박막 증착 부품

전자총 빔 증착용 도가니

품목 번호 : KES01

가격은 다음을 기준으로 달라집니다 사양 및 사용자 정의

재료: 탄탈륨 / 몰리브덴 / 텅스텐
사양: 4CC / 7CC /15CC / 25CC / 40CC

배송:

문의하기 배송 세부 정보를 얻으려면 즐기세요 정시 배송 보장.

설명
다운로드

사양 보기 맞춤 견적 요청👋

문의

채팅 사양 보기

왜 저희를 선택해야 할까요

간편한 주문 프로세스, 품질 좋은 제품, 그리고 귀하의 비즈니스 성공을 위한 전담 지원.

간편한 프로세스 품질 보장 전담 지원

응용 분야

전자총은 도가니에 집중되는 강력한 전자빔을 생성합니다. 전자는 도가니 안의 재료를 가열하여 원자 또는 분자 클러스터로 만듭니다. 이 구름은 얇은 막을 형성하기 위해 표면에 증착될 수 있습니다. 전자총 빔 증착에서 도가니는 증착될 재료를 담고 가열하는 용기와 같습니다. 녹지 않고 고온을 견딜 수 있는 특수 재료로 만들어집니다. 증발하는 재료에 열을 집중시키는 데 도움이 됩니다.

주로 다음과 같은 용도로 사용됩니다.

박막 증착: 전자빔 증착, 전자 장치 박막 생산, 광학 코팅 및 재료 표면 개질과 같은 박막 증착 기술에 널리 사용됩니다.
반도체 산업: 상호 연결, 옴 접점 및 확산 장벽으로 얇은 금속 박막 증착.
광학 및 광전자 공학: 다양한 광학 장치를 위한 광학 코팅, 반사 방지 코팅 및 거울.

세부 정보 및 부품

기술 사양

제품	몰리브덴/텅스텐 도가니	질화붕소 도가니/전도성 질화붕소 도가니	흑연 도가니/코팅된 흑연 도가니	열분해 흑연 코팅 도가니	니켈 도가니	티타늄 도가니	구리 도가니	알루미나 도가니
사양	4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC	4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC	4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC	4CC / 7CC	4CC	4CC	4CC / 2CC / 40CC	4CC

표시된 도가니는 다양한 크기로 제공되며 요청 시 맞춤형 크기도 가능합니다.

장점

더 높은 증착 속도.
열 안정성 향상; 균일한 가열.
도가니로의 열 전달 감소; 우수한 단열 성능.
챔버 가동 중지 시간을 최소화하기 위해 빠른 재료 교체를 가능하게 합니다.
진공 호환성; 고순도 막.
다용도; 여러 재료 지원.
도가니 손상 및 유지 보수를 최소화합니다.
이러한 장점 덕분에 전자총 빔 도가니는 박막 증착 공정에서 중요한 도구가 되어 다양한 산업 및 연구 분야에 정밀한 제어, 높은 증착 속도 및 고품질 박막을 제공합니다.

업계 리더들이 신뢰하는

FAQ

열 증발원이란 무엇인가요?

열 증발 소스는 열 증발 시스템에서 기판에 박막을 증착하는 데 사용되는 장치입니다. 이 장치는 재료(증발제)를 고온으로 가열하여 증발시킨 다음 기판에 응축시켜 박막을 형성하는 방식으로 작동합니다.

열 증발과 전자빔 증발의 비교.

전자빔 증발은 열 증발에 비해 많은 이점이 있습니다. 텅스텐, 흑연 등 매우 높은 온도에서 재료를 녹일 수 있습니다. 진공을 깨지 않고 더 많은 물질을 증발시키기 위해 전자 빔 전류를 조정하기 위한 피드백 신호로서 수정 센서와 결합된 증발 속도 제어가 용이합니다. 따라서 E-빔 증발은 원하는 전도성, 반사성, 투과성 및 전자적 특성을 부여하기 위해 반도체, 광학, 태양광 패널, 유리 및 건축용 유리를 포함한 박막 처리 분야에서 사용됩니다.

열 증발 소스의 주요 유형은 무엇인가요?

열 증발 소스의 주요 유형에는 저항성 증발 소스, 전자빔 증발 소스 및 플래시 증발 소스가 있습니다. 각 유형은 저항 가열, 전자빔 가열 또는 뜨거운 표면과의 직접 접촉 등 다양한 방법을 사용하여 증발제를 가열합니다.

열 증발 소스는 어떻게 작동하나요?

열 증발 소스는 저항성 물질에 전류를 통과시켜 고온으로 가열하는 방식으로 작동합니다. 이 열은 증발제로 전달되어 증발제가 녹아 증발하게 됩니다. 그런 다음 증기는 진공 챔버를 통과하여 기판에 응축되어 얇은 필름을 형성합니다.

도가니 증발에 사용되는 일반적인 재료는 무엇입니까?

증발 도가니는 일반적으로 텅스텐, 탄탈륨, 몰리브덴, 흑연 또는 세라믹 화합물과 같은 재료로 만들어집니다. 이러한 재료는 녹는점이 높고 열전도율이 좋기 때문에 증발 중에 필요한 고온 조건에 적합합니다. 도가니 재료의 선택은 증발 재료, 원하는 필름 특성 및 공정 매개변수와 같은 요인에 따라 달라집니다.

열 증착 소스를 사용하면 어떤 이점이 있을까요?

열 증착 소스의 장점은 높은 증착률, 우수한 방향성, 우수한 균일성, 다양한 재료와의 호환성입니다. 또한 비교적 간단하고 가격이 저렴하여 박막 증착의 다양한 응용 분야에 적합합니다.

증발 도가니를 사용하면 어떤 이점이 있나요?

증발 도가니는 박막 증착 공정에서 여러 가지 장점을 제공합니다. 재료 증발을 위한 제어된 환경을 제공하여 필름 두께와 균일성을 정밀하게 제어할 수 있습니다. 도가니는 고온을 견딜 수 있고 효율적인 열 전달을 제공하여 일관된 증발 속도를 보장합니다. 다양한 증발 시스템과 기판 구성을 수용할 수 있도록 다양한 크기와 모양으로 제공됩니다. 또한 증발 도가니를 사용하면 금속, 반도체, 세라믹 등 다양한 재료를 증착할 수 있습니다. 쉽게 로드하고 언로드할 수 있어 신속한 재료 변경이나 공정 조정이 용이합니다. 전반적으로 증발 도가니는 박막 증착 기술의 필수 도구로 다양성, 신뢰성 및 재현성을 제공합니다.

열 증발 소스는 어떤 용도로 사용되나요?

열 증발 소스는 광학 코팅, 반도체 소자 및 다양한 유형의 박막 생산과 같은 다양한 응용 분야에 사용됩니다. 특히 기판 위에 재료를 증착할 때 정밀한 제어가 필요한 산업에서 유용합니다.

증발 도가니는 어떻게 취급하고 유지관리해야 합니까?

증발 도가니는 수명과 성능을 보장하기 위해 주의해서 취급하고 유지관리해야 합니다. 도가니는 매번 사용하기 전에 철저하게 세척하여 이전 침전물에서 남은 물질을 제거해야 합니다. 도가니 표면을 손상시킬 수 있는 연마재를 사용하지 마십시오. 적재 및 하역 중에는 오염을 방지하기 위해 깨끗한 장갑이나 특수 도구를 사용하여 도가니를 다루십시오. 사용하지 않을 때에는 부식이나 품질 저하를 방지하기 위해 도가니를 건조하고 깨끗한 환경에 보관하십시오. 증발 과정에서 예상치 못한 고장을 방지하려면 도가니에 균열, 결함 또는 마모 징후가 있는지 정기적으로 검사하는 것이 중요합니다. 도가니의 수명을 연장하려면 어닐링이나 표면 처리와 같은 특정 유지 관리 절차에 대한 제조업체의 권장 사항을 따르십시오.

이 제품에 대한 더 많은 FAQ 보기