허용 가능한 누출 감지 방법은 무엇입니까? 올바른 방법으로 시스템의 무결성을 보장하십시오.

본질적으로, 허용 가능한 누출 감지 방법은 특정 작동 요구 사항에 대해 밀봉된 시스템의 무결성을 안정적으로 정량화하는 방법입니다. 진공 시스템의 경우, 주요하고 널리 사용되는 방법은 압력 상승률 테스트로, 시스템이 펌프에서 분리된 후 일정 시간 동안의 압력 증가를 측정합니다. 이 테스트는 시스템으로 유입되는 총 누출량을 명확하고 정량적으로 측정합니다.

누출 감지의 목표는 반드시 "완벽하게" 밀봉된 시스템을 찾는 것이 아니라, 진공로든, 유체 라인이든, 고순도 가스 시스템이든 관계없이 총 누출률이 공정을 손상시킬 수 있는 임계값 미만임을 확인하는 것입니다.

기본: 압력 상승률 테스트

압력 상승률 테스트는 모든 진공 시스템의 기본적인 건강 점검입니다. 이는 모든 누출 및 가스 방출원의 복합적인 영향을 측정합니다.

핵심 절차

이 과정은 간단하고 체계적입니다. 먼저, 펌핑 시스템에 연결된 모든 진공 밸브를 닫아 챔버를 격리합니다.

펌프를 멈춘 후 초기 압력 판독값을 기록합니다. 그런 다음 지정된 시간(종종 10분에서 1시간 사이)을 기다린 후 두 번째 압력 판독값을 기록합니다.

속도 계산

압력 상승률은 압력 변화(ΔP)를 시간 변화(Δt)로 나눈 값입니다.

예를 들어, 참조 절차를 사용하여 10분(P1)과 60분(P2)에 압력을 읽습니다. 시간 차이는 50분입니다. 속도는 (P2 - P1) / 50분입니다. 이는 분당 밀리바(mbar/min)와 같은 명확한 측정값을 제공합니다.

결과 해석

낮고 안정적인 압력 상승률은 밀폐되고 건강한 시스템을 나타냅니다. 높거나 가속되는 속도는 추가 조사가 필요한 상당한 누출을 나타냅니다.

"허용 가능한" 속도는 전적으로 공정에 따라 달라집니다. 고진공 전자 제품 제조 공정은 열처리에 사용되는 간단한 진공로보다 훨씬 더 엄격한 요구 사항을 가질 것입니다.

절충점 및 한계 이해

압력 상승 테스트는 매우 유용하지만, 그 자체로 완전한 진단 도구는 아닙니다. 그 한계를 이해하는 것이 효과적으로 사용하는 데 중요합니다.

누출을 확인하지만, 위치를 찾지는 못합니다.

압력 상승 테스트의 주요 한계는 누출이 있다는 것을 알려주지만, 어디에 있는지 알려주지 않는다는 것입니다. 이는 모든 소스에서 챔버로 유입되는 총 가스 부하를 측정합니다.

가스 방출의 영향

진공 챔버의 압력 상승은 두 가지 현상으로 인해 발생합니다: 외부 대기로부터의 실제 누출과 챔버 내부의 재료로부터의 가상 누출 또는 가스 방출.

가스 방출은 표면, O-링 또는 진공 내 오염 물질로부터 갇힌 가스 또는 증기가 방출되는 것입니다. 이는 특히 최근에 환기되었거나 다공성 재료를 포함하는 경우 밀폐된 시스템이 누출되는 것처럼 보이게 할 수 있습니다. 이것이 장기간 가동이 중단된 로에 대해 "건조 운전"이 권장되는 이유입니다. 이는 수분 및 기타 휘발성 물질을 제거하는 데 도움이 됩니다.

더 민감한 방법의 필요성

고진공 또는 초고진공(UHV) 시스템의 경우, 압력 상승 방법은 공정을 방해할 수 있는 미세한 누출을 감지할 만큼 민감하지 않을 수 있습니다. 이러한 경우 더 정밀한 도구가 필요합니다.

압력 상승을 넘어: 다른 감지 방법

압력 상승 테스트가 문제를 나타내거나 더 높은 감도가 필요한 경우, 소스를 찾기 위해 다른 방법이 사용됩니다.

버블 테스트

양압 시스템의 경우 가장 간단한 방법은 버블 테스트입니다. 의심되는 누출 부위(용접부, 피팅)에 비눗물을 바르고 기포가 형성되면 누출을 나타냅니다. 이 방법은 간단하고 저렴하지만 감도가 매우 낮습니다.

추적 가스 누출 감지 (헬륨)

진공 시스템의 작은 누출을 찾는 데 헬륨 누출 감지는 업계 표준입니다. 이는 헬륨에 맞춰진 질량 분석기를 진공 시스템에 연결하는 것을 포함합니다.

그런 다음 헬륨을 챔버 외부에 전략적으로 분사합니다. 헬륨이 누출을 통해 유입되면 질량 분석기가 거의 즉시 이를 감지하여 누출 위치를 정확하게 찾아낼 수 있습니다.

목표에 맞는 올바른 선택

올바른 방법을 선택하는 것은 전적으로 달성해야 할 목표에 달려 있습니다.

• 진공 시스템의 일상적인 건강 점검에 주로 초점을 맞추는 경우: 압력 상승률 테스트는 지속적인 성능 모니터링을 위한 가장 실용적이고 효율적인 방법입니다.
• 진공 시스템에서 누출의 정확한 위치를 찾는 데 주로 초점을 맞추는 경우: 헬륨 누출 감지기는 누출이 확인된 후 소스를 정확히 찾아내는 결정적인 도구입니다.
• 양압 시스템에 대한 빠른 점검에 주로 초점을 맞추는 경우: 비눗방울 테스트는 빠르고 효과적이며 저렴한 초기 단계로 남아 있습니다.

궁극적으로, 견고한 유지보수 전략은 이러한 방법을 조합하여 장기적인 시스템 무결성과 운영 성공을 보장합니다.

요약표:

방법	주요 사용	주요 장점	한계
압력 상승률 테스트	진공 시스템의 일상적인 건강 점검	정량적, 간단하며 지속적인 모니터링에 효과적	누출 존재를 확인하지만 위치를 찾지 못함; 가스 방출의 영향 받음
헬륨 누출 감지	진공 시스템의 작은 누출 정밀 탐지	높은 감도, 정확한 위치 식별	특수 장비(질량 분석기) 필요
비눗방울 테스트	양압 시스템의 빠른 점검	저렴하고 간단하며 육안으로 보이는 누출에 빠름	낮은 감도, 진공 시스템에는 부적합

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