기술팀 · Kintek Solution

확산 펌프, 특히 진공 확산 펌프는 진공 챔버에서 고진공을 생성하고 유지하는 데 사용되는 장치입니다. 이는 기화되어 고속 증기 제트를 형성하는 특수 오일을 가열하여 작동합니다. 이 증기는 진공 챔버에서 가스 분자를 포착하고 동반하여 압축하고 펌프 밖으로 배출합니다. 이 공정은 증기 확산 및 응축 원리에 의존하며 오일은 지속적으로 재활용됩니다. 확산 펌프는 과학 연구, 반도체 제조, 진공 코팅 공정 등 높은 진공 수준이 필요한 응용 분야에 널리 사용됩니다.

설명된 핵심 사항:

1. 기본 작동 원리:

   • 진공 확산 펌프는 열을 사용하여 특수 오일을 기화시켜 고속 증기 제트를 생성합니다.
   • 증기는 진공 챔버에서 가스 분자를 포착하여 압축하여 펌프 밖으로 배출합니다.
   • 이 과정은 연속적이며 응축 후 오일이 재활용됩니다.

2. 주요 구성 요소:

   • 히터: 보일러 플레이트를 가열하여 오일을 끓이고 증발시킵니다.
   • 디퓨전 펌프 오일: 고온에서 기화하여 증기 제트를 생성하는 데 사용되는 특수 오일입니다.
   • 제트 스택: 증기를 위쪽으로 유도하여 증기 우산을 생성하는 제트 개구부가 있는 수직으로 테이퍼진 스택입니다.
   • 응축 코일: 펌프 외부에 위치한 이 코일은 증기를 냉각시켜 증기가 다시 액체 오일로 응축되게 한 다음 다시 보일러플레이트로 흘러갑니다.
   • 진공 챔버 연결: 펌프 상단이 진공챔버와 연결되어 있어 펌프가 챔버 내부에 고진공을 형성할 수 있습니다.

3. 진공을 만드는 과정:

   • 히터는 오일을 가열하여 오일을 끓이고 증기를 생성합니다.
   • 증기는 제트 스택을 통해 상승하여 진공 챔버에서 가스 분자를 포착하는 고속 제트를 생성합니다.
   • 포획된 가스 분자는 압축되어 베이스의 펌프 밖으로 배출됩니다.
   • 증기는 차가운 응축 코일에서 응축되어 액체 오일로 다시 변한 다음 재사용을 위해 보일러 플레이트로 다시 흘러갑니다.

4. 확산 펌프의 장점:

   • 높은 진공 수준: 확산펌프는 매우 높은 진공도를 달성할 수 있어 초고진공 조건이 요구되는 용도에 적합합니다.
   • 연속운전: 펌프가 지속적으로 작동하며 오일이 재활용되어 장기간 진공도를 유지할 수 있습니다.
   • 움직이는 부품 없음: 확산 펌프에는 움직이는 부품이 없으므로 기계적 마모 및 유지 관리 요구 사항이 줄어듭니다.

5. 응용:

   • 과학 연구: 입자물리학, 재료과학 등 고진공 조건이 요구되는 실험에 사용됩니다.
   • 반도체 제조: 화학기상증착(CVD), 물리기상증착(PVD) 등 고진공이 필요한 공정에 필수적입니다.
   • 진공 코팅: 코팅 품질을 보장하기 위해 고진공이 필요한 박막 증착과 같은 응용 분야에 사용됩니다.

6. 구매자를 위한 고려사항:

   • 오일 종류: 확산 펌프 오일의 선택은 펌프의 성능 및 유지 관리 요구 사항에 영향을 미치므로 매우 중요합니다. 오일마다 증기압과 열 안정성이 다릅니다.
   • 펌프 크기: 펌프의 크기는 진공챔버의 용적과 요구되는 진공도에 맞춰야 합니다.
   • 유지: 펌프의 효율적인 작동을 위해서는 필요에 따른 오일 점검 및 교체, 응축코일 청소 등 정기적인 유지보수가 필요합니다.
   • 호환성: 펌프가 진공 시스템의 진공 챔버 및 기타 구성 요소와 호환되는지 확인하십시오.

7. 다른 진공펌프와의 비교:

   • 기계식 펌프: 확산 펌프는 일반적으로 거친 진공 응용 분야에 사용되는 기계식 펌프에 비해 훨씬 높은 진공 수준을 달성할 수 있습니다.
   • 터보 펌프: 터보 펌프도 높은 진공 수준을 달성하지만 움직이는 부품이 있어 유지 관리가 더 많이 필요합니다. 확산 펌프는 단순성과 신뢰성 때문에 선호되는 경우가 많습니다.
   • 크라이오펌프: 크라이오펌프는 초고진공 용도로 사용되지만 냉각 시스템이 필요합니다. 확산 펌프는 많은 고진공 응용 분야에서 더 비용 효율적입니다.

요약하자면, 진공 확산 펌프는 높은 진공 수준이 필요한 시스템에서 중요한 구성 요소입니다. 그 작동은 특수 오일의 기화 및 응축에 의존하여 진공 챔버에서 가스 분자를 효과적으로 제거하는 연속 사이클을 생성합니다. 확산 펌프를 선택할 때 최적의 성능과 수명을 보장하려면 오일 유형, 펌프 크기, 유지 관리 요구 사항 등을 고려해야 합니다.

요약표:

측면	세부
작동원리	열을 사용하여 오일을 기화하고 고속 증기 제트를 생성하여 가스 분자를 제거합니다.
주요 구성 요소	히터, 확산 펌프 오일, 제트 스택, 응축 코일, 진공 챔버 연결.
장점	높은 진공 수준, 연속 작동, 움직이는 부품 없음, 낮은 유지 관리.
응용	과학 연구, 반도체 제조, 진공 코팅 공정.
고려사항	오일 유형, 펌프 크기, 유지 관리, 진공 시스템과의 호환성.

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