특히 전자 현미경의 경우 시편을 장착하려면 섬세한 시편에 효과적이면서도 부드러운 방법이 필요합니다.
시편 마운팅에는 어떤 방법이 널리 사용되나요? 알아야 할 5가지 핵심 사항
1. 직류 마그네트론 스퍼터링: 선호되는 방법
시편을 장착하는 데 가장 널리 사용되는 방법은 직류 마그네트론 스퍼터링입니다. 이 방법은 빠르고 저렴하며 열을 최소화하여 섬세한 시료에 이상적이기 때문에 선호됩니다.
2. 직류 마그네트론 스퍼터링의 작동 원리
이 기술은 마그네트론을 사용하여 시료에 금속 또는 탄소를 뿌려주는 플라즈마를 생성합니다. 이 과정은 일반적으로 금, 백금 또는 금-팔라듐 합금과 같은 대상 물질이 고에너지 입자로 충격을 받는 진공 챔버에서 이루어집니다. 이 입자는 원자를 방출하여 시료에 증착시킵니다.
3. 직류 마그네트론 스퍼터링의 장점
- 최소한의 열 적용: 다른 방법과 달리 마그네트론 스퍼터링은 최소한의 열을 가하므로 열에 민감한 시료에 적합합니다.
- 균일한 코팅: 이 방법은 전자 현미경의 고해상도 이미지에 필수적인 매우 균일한 코팅을 제공합니다.
- 다용도성: 세라믹 및 폴리머와 같은 비전도성 재료를 포함한 다양한 재료에 사용할 수 있습니다.
4. 다른 코팅 방법
직류 마그네트론 스퍼터링이 가장 일반적이지만 탄소 또는 금속 증발, 저각 섀도잉, 전자빔 증발, 이온 빔 스퍼터링과 같은 다른 방법도 사용됩니다. 그러나 이러한 방법은 더 비싸거나 더 정교한 장비가 필요할 수 있습니다.
5. 전자 현미경에서 코팅의 중요성
코팅은 샘플의 전도성을 보장하기 위해 SEM 및 TEM 이미징에 매우 중요합니다. 이러한 전도성은 이미지를 왜곡할 수 있는 전하 효과를 방지하고 대비를 향상시킵니다. 예를 들어, Formvar로 덮인 TEM 그리드는 전도성을 위해 탄소로 코팅해야 하며 극저온 샘플은 극저온 SEM에서 이미지화하기 전에 금속으로 코팅하는 경우가 많습니다.
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