디퓨전 펌프의 중요한 특징은 다음과 같습니다:
1. 높은 펌프 속도: 확산 펌프는 모든 기체에 대해 높은 펌프 속도를 가지므로 고진공 및 초고진공 응용 분야에 적합합니다. 10-2 ~ 10-10 토르 범위의 펌프 속도를 달성할 수 있습니다.
2. 움직이는 부품이 없습니다: 디퓨전 펌프는 움직이는 부품이 없기 때문에 내구성과 신뢰성이 뛰어납니다. 이 기능은 유지보수가 필요 없고 기계적 고장의 위험을 줄여줍니다.
3. 간단한 작동 원리: 확산 펌프의 작동은 확산 펌프 오일과 히터라는 두 가지 요소에 의존합니다. 히터는 오일을 비등 온도까지 가열하고, 상승하는 오일 증기는 제트 구멍이 있는 수직으로 가늘어지는 스택에서 압축됩니다. 각진 제트는 공기 분자를 포집하는 증기 우산을 만듭니다.
4. 자동 진공 펌프다운: 확산 펌프의 작동은 자동으로 연동됩니다. 홀딩 펌프는 확산 펌프 포어라인에 항상 낮은 압력을 유지하는 데 사용됩니다. 이렇게 하면 펌프 오일이 챔버로 역류하는 것을 방지할 수 있습니다.
5. 다양한 응용 분야와의 호환성: 확산 펌프는 전자빔 현미경, 진공 증착, 코팅 및 진공로와 같은 산업 응용 분야에서 널리 사용됩니다. 다목적이며 다양한 공정을 처리할 수 있습니다.
6. 고진공 성능: 확산 펌프는 10-10 토르 미만의 고진공 수준을 달성할 수 있습니다. 따라서 매우 낮은 압력이 필요한 응용 분야에 적합합니다.
7. 비용 효율적: 디퓨전 펌프는 동일한 진공 범위에서 사용되는 다른 유형의 펌프에 비해 단위 펌핑 속도당 비용이 저렴합니다. 따라서 산업 응용 분야에 매력적인 옵션입니다.
8. 유체 유입 펌프: 확산 펌프는 기체 변위 펌프가 아닌 유체 유입 펌프로 작동합니다. 이 펌프는 끓는 유체의 증기를 사용하여 공기 분자를 포집한 다음 다른 위치로 이동하고 냉각하여 갇힌 공기 분자를 방출합니다.
전반적으로 확산 펌프는 빠른 펌프 속도, 내구성, 단순성 및 비용 효율성을 제공하므로 다양한 산업 응용 분야에서 높은 진공 수준을 달성하는 데 널리 사용됩니다.
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