특히 전자 현미경에서 시편을 장착하는 데 가장 널리 사용되는 방법은 직류 마그네트론 스퍼터링입니다. 이 방법은 빠르고 저렴하며 시료에 가해지는 열을 최소화하기 때문에 섬세한 시료에 적용할 수 있기 때문에 선호됩니다.
직류 마그네트론 스퍼터링:
이 기술은 마그네트론을 사용하여 시료에 금속 또는 탄소를 스퍼터링하는 플라즈마를 생성합니다. 이 과정은 대상 물질(일반적으로 금, 백금 또는 금-팔라듐 합금)이 고에너지 입자로 충격을 받아 원자가 방출되어 시료에 증착되는 진공 챔버에서 이루어집니다. 이 코팅은 샘플에 전도성을 부여하여 전하를 방지하고 이미지의 품질을 향상시키기 때문에 전자 현미경에 매우 중요합니다.
- 직류 마그네트론 스퍼터링의 장점:최소한의 열 적용:
- 시료를 크게 가열할 수 있는 다른 방법과 달리 마그네트론 스퍼터링은 최소한의 열을 가하기 때문에 섬세하고 열에 민감한 시료에 적합합니다.균일한 코팅:
- 이 방법은 매우 균일한 코팅을 제공하며, 이는 전자 현미경에서 고해상도 이미지를 얻는 데 필수적입니다.다용도성:
세라믹 및 폴리머와 같은 비전도성 물질을 포함한 다양한 물질에 사용할 수 있습니다.기타 코팅 방법:
직류 마그네트론 스퍼터링이 가장 일반적이지만 탄소 또는 금속 증착, 저각 섀도잉, 전자빔 증착, 이온 빔 스퍼터링과 같은 다른 방법도 사용됩니다. 그러나 이러한 방법은 더 비싸거나 더 정교한 장비가 필요할 수 있습니다.
전자 현미경에서 코팅의 중요성:
