진공 펌프 오일, 특히 확산 펌프에 사용되는 실리콘 기반 오일은 인화성 측면에서 비교적 안전합니다. 그러나 고온에서 탄화수소 기반 오일은 증기가 공기와 반응할 때 폭발할 수 있습니다. 실리콘 오일은 높은 증기점과 안정성으로 인해 인화성 및 폭발의 위험을 줄여주기 때문에 선호됩니다.
자세한 설명:
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탄화수소 기반 오일: 오일 확산 펌프가 장착된 진공 용광로에서는 오일이 매우 높은 온도로 가열되어 종종 240°C(464°F) 이상에 도달합니다. 이러한 온도에서는 탄화수소 기반 오일의 증기가 공기와 접촉하면 폭발할 수 있습니다. 뜨거운 증기가 공기 중의 산소와 폭발적으로 반응하여 안전 위험을 초래할 수 있기 때문입니다. 따라서 펌프가 고온으로 작동하는 동안에는 절대로 펌프의 주입구를 열어 시스템에 공기가 유입되는 것을 방지해야 합니다.
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실리콘 기반 오일: 탄화수소 기반 오일과 관련된 폭발 위험을 완화하기 위해 실리콘 오일은 최신 진공로 시스템에서 일반적으로 사용됩니다. 실리콘 오일은 증기점이 높고 고온에서 더 안정적이므로 인화성 및 폭발 위험이 현저히 감소합니다. 또한 실리콘 오일은 가열된 상태에서 공기에 노출되면 겔화될 수 있지만 공기에 노출되었을 때 동일한 폭발 위험을 초래하지 않습니다. 이러한 특성 덕분에 실리콘 오일은 진공 시스템, 특히 고온이 수반되는 애플리케이션에서 사용하기에 더 안전합니다.
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안전 조치: 안전성을 더욱 강화하기 위해 진공로 시스템에는 다양한 조치가 시행되고 있습니다. 예를 들어, 노즐 어셈블리 상단에 콜드 캡을 장착하여 챔버 쪽으로 이동할 수 있는 오일 증기를 응축할 수 있습니다. 또한 펌프 입구에 동심원형 셰브론 배플을 사용하여 더 무거운 오일 증기를 가두어 챔버로 빠져나가는 것을 방지합니다. 이러한 설계 기능은 오일 증기를 억제하고 인화성 및 오염의 위험을 줄이는 데 도움이 됩니다.
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유지보수 및 작동: 진공 펌프의 적절한 유지보수 및 작동은 안전을 보장하는 데 필수적입니다. 최적의 성능을 유지하고 펌프를 보호하려면 정기적인 오일 점검과 교체가 필요합니다. 또한 온도가 높으면 펌프의 완전 진공 유지 능력이 저하되고 유증기 발화 위험이 높아질 수 있으므로 작동 중에 펌프가 시원하게 유지되도록 하는 것도 중요합니다.
요약하면, 진공 펌프 오일은 특히 고온에서 인화성 위험을 초래할 수 있지만 실리콘 기반 오일을 사용하고 안전 조치를 시행하면 이러한 위험을 크게 완화할 수 있습니다. 안전을 보장하고 오일 가연성과 관련된 사고를 예방하려면 진공 용광로의 적절한 유지관리와 운영이 중요합니다.
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