진공 펌프는 다양한 산업 및 과학 응용 분야에서 필수적인 도구입니다. 진공 펌프는 밀폐된 공간에서 기체 분자를 제거하여 진공 상태를 만드는 데 도움을 줍니다. 일반적으로 사용되는 진공 펌프에는 로터리 베인 펌프, 루츠 펌프, 오일 확산 펌프, 터보 분자 펌프의 네 가지 주요 유형이 있습니다. 각 유형은 특정 진공 압력을 달성하도록 설계되었으며 적용 공정의 요구 사항에 따라 선택됩니다.
진공 펌프의 4가지 유형 설명
1. 로터리 베인 펌프
로터리 베인 펌프는 로터가 회전하면서 로터에 장착된 여러 개의 베인이 펌프 하우징의 슬롯 안팎으로 미끄러져 들어가고 나가는 메커니즘을 사용합니다. 베인은 공기를 포집하고 압축한 다음 배기 밸브를 통해 배출합니다. 이 펌프는 일반적으로 최대 5x10-2 mbar의 거친 진공 수준을 달성하는 데 효과적입니다. 적당한 진공 수준이 필요한 애플리케이션에 널리 사용되며 신뢰성과 내구성으로 잘 알려져 있습니다.
2. 루츠 펌프(또는 로터리 블로어 펌프)
루츠 펌프는 공차가 가까운 두 개의 로터가 서로 반대 방향으로 회전하여 가스를 포집하고 배출하는 포지티브 변위 원리로 작동합니다. 이 펌프는 펌핑 속도를 높이고 더 높은 진공 수준을 달성하기 위해 로터리 베인 펌프와 함께 사용되는 경우가 많습니다. 특히 대량의 가스를 빠르게 배출해야 하는 애플리케이션에 유용합니다.
3. 오일 확산 펌프
오일 확산 펌프는 높은 진공 수준을 달성하도록 설계되었습니다. 이 펌프는 유입되는 가스 분자에 대해 고속 유증기를 분사하여 아래쪽으로 향하게 한 다음 펌프 바닥에 모이게 하는 방식으로 작동합니다. 그런 다음 배압 펌프에 의해 가스가 펌핑됩니다. 오일 확산 펌프는 진공 수준을 10-5 mbar까지 낮출 수 있으며 과학 연구 및 고진공 산업 공정에서 일반적으로 사용됩니다.
4. 터보 분자 펌프
터보 분자 펌프는 고속 회전 블레이드를 사용하여 기체 분자에 운동량을 부여하여 펌프의 입구에서 배기구로 효과적으로 전달합니다. 이 펌프는 일반적으로 10-9 mbar까지 매우 높은 진공 수준을 달성할 수 있습니다. 이 펌프는 반도체 제조 및 질량 분석기와 같은 분석 장비와 같이 초고진공이 필요한 응용 분야에 사용됩니다.
이러한 각 펌프 유형은 특정 진공 수준 범위 내에서 작동하며 필요한 진공 수준, 펌프 속도, 처리하는 가스의 특성 등 애플리케이션의 특정 요구 사항에 따라 선택됩니다.
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