진공 누출률은 진공 챔버를 펌핑 시스템에서 분리하고 지정된 기간 동안 진공 레벨의 변화를 관찰하여 측정합니다. 누출률은 일반적으로 시간당 미크론 단위로 표시됩니다.
측정 프로세스:
- 초기 펌핑: 퍼니스는 먼저 특정 진공 수준(일반적으로 1 x 10^-4 torr 이상)까지 펌핑됩니다. 이 단계를 통해 시스템이 격리 전에 기준 진공 상태가 되도록 합니다.
- 격리: 그런 다음 펌핑 시스템을 퍼니스 챔버에서 분리합니다. 추가 펌핑 작업을 방지하기 위해 모든 진공 밸브를 닫아 이 작업을 수행합니다.
- 진공 레벨 모니터링: 진공 레벨은 설정된 시간(일반적으로 30분 후, 60분 후)이 지난 후 다시 기록됩니다. 이 간격을 통해 누출로 인한 압력 상승을 감지할 수 있습니다.
- 누출률 계산: 누출률은 기록된 진공 수준을 비교하여 계산합니다. 해당 기간 동안의 압력 판독값 차이는 시간당 미크론 단위의 누출률을 결정하는 데 사용됩니다. 예를 들어, 60분 동안 압력이 1 x 10^-4 토르에서 1.0001 x 10^-4 토르로 상승하면 누출률은 시간당 (1.0001 - 1) x 10^4 미크론이 됩니다.
중요성 및 허용 기준:
- 중요 애플리케이션: 초합금 또는 반응성 금속 처리와 같은 중요 응용 분야의 경우, 처리되는 재료의 무결성과 품질을 보장하기 위해 시간당 5미크론 미만의 누출률이 필수입니다.
- 일반 애플리케이션: 일반 진공 응용 분야의 경우, 누출률은 시간당 10~20미크론을 초과하지 않아야 합니다. 누출률이 높으면 잔류 산소 함량이 크게 증가하여 열처리 공정에 악영향을 미칠 수 있습니다.
- 정기 점검: 시스템 무결성을 유지하고 높은 산소 함량으로 인한 열처리 결과 불량과 관련된 문제를 방지하기 위해 정기적인 누출률 점검을 권장합니다.
방법론적 정확성:
설명된 방법은 시스템을 분리하고 압력이 안정화되도록 하여 공기가 챔버로 누출되는 속도를 직접 반영함으로써 누출률을 정확하게 측정할 수 있습니다. 이 방법은 진공로 운영의 효율성과 효과를 유지하여 장비가 다양한 용도에 필요한 사양을 충족하도록 보장하는 데 매우 중요합니다.
