박막은 일반적으로 수 나노미터에서 미크론에 이르는 두께로 특징지어집니다. 박막의 두께는 전기적, 광학적, 기계적, 열적 특성에 큰 영향을 미치기 때문에 매우 중요합니다. 박막 두께를 정확하게 측정하는 것은 다양한 산업에서 제품의 기능과 디자인을 최적화하는 데 필수적입니다.
측정 기법:
박막 두께는 광학적인 방법, 특히 박막의 상단과 하단 인터페이스 사이의 빛 간섭을 통해 측정하는 경우가 많습니다. 이 방법은 광파가 필름의 표면과 상호 작용하여 생성되는 간섭 패턴에 의존합니다. 간섭 스펙트럼에서 관찰되는 피크와 밸리의 수는 필름의 두께를 결정하는 데 사용할 수 있습니다. 이 기술은 투과 및 반사 측정을 모두 활용할 수 있는 투명 기판의 투명 필름에 효과적입니다.
불투명 기판의 경우 반사 측정만 적용할 수 있습니다. 측정 기법의 선택은 기판과 필름 자체의 투명도에 따라 달라집니다. 재료의 표면 거칠기가 이러한 측정의 정확도에 영향을 미칠 수 있으므로 필름의 표면 품질을 신중하게 고려해야 한다는 점에 유의해야 합니다.두께의 정의:
"박막"이라는 용어는 특정 두께로 엄격하게 정의되는 것이 아니라 시스템의 고유한 길이 척도와 비교한 두께의 상대적 척도로 정의됩니다. 전통적으로 박막은 두께(dz로 표시)가 5µm(d0로 표시) 이하인 경우 "얇은" 것으로 간주됩니다. 그러나 보다 정확한 정의는 필름의 특성 및 필름이 빛이나 다른 형태의 에너지와 상호 작용하는 방식과 관련된 시스템의 내부 길이 눈금과 비슷하거나 그 이하인 경우 필름이 얇다고 간주합니다.
두께의 시각화:
