SEM용 스퍼터 코팅은 비전도성 또는 저전도성 시편에 초박막의 전기 전도성 금속 층을 도포하여 전하를 방지하고 이미징 품질을 향상시킵니다. 이 프로세스에는 일반적으로 2~20nm 두께의 금, 백금, 은 또는 크롬과 같은 금속이 사용됩니다. 빔 손상 감소, 열 전도 개선, 시료 충전 감소, 이차 전자 방출 개선, 에지 해상도 향상, 빔에 민감한 시편 보호 등의 이점이 있습니다.
자세한 설명:
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금속 코팅 적용:
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스퍼터 코팅은 시편에 얇은 금속 층을 증착하는 작업입니다. 이는 주사 전자 현미경(SEM) 분석 중에 정전기장이 축적될 수 있으므로 전기 전도성이 없는 시편에 매우 중요합니다. 이 목적으로 일반적으로 사용되는 금속에는 금, 백금, 은, 크롬 등이 있으며, 전도성과 안정적이고 얇은 필름을 형성하는 능력 때문에 선택됩니다.충전 방지:
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SEM의 비전도성 물질은 전자 빔과의 상호 작용으로 인해 전하가 발생하여 이미지를 왜곡하고 분석을 방해할 수 있습니다. 스퍼터 코팅을 통해 적용된 전도성 금속층은 이 전하를 소멸시켜 선명하고 정확한 이미지를 보장합니다.
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이차 전자 방출 향상:
- 금속 코팅은 또한 시료 표면에서 이차 전자의 방출을 향상시킵니다. 이러한 이차 전자는 SEM에서 이미징에 매우 중요하며, 방출이 증가하면 신호 대 잡음비가 개선되어 더 선명하고 상세한 이미지를 얻을 수 있습니다.
- SEM 샘플에 대한 이점:현미경 빔 손상 감소:
- 금속 코팅은 전자 빔의 손상으로부터 시편을 보호하는 데 도움이 됩니다.열 전도 증가:
- 전도성 층이 전자빔에서 발생하는 열을 방출하여 시편을 열 손상으로부터 보호합니다.시료 충전 감소:
- 앞서 언급했듯이 전도성 층은 정전기가 쌓이는 것을 방지합니다.이차 전자 방출 개선:
- 이는 SEM 이미지의 품질을 직접적으로 향상시킵니다.에지 해상도 향상으로 빔 투과율 감소:
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얇은 금속층이 전자빔 투과 깊이를 줄여 이미지의 가장자리와 미세한 디테일의 해상도를 향상시킵니다.빔에 민감한 표본 보호:
코팅은 민감한 물질에 대한 보호막 역할을 하여 전자빔에 직접 노출되는 것을 방지합니다.
스퍼터링 필름의 두께:
