 사양
- 4CC / 7CC /15CC / 25CC / 40CC
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애플리케이션
전자총은 도가니로 향하는 강력한 전자 빔을 생성합니다. 전자는 원자 또는 분자 클러스터가 될 때까지 도가니의 재료를 가열합니다. 그런 다음 이 구름을 표면에 증착하여 박막을 형성할 수 있습니다. 전자총 빔 증발에서 도가니는 증착할 재료를 잡고 가열하는 용기와 같습니다. 녹지 않고 고온을 견딜 수 있는 특수 소재로 제작되었습니다. 증발하는 물질에 열을 집중시키는 데 도움이 됩니다.
주로 다음과 같은 용도로 사용됩니다.
- 박막 증착: 전자 빔 증착, 전자 장치의 박막 생산, 광학 코팅 및 재료의 표면 개질과 같은 박막 증착 기술에 널리 사용됩니다.
- 반도체 산업: 인터커넥트, 옴 접촉 및 확산 장벽으로서 금속 박막 증착.
- 광학 및 광전자 공학: 다양한 광학 장치용 광학 코팅, 반사 방지 코팅 및 거울.
세부 정보 및 부품
기술 사양
| 제품 | 몰리브덴/텅스텐 도가니 | 질화붕소 도가니/도전성 질화붕소 도가니 | 흑연 도가니/코팅 흑연 도가니 | 열분해 흑연 코팅 도가니 | 니켈 도가니 | 티타늄 도가니 | 구리 도가니 | 알루미나 도가니 |
| 사양 | 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC | 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC | 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC | 4CC / 7CC | 4CC | 4CC | 4CC / 2CC / 40CC | 4CC |
우리가 보여주는 도가니는 다양한 크기로 제공되며 요청 시 맞춤 크기를 사용할 수 있습니다.
이점
- 더 높은 증발 속도.
- 열 안정성 향상; 균일한 가열.
- 도가니로 전달되는 열을 줄이고; 좋은 단열 성능.
- 빠른 재료 전환을 가능하게 하여 챔버 가동 중지 시간을 최소화합니다.
- 진공 호환성; 고순도 막.
- 다재; 여러 재료를 지원합니다.
- 도가니 손상 및 유지 보수를 최소화합니다.
- 이러한 장점으로 인해 전자총 빔 도가니는 박막 증착 공정에서 중요한 도구가 되어 다양한 산업 및 연구 분야에 정밀 제어, 높은 증착 속도 및 고품질 박막을 제공합니다.
FAQ
열 증발원이란 무엇인가요?
물리적 기상 증착(PVD)이란 무엇입니까?
열 증발과 전자빔 증발의 비교.
세라믹 도가니를 사용하면 어떤 이점이 있나요?
고순도 흑연 도가니는 어떻게 만들어지나요?
열 증발 소스의 주요 유형은 무엇인가요?
마그네트론 스퍼터링이란 무엇입니까?
박막 증착에 사용되는 방법은 무엇입니까?
스퍼터링 타겟이란?
세라믹 도가니의 일반적인 용도는 무엇입니까?
고순도 흑연 도가니의 일반적인 용도는 무엇입니까?
열 증발 소스는 어떻게 작동하나요?
왜 마그네트론 스퍼터링인가?
박막증착장비란?
스퍼터링 타겟은 어떻게 만들어지나요?
도가니 증발에 사용되는 일반적인 재료는 무엇입니까?
내 용도에 적합한 세라믹 도가니를 어떻게 선택할 수 있나요?
고순도 흑연 도가니를 선택할 때 고려해야 할 요소는 무엇입니까?
열 증착 소스를 사용하면 어떤 이점이 있을까요?
박막 증착에 사용되는 재료는 무엇입니까?
박막 증착은 일반적으로 금속, 산화물 및 화합물을 재료로 사용하며 각각 고유한 장점과 단점이 있습니다. 금속은 내구성과 증착 용이성 때문에 선호되지만 상대적으로 비쌉니다. 산화물은 내구성이 뛰어나고 고온을 견딜 수 있으며 저온에서 증착될 수 있지만 부서지기 쉽고 작업하기 어려울 수 있습니다. 화합물은 강도와 내구성을 제공하고 저온에서 증착될 수 있으며 특정 특성을 나타내도록 조정될 수 있습니다.
박막 코팅을 위한 재료 선택은 적용 요건에 따라 다릅니다. 금속은 열 및 전기 전도에 이상적이며 산화물은 보호 기능을 제공하는 데 효과적입니다. 컴파운드는 특정 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. 궁극적으로 특정 프로젝트에 가장 적합한 재료는 응용 프로그램의 특정 요구 사항에 따라 달라집니다.
박막 증착 기술이란?
스퍼터링 타겟이란 무엇입니까?
증발 도가니를 사용하면 어떤 이점이 있나요?
세라믹 도가니는 어떻게 취급하고 유지관리해야 합니까?
열 증발 소스는 어떤 용도로 사용되나요?
최적의 박막 증착을 달성하는 방법은 무엇입니까?
원하는 특성을 가진 박막을 얻기 위해서는 고품질 스퍼터링 타겟과 증발 재료가 필수적입니다. 이러한 재료의 품질은 순도, 입자 크기 및 표면 상태와 같은 다양한 요인에 의해 영향을 받을 수 있습니다.
스퍼터링 타겟 또는 증발 재료의 순도는 결정적인 역할을 합니다. 불순물은 생성된 박막에 결함을 일으킬 수 있기 때문입니다. 입자 크기는 또한 박막의 품질에 영향을 미치며 입자가 클수록 필름 특성이 저하됩니다. 또한 표면이 거칠면 필름에 결함이 생길 수 있으므로 표면 상태가 중요합니다.
최고 품질의 스퍼터링 타겟 및 증발 재료를 얻으려면 고순도, 작은 입자 크기 및 매끄러운 표면을 가진 재료를 선택하는 것이 중요합니다.
박막 증착의 용도
산화아연 기반 박막
ZnO 박막은 열, 광학, 자기 및 전기와 같은 여러 산업 분야에서 응용되지만 주로 코팅 및 반도체 장치에 사용됩니다.
박막 저항기
박막 저항기는 현대 기술에 매우 중요하며 라디오 수신기, 회로 기판, 컴퓨터, 무선 주파수 장치, 모니터, 무선 라우터, Bluetooth 모듈 및 휴대폰 수신기에 사용됩니다.
자성 박막
자성 박막은 전자, 데이터 저장, 무선 주파수 식별, 마이크로파 장치, 디스플레이, 회로 기판 및 광전자 공학의 핵심 구성 요소로 사용됩니다.
광학 박막
광학 코팅 및 광전자 공학은 광학 박막의 표준 응용 분야입니다. 분자 빔 에피택시는 광전자 박막 장치(반도체)를 생산할 수 있으며, 여기서 에피택셜 필름은 기판에 한 번에 원자 하나씩 증착됩니다.
고분자 박막
고분자 박막은 메모리 칩, 태양 전지 및 전자 장치에 사용됩니다. 화학 증착 기술(CVD)은 적합성 및 코팅 두께를 포함하여 폴리머 필름 코팅을 정밀하게 제어합니다.
박막 전지
박막 전지는 이식형 의료기기와 같은 전자 기기에 전력을 공급하며, 리튬 이온 전지는 박막의 사용 덕분에 크게 발전했습니다.
박막 코팅
박막 코팅은 다양한 산업 및 기술 분야에서 대상 물질의 화학적 및 기계적 특성을 향상시킵니다. 반사 방지 코팅, 자외선 방지 또는 적외선 방지 코팅, 긁힘 방지 코팅 및 렌즈 편광이 몇 가지 일반적인 예입니다.
박막형 태양전지
박막형 태양전지는 상대적으로 저렴하고 깨끗한 전기를 생산할 수 있어 태양광 산업에 필수적이다. 광전지 시스템과 열 에너지는 두 가지 주요 적용 기술입니다.
전자 제품용 스퍼터링 타겟이란 무엇입니까?
증발 도가니는 어떻게 취급하고 유지관리해야 합니까?
박막 증착에 영향을 미치는 요인 및 매개변수
공술서 비율:
일반적으로 두께를 시간으로 나눈 값으로 측정되는 필름 생산 속도는 응용 분야에 적합한 기술을 선택하는 데 중요합니다. 적당한 증착 속도는 박막에 충분하고 빠른 증착 속도는 후막에 필요합니다. 속도와 정확한 필름 두께 제어 사이의 균형을 맞추는 것이 중요합니다.
일률:
기판 전체에 걸친 필름의 일관성은 균일성으로 알려져 있으며, 일반적으로 필름 두께를 나타내지만 굴절률과 같은 다른 특성과도 관련될 수 있습니다. 균일성을 과소 또는 과도하게 지정하지 않도록 애플리케이션을 잘 이해하는 것이 중요합니다.
채우기 기능:
충전 능력 또는 스텝 커버리지는 증착 공정이 기판의 지형을 얼마나 잘 커버하는지를 나타냅니다. 사용된 증착 방법(예: CVD, PVD, IBD 또는 ALD)은 스텝 커버리지 및 충전에 상당한 영향을 미칩니다.
필름 특성:
필름의 특성은 애플리케이션의 요구 사항에 따라 달라지며 광자, 광학, 전자, 기계 또는 화학으로 분류할 수 있습니다. 대부분의 영화는 둘 이상의 범주에서 요구 사항을 충족해야 합니다.
공정 온도:
필름 특성은 공정 온도의 영향을 크게 받으며, 적용 분야에 따라 제한될 수 있습니다.
손상:
각 증착 기술은 증착되는 재료를 손상시킬 가능성이 있으며 작은 피처는 프로세스 손상에 더 취약합니다. 오염, UV 방사선 및 이온 충격은 손상의 잠재적인 원인 중 하나입니다. 재료와 도구의 한계를 이해하는 것이 중요합니다.
스퍼터링 타겟의 수명은 얼마입니까?
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