확산 펌프는 필요한 진공 수준에 따라 다른 온도에 도달할 수 있습니다. 다음은 다양한 진공 범위에 대한 온도입니다:
- 진공 범위가 10-9 ~ 10-10 토르인 경우 확산 펌프 온도는 245°C입니다.
- 진공 범위가 10-7~10-8 토르인 경우 확산 펌프 온도는 220°C입니다.
- 진공 범위가 10-5 ~ 10-6 토르인 경우 확산 펌프 온도는 180°C입니다.
확산 펌프의 작동은 확산 펌프 오일과 히터라는 두 가지 요소의 존재 여부에 따라 달라집니다. 히터는 보일러 플레이트를 가열하여 오일을 비등 온도로 끌어올립니다. 상승하는 오일 증기는 높이를 따라 제트 개구부가 있는 수직으로 가늘어지는 스택에서 압축됩니다. 제트기는 공기를 포집하는 증기 우산을 만들어 펌프가 진공을 만들 수 있도록 각도를 조절합니다.
확산 펌프 오일은 시간이 지남에 따라 오염될 수 있으며, 이는 잠재적인 문제를 일으킬 수 있다는 점에 유의해야 합니다. 오염은 워크로드에 존재하는 오일이 가열 시 휘발되어 확산 펌프로 이동할 때 발생할 수 있습니다. 이는 오일의 인화점을 낮추고 잠재적으로 과열 및 폭발로 이어질 수 있습니다. 따라서 안전하고 효율적인 작동을 위해 확산 펌프 오일을 최소한 매년 교체하고 제트 어셈블리 및 확산 펌프 내부를 주기적으로 분해 및 청소하는 등 정기적인 유지보수를 권장합니다.
열 전달 및 전력 손실 측면에서 확산 펌프는 온도 균일성을 유지하고 가스 누출을 방지하는 데 어려움을 겪을 수 있습니다. 가스의 온도 균일성 문제에 대한 일반적인 해결책인 팬의 사용은 고압에서 작동하는 확산 펌프에는 적합하지 않을 수 있습니다. 팬 샤프트 주변의 여유 공간은 심각한 가스 누출을 유발하여 진공 무결성을 손상시킬 수 있습니다. 따라서 이러한 문제를 해결하기 위해 대체 솔루션이 필요할 수 있습니다.
특정 사건에서 조사 결과, 확산 펌프의 과열은 수도관이 광물 침전물로 막혀 냉각수 부족으로 인해 발생한 것으로 밝혀졌습니다. 이로 인해 실리콘 기반 확산 펌프 오일이 과열되었습니다. 이러한 문제를 방지하려면 확산 펌프를 적절히 냉각하고 유지 관리하는 것이 중요합니다.
전반적으로 디퓨전 펌프는 필요한 진공 수준에 따라 다른 온도에서 작동합니다. 안전하고 효율적인 작동을 위해서는 오일 교환 및 청소를 포함한 정기적인 유지보수가 필수적입니다. 또한 적절한 냉각과 온도 균일성 문제 해결은 확산 펌프 작동에서 중요한 고려 사항입니다.
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