확산 펌프라고도 하는 디퓨즈 펌프는 끓는 유체의 증기를 사용하여 공기 분자를 포집하고 이동시키는, 움직이는 부품 없이 작동하는 진공 펌프의 일종입니다. 이 펌프는 유체 유입 펌프로 분류되며 피스톤, 핀 또는 로브를 사용하여 공기를 치환하는 기계식 펌프와는 구별됩니다.
작동 요약:
확산 펌프는 고속 기화 유체의 운동 에너지를 사용하여 진공 챔버에서 배출구 쪽으로 가스 분자를 유입합니다. 흔히 오일이라고 하는 유체는 가열되어 증기를 생성합니다. 이 증기는 아래쪽으로 이동하여 공기 분자를 포집하여 펌프의 바닥으로 향하게 합니다. 포집된 분자는 냉각되어 2차 챔버 또는 배기 시스템으로 방출됩니다.
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자세한 설명:작동 원리:
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확산 펌프는 고속 증기 제트에서 진공 챔버의 가스 분자로의 운동량 전달에 의존합니다. 일반적으로 오일을 기반으로 하는 증기는 기화될 때까지 가열되어 노즐을 통해 고속으로 분사됩니다. 이 제트는 고속의 흐름을 만들어 챔버의 가스 분자를 쓸어 올려 압력을 효과적으로 낮춥니다.유체 유형:
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이 참고 자료에서는 확산 펌프에 사용되는 두 가지 특정 유형의 유체, 즉 폴리페닐 에테르와 퍼플루오로폴리에테르에 대해 언급하고 있습니다. 폴리페닐 에테르는 증기압이 낮고 전자 충격에 대한 내성이 있어 특정 하이테크 애플리케이션에 적합하다는 평가를 받고 있습니다. 반면 퍼플루오로폴리에테르는 불소가 풍부한 구조로 인해 불활성이 높은 화합물로 다양한 화학 물질 및 환경 요인에 대한 내성이 있습니다. 하지만 분해 생성물은 독성이 있어 취급 시 주의가 필요합니다.유지보수 및 효율성:
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확산 펌프의 작동은 상대적으로 유지보수가 필요 없으며, 주로 사용되는 오일의 품질과 수준에 주의를 기울여야 합니다. 고품질 오일은 최적의 성능을 보장하고 잦은 유지보수의 필요성을 줄여줍니다. 오일을 기화시키는 데 중요한 펌프의 가열 시스템도 정기적으로 점검하여 제대로 작동하는지 확인해야 합니다.애플리케이션 및 성능:
확산 펌프는 10^-2에서 10^-10 토르에 이르는 높은 진공 수준을 달성할 수 있어 전자빔 현미경, 진공 증착, 코팅 및 진공로와 같은 다양한 산업 응용 분야에 적합합니다. 이 펌프의 내구성과 신뢰성은 움직이는 부품이 없기 때문에 작동과 유지보수가 간편하다는 데서 비롯됩니다.
결론적으로, 확산 펌프는 기화된 유체의 운동 에너지를 활용하여 챔버에서 가스 분자를 유입하고 제거하는 고진공을 생성하는 견고하고 효율적인 도구입니다. 설계와 작동 방식이 기계식 펌프와 차별화되어 다양한 산업 분야의 고진공 요구 사항에 맞는 고유한 솔루션을 제공합니다.
