확산 펌프라고도 하는 디퓨즈 펌프는 움직이는 부품 없이 작동하는 진공 펌프의 일종입니다.
이 펌프는 끓는 유체의 증기를 사용하여 공기 분자를 포집하고 이동시킵니다.
이 펌프는 피스톤, 핀 또는 로브를 사용하여 공기를 치환하는 기계식 펌프와 구별되는 유체 유입 펌프로 분류됩니다.
이해해야 할 5가지 핵심 사항
1. 작동 원리
확산 펌프는 고속 증기 제트에서 진공 챔버의 가스 분자로의 운동량 전달에 의존합니다.
일반적으로 오일을 기반으로 하는 증기는 기화될 때까지 가열되어 노즐을 통해 고속으로 전달됩니다.
이 제트는 고속의 흐름을 만들어 챔버의 가스 분자를 휩쓸어 올려 압력을 효과적으로 낮춥니다.
2. 유체 유형
이 참고 자료에서는 확산 펌프에 사용되는 두 가지 특정 유형의 유체, 즉 폴리페닐 에테르와 퍼플루오로폴리에테르에 대해 언급하고 있습니다.
폴리페닐 에테르는 증기압이 낮고 전자 충격에 대한 저항성이 있어 특정 하이테크 애플리케이션에 적합합니다.
반면 퍼플루오로폴리에테르는 불소가 풍부한 구조로 인해 불활성이 높은 화합물로 다양한 화학 물질 및 환경 요인에 대한 내성이 있습니다.
하지만 분해 생성물은 독성이 있어 취급 시 주의가 필요합니다.
3. 유지보수 및 효율성
확산 펌프의 작동은 상대적으로 유지보수가 필요 없으며, 주로 사용되는 오일의 품질과 수준에 주의를 기울여야 합니다.
고품질 오일은 최적의 성능을 보장하고 잦은 유지보수의 필요성을 줄여줍니다.
오일을 기화시키는 데 중요한 펌프의 가열 시스템도 정기적으로 점검하여 제대로 작동하는지 확인해야 합니다.
4. 응용 분야 및 성능
디퓨전 펌프는 10^-2에서 10^-10 토르에 이르는 높은 진공 수준을 달성할 수 있습니다.
따라서 전자빔 현미경, 진공 증착, 코팅 및 진공로와 같은 다양한 산업 응용 분야에 적합합니다.
움직이는 부품이 없기 때문에 내구성과 신뢰성이 뛰어나며, 작동 및 유지보수가 간편합니다.
5. 독특한 설계 및 작동
디퓨전 펌프는 고진공을 만들기 위한 견고하고 효율적인 도구입니다.
기화된 유체의 운동 에너지를 활용하여 챔버에서 가스 분자를 포집하고 제거합니다.
설계와 작동 방식이 기계식 펌프와 차별화되어 다양한 산업 분야의 고진공 요구 사항에 맞는 고유한 솔루션을 제공합니다.
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