확산 펌프는 효과적으로 작동하려면 사전 진공 환경이 필요하기 때문에 대기압에서는 사용되지 않습니다. 이는 공기 분자를 포집하기 위해 끓는 유체의 증기에 의존하고 더 높은 압력에서는 효율적으로 작동할 수 없는 설계 및 작동 원리 때문입니다.
자세한 설명:
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확산 펌프의 작동 요구 사항:
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확산 펌프는 끓는 유체의 증기를 사용하여 공기 분자를 포집하는 방식으로 작동합니다. 이 유체 증기(일반적으로 오일)는 위쪽으로 이동하여 공기 분자를 포집한 다음 펌프의 바닥으로 향합니다. 포집된 분자는 유체 증기가 식으면 방출되고 이 과정이 반복됩니다. 이 메커니즘은 고진공을 만드는 데 매우 효과적이지만 프로세스를 시작하려면 기존의 저압 환경이 필요합니다.배압 펌프의 필요성:
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확산 펌프는 거친 진공 및 미세 진공 범위에서 펌프 속도가 없기 때문에 로터리 베인 펌프 또는 루츠 펌프와 같은 배압 펌프를 사용해야 합니다. 이러한 배압 펌프는 대기압 수준에서 디퓨전 펌프가 작동을 시작할 수 있는 범위로 압력을 낮추어 초기 진공 환경을 조성합니다. 이 초기 진공이 없으면 확산 펌프의 유체 증기가 공기 분자를 효과적으로 포집하지 못하여 펌프의 효율이 떨어집니다.
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압력 수준 및 효율성:
확산 펌프의 효율은 일반적으로 8.0 x 10^-6 Torr 범위의 매우 낮은 압력에서 최적화됩니다. 대기압에서는 공기 분자의 밀도가 너무 높아 확산 펌프가 효과적으로 포집 및 제거할 수 없습니다. 그렇기 때문에 확산 펌프는 일반적으로 다단계 진공 시스템의 일부이며, 초기 단계에서는 확산 펌프가 작동하기에 적합한 수준으로 압력을 낮춥니다.
다른 펌프와의 비교:
