진공 시스템의 무결성과 효율성을 유지하려면 진공 누출률을 측정하는 것이 중요합니다.
이 과정에는 진공 챔버를 펌핑 시스템에서 분리하고 지정된 기간 동안 진공 레벨의 변화를 관찰하는 것이 포함됩니다.
누출률은 일반적으로 시간당 미크론 단위로 표시됩니다.
정밀도 보장을 위한 4가지 핵심 단계
1. 초기 펌핑
퍼니스는 먼저 특정 진공 수준(일반적으로 1 x 10^-4 torr 이상)까지 펌핑됩니다.
이 단계를 통해 시스템이 격리 전에 기준 진공 상태가 되도록 합니다.
2. 격리
그런 다음 펌핑 시스템을 퍼니스 챔버에서 분리합니다.
추가 펌핑 동작을 방지하기 위해 모든 진공 밸브를 닫아 이 작업을 수행합니다.
3. 진공 레벨 모니터링
진공 레벨은 설정된 시간(일반적으로 30분 후, 60분 후)이 지난 후 다시 기록됩니다.
이 간격을 통해 누출로 인한 압력 상승을 감지할 수 있습니다.
4. 누출률 계산
누출률은 기록된 진공 레벨을 비교하여 계산합니다.
시간 경과에 따른 압력 판독값의 차이는 시간당 미크론 단위의 누출률을 결정하는 데 사용됩니다.
예를 들어, 60분 동안 압력이 1 x 10^-4 토르에서 1.0001 x 10^-4 토르로 상승하면 누출률은 시간당 (1.0001 - 1) x 10^4 미크론이 됩니다.
중요성 및 허용 기준
중요 애플리케이션
초합금 또는 반응성 금속 처리와 같은 중요한 응용 분야의 경우, 처리되는 재료의 무결성과 품질을 보장하기 위해 시간당 5미크론 미만의 누출률이 필수입니다.
일반 응용 분야
일반 진공 응용 분야의 경우, 누출률은 시간당 10~20미크론을 초과하지 않아야 합니다.
누출률이 높으면 잔류 산소 함량이 크게 증가하여 열처리 공정에 악영향을 미칠 수 있습니다.
정기 점검
시스템 무결성을 유지하고 높은 산소 함량으로 인한 열처리 결과 불량과 관련된 문제를 방지하기 위해 정기적인 누설률 점검을 권장합니다.
방법론적 정확성
설명된 방법은 시스템을 분리하고 압력이 안정화되도록 하여 누출률을 정확하게 측정합니다.
이는 챔버로 공기가 누출되는 속도를 직접적으로 반영합니다.
이 방법은 진공로 운영의 효율성과 효과를 유지하여 장비가 다양한 용도에 필요한 사양을 충족하도록 보장하는 데 매우 중요합니다.
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