확산 펌프의 기능은 기화된 유체의 운동 에너지를 사용하여 챔버에서 가스 분자를 유입하고 제거하여 고진공 환경을 조성하는 것입니다. 움직이는 부품을 사용하여 공기를 대체하는 기계식 펌프와 달리 확산 펌프는 유체(일반적으로 오일)를 기화시킨 다음 공기 분자를 포집하여 방출되는 더 차가운 영역으로 운반하는 방식으로 작동합니다. 이 과정은 증기 흐름의 운동량과 냉각 효과에 의존하여 챔버를 효율적으로 비웁니다.
자세한 설명:
-
작동 원리:
-
확산 펌프는 끓는 유체의 증기가 공기 분자를 포획하는 유체 포집 원리에 따라 작동합니다. 이는 피스톤이나 블레이드와 같은 물리적 메커니즘을 사용하여 챔버 밖으로 공기를 밀어내는 기계식 펌프와는 대조적입니다. 확산 펌프에서는 유체(흔히 오일이라고도 함)가 기화될 때까지 가열됩니다. 그런 다음 고속 증기 흐름이 챔버의 가스 분자와 상호 작용하여 효과적으로 배출구 쪽으로 쓸어내립니다.가스 제거 메커니즘:
-
기화된 유체는 포집된 가스 분자를 싣고 펌프의 더 차가운 부분으로 이동하여 응축됩니다. 이 응축은 포집된 가스 분자를 방출하여 시스템에서 배출합니다. 중력과 증기의 방향성 흐름의 조합은 가스 분자를 펌프의 바닥으로 유도하여 배기 프로세스의 효율성을 향상시킵니다.
-
고진공 기능:
-
확산 펌프는 10-2~10-10 토르 범위의 매우 낮은 압력을 달성할 수 있습니다. 이러한 고진공 성능 덕분에 전자빔 현미경, 진공 증착, 코팅 및 진공로와 같은 다양한 산업 분야에 적합합니다. 확산 펌프에는 움직이는 부품이 없기 때문에 내구성과 신뢰성이 뛰어납니다.운영 요구 사항:
확산 펌프 자체에는 움직이는 부품이 없지만 유휴 기간 동안 시스템의 압력을 낮게 유지하기 위해 배압 펌프가 필요합니다. 확산 펌프가 작동 중일 때는 배압 펌프가 분리되어 필요한 진공 상태를 유지하는 데 도움을 주는 것이 주요 기능입니다.
