확산 펌프는 기계식 펌프만으로 달성할 수 있는 압력보다 훨씬 낮은 극도로 낮은 압력을 달성하도록 설계된 특수 진공 펌프입니다. 이는 확산 펌프 오일을 가열하여 진공 챔버에서 공기 분자를 포착하고 제거하는 고속 증기 흐름을 생성함으로써 작동합니다. 이 과정은 가스 분자를 포획하여 아래쪽으로 유도하여 펌프 바닥에서 배출시키는 증기의 능력에 의존합니다. 히터, 응축 코일, 제트 개구부가 있는 수직으로 테이퍼진 스택을 포함하는 펌프 설계는 움직이는 부품 없이 효율적인 작동을 보장합니다. 확산 펌프는 깨끗하고 낮은 압력의 환경을 유지하는 것이 중요한 실험실, 산업 공정, 과학 연구 등 높은 진공 수준이 필요한 응용 분야에 필수적입니다.
설명된 핵심 사항:
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확산펌프의 주요 기능:
- 확산 펌프는 다음을 달성하는 데 사용됩니다. 높은 진공 수준 기계식 펌프만으로는 도달할 수 없는 영역입니다. 원하는 진공 수준이 다음과 같을 때 특히 필요합니다. 10^-2Pa 이하 , 기계식 펌프는 낮은 압력에서 펌핑 속도가 제한되어 있기 때문입니다.
- 이는 다음을 생성하여 작동합니다. 차압 진공 챔버에 연결된 상단과 펌프 하단 사이에 위치하여 챔버에서 공기 분자를 제거할 수 있습니다.
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작동 원리:
- 펌프는 다음을 사용하여 작동합니다. 확산 펌프 오일 그리고 히터 . 히터는 보일러 플레이트를 가열하여 오일이 끓고 생성되도록 합니다. 기름 증기 .
- 상승하는 오일 증기는 압축됩니다. 수직으로 테이퍼진 스택 제트 개구부를 통해 증기의 우산 공기 분자를 포획하는 것입니다.
- 증기 흐름은 아래로 이동합니다. 차가운 응축 코일 펌프 외부에 오일이 응축되어 저장소로 돌아가는 데 도움이 됩니다.
- 포집된 공기는 펌프 베이스에서 배출되고, 응축된 오일은 재사용을 위해 재활용됩니다.
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주요 구성 요소:
- 히터: 확산펌프 오일을 가열하여 필요한 증기를 생성합니다.
- 상용구: 오일이 가열되어 기화되는 부위입니다.
- 제트기 입구: 유증기를 위쪽으로 향하게 한 다음 아래쪽으로 향하게 하여 공기 분자를 포집하는 증기 흐름을 생성합니다.
- 응축 코일: 유증기를 냉각시켜 응축시켜 저장소로 되돌려 보냅니다.
- 저수지: 사이클 내 재사용을 위해 응축된 오일을 수집합니다.
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확산 펌프의 장점:
- 움직이는 부품 없음: 기계식 펌프와 달리 확산식 펌프는 움직이는 부품 없이 작동하므로 마모가 적고 장기적인 신뢰성을 보장합니다.
- 높은 펌핑 속도: 달성할 수 있다 매우 높은 펌핑 속도 , 대량의 가스를 신속하게 배출해야 하는 응용 분야에 이상적입니다.
- 높은 진공 수준: 최저 진공도 도달 가능 10^-7파 이는 전자현미경, 반도체 제조, 우주 시뮬레이션과 같은 응용 분야에 필수적입니다.
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응용:
- 실험실 사용: 확산펌프는 실험실에서 다음과 같은 작업에 사용됩니다. 여과법 , 액체 샘플의 흡인 , 그리고 용매 증발 제어 증기압을 감소시킴으로써.
- 과학 연구: 이는 연구 환경에 필수적입니다. 높은 진공 수준 다음과 같이 필수입니다. 입자 물리학 실험 또는 재료 과학 연구 .
- 산업 공정: 다음과 같은 산업 분야에서 사용됩니다. 반도체 제조 그리고 박막 코팅 , 깨끗하고 낮은 압력의 환경을 유지하는 것이 중요합니다.
- 위험 물질 봉쇄: 그들은 음압 환경 위험물질의 유출을 방지하기 위한 것입니다.
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기계식 펌프와의 비교:
- 기계식 펌프의 한계: 기계식 펌프만으로는 초고진공 수준 많은 고급 응용 프로그램에 필요합니다. 펌핑 속도는 10^-2 Pa 미만의 압력에서 크게 감소합니다.
- 확산펌프의 보완적 역할: 확산펌프는 기계식 펌프와 함께 사용되는 경우가 많습니다. 기계식 펌프는 다음을 제공합니다. 초기 거친 진공 , 확산 펌프가 대신하여 최종 고진공 .
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유지 관리 및 고려 사항:
- 오일 품질: 확산펌프의 성능은 펌프의 품질에 크게 좌우됩니다. 확산 펌프 오일 . 오염되거나 품질이 저하된 오일은 효율성을 감소시키고 펌프 고장을 초래할 수 있습니다.
- 냉각 시스템: 정상적인 작동 응축 코일 결정적이다. 냉각 시스템에 문제가 있으면 응축 과정이 중단되고 펌프의 효율성이 저하될 수 있습니다.
- 백스트리밍: 진공 챔버에 소량의 오일 분자가 남아 있을 수 있으며 이는 민감한 응용 분야에서 문제가 될 수 있습니다. 사용 콜드 트랩 또는 배플 이 문제를 완화할 수 있습니다.
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환경 및 안전 고려 사항:
- 오일 취급: 환경오염을 방지하기 위해서는 확산펌프오일의 올바른 취급과 폐기가 필수적입니다.
- 열 관리: 히터는 상당한 열이 발생하므로 안전한 작동을 위해 적절한 환기 및 냉각이 필요합니다.
이러한 핵심 사항을 이해함으로써 확산 펌프 구매자와 사용자는 선택, 작동 및 유지 관리에 대해 정보에 입각한 결정을 내릴 수 있으며 특정 응용 분야에서 최적의 성능과 수명을 보장할 수 있습니다.
요약표:
| 측면 | 세부 |
|---|---|
| 주요 기능 | 기계식 펌프를 능가하는 10^-2 Pa 미만의 고진공 수준을 달성합니다. |
| 작동 원리 | 가열된 오일 증기를 사용하여 진공 상태에서 공기 분자를 포착하고 제거합니다. |
| 주요 구성 요소 | 히터, 상용구, 제트 개구부, 응축 코일 및 저장소. |
| 장점 | 움직이는 부품이 없고, 펌핑 속도가 높으며, 진공 수준이 10^-7 Pa만큼 낮습니다. |
| 응용 | 실험실, 과학 연구, 반도체 제조 및 위험 물질 봉쇄. |
| 유지 관리 팁 | 오일 품질, 적절한 냉각 시스템 기능을 보장하고 역류를 방지합니다. |
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