디퓨전 펌프의 중요한 특징은 다음과 같습니다:
1. 움직이는 부품이 없습니다: 디퓨전 펌프에는 움직이는 부품이 없으므로 내구성과 신뢰성이 뛰어납니다. 이는 또한 기계적 고장의 가능성이 적다는 것을 의미합니다.
2. 넓은 압력 범위: 확산 펌프는 10-10 ~ 10-2 mbar의 넓은 압력 범위에서 작동할 수 있습니다. 따라서 전자빔 현미경, 진공 증착, 코팅 및 진공로를 포함한 다양한 응용 분야에 적합합니다.
3. 대류 구동: 확산 펌프는 기계적 수단이 아닌 대류에 의해 구동됩니다. 따라서 에너지 효율은 낮지만 작동 원리가 간단합니다.
4. 진공 펌프다운: 디퓨전 펌프에는 자동 진공 펌프다운 기능이 있으며 홀딩 펌프와 연동됩니다. 이는 확산 펌프 포드라인의 압력을 낮게 유지하고 펌프 오일이 챔버로 역류하는 것을 방지하는 데 도움이 됩니다.
5. 증기 트랩: 확산 펌프는 끓는 유체(일반적으로 오일)의 증기를 사용하여 공기 분자를 포집합니다. 증기는 제트 개구부가 있는 수직으로 가늘어지는 스택에서 압축되어 공기를 포집하는 증기 우산을 만듭니다. 그런 다음 공기 분자는 다른 위치로 이동하여 냉각되어 방출됩니다.
6. 중력과 증기 흐름의 조합: 확산 펌프에서 중력과 증기의 아래쪽 방향의 조합은 공기 분자를 펌프 바닥으로 이동시키는 데 도움이 됩니다.
7. 호환성 및 저항: 좋은 확산 펌프는 높은 내식성, 높은 응축수 호환성 및 범용 내화학성을 가져야 합니다. 이를 통해 성능 저하나 손상 없이 다양한 물질을 처리할 수 있습니다.
8. 내구성과 낮은 유지보수: 디퓨전 펌프는 움직이는 부품이 없기 때문에 내구성과 신뢰성이 뛰어난 것으로 알려져 있습니다. 최소한의 유지보수가 필요하므로 장기적으로 비용 효율적입니다.
9. 펌핑 시스템 통합: 확산 펌프는 종종 더 큰 펌핑 시스템에 통합됩니다. 일반적으로 10~1미크론 사이에서 활성화되며 기계식 펌프 및 부스터 펌프와 함께 작동하여 높은 진공 수준을 달성합니다.
전반적으로 디퓨전 펌프는 다양한 산업 응용 분야에서 높은 진공 수준을 달성하기 위한 안정적이고 효율적인 솔루션을 제공합니다. 단순한 디자인, 내구성, 넓은 압력 범위로 인해 많은 산업 분야에서 널리 사용되고 있습니다.
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