SEM(주사 전자 현미경)용 금 코팅은 이미지 품질을 향상하고 샘플 손상을 방지하는 데 매우 중요합니다.
SEM용 금 코팅에 대한 5가지 주요 인사이트
1. 두께 범위
SEM 애플리케이션용 금 코팅의 일반적인 두께 범위는 2~20나노미터(nm)입니다.
2. 스퍼터 코팅 공정
이 초박막 금층은 스퍼터 코팅이라는 공정을 사용하여 적용됩니다.
3. 코팅의 목적
이 코팅의 주요 목적은 시료의 전하를 방지하고 이차 전자의 검출을 향상시키는 것입니다.
4. 금의 장점
금은 낮은 작업 기능으로 인해 가장 일반적으로 사용되는 재료로 코팅에 매우 효율적입니다.
5. 특정 응용 분야
6인치 웨이퍼를 금/팔라듐(Au/Pd)으로 코팅하는 것과 같은 특정 응용 분야에서는 3nm 두께가 사용되었습니다.
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