진공 펌프는 크게 액체 링, 다이어프램, 로터리 베인, 터보 분자, 스크롤 진공 펌프의 다섯 가지 유형으로 분류됩니다. 이러한 펌프는 작동 원리, 유지보수 요구 사항 및 특정 애플리케이션에 대한 적합성이 다릅니다. 진공 펌프의 선택은 필요한 진공의 유형, 기술의 견고성, 비용 고려 사항 등의 요인에 따라 달라집니다.
액봉식 진공 펌프 액체를 사용하여 밀봉을 형성하고 임펠러를 회전시켜 진공을 생성합니다. 습식 및 부식성 가스를 처리하는 능력으로 잘 알려져 있으며 대량의 가스를 배출해야 하는 공정에서 자주 사용됩니다.
다이어프램 진공 펌프 다이어프램과 밸브 시스템을 사용하여 가스를 펌핑합니다. 건식 펌프이므로 진공 챔버에 오일이나 기타 윤활제를 사용하지 않으므로 깨끗한 진공이 필요한 응용 분야에 적합합니다. 이 펌프는 유지보수가 적고 폐기물 발생이 적어 선호되지만 초기 비용이 높습니다.
로터리 베인 진공 펌프 는 회전 메커니즘을 사용하여 가스를 제한된 공간으로 끌어들인 다음 배출하는 양변위 펌프입니다. 다용도로 사용할 수 있으며 저진공부터 고진공까지 광범위한 진공 수준에서 작동할 수 있습니다. 이 펌프는 신뢰성과 견고성으로 잘 알려져 있지만 최적의 성능을 위해 주기적인 유지보수가 필요합니다.
터보 분자 진공 펌프 는 일련의 회전하는 블레이드에 의해 기체 분자가 입구에서 출구로 전달되는 운동량 전달 원리로 작동합니다. 초고진공 및 초고압 진공을 달성할 수 있으며 과학 연구 및 반도체 제조에 일반적으로 사용됩니다.
스크롤 진공 펌프 두 개의 인터리브 스크롤을 사용하여 가스를 압축하고 배출합니다. 이 펌프는 건식 펌프이며 조용한 작동과 낮은 진동 수준으로 유명합니다. 이 펌프는 깨끗하고 오일이 없는 진공이 필요한 애플리케이션에 이상적입니다.
이러한 유형 외에도 진공 펌프는 작동 원리에 따라 가스 이송 펌프와 포집 펌프로 분류할 수 있습니다. 기체 이송 펌프는 다시 양변위 펌프와 운동량 이송 펌프로 나뉩니다. 유체의 유형(점성, 전이, 분자)을 이해하는 것은 진공 펌프의 성능과 선택에 영향을 미치므로 매우 중요합니다.
전반적으로 진공 펌프의 선택은 원하는 진공 수준, 처리하는 가스의 특성, 운영 환경 등 애플리케이션의 특정 요구 사항에 따라 달라집니다. 진공 펌프의 각 유형은 고유한 장점을 제공하며 다양한 산업 및 과학 응용 분야에 적합합니다.
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