일반적으로 사용되는 네 가지 유형의 진공 펌프는 로터리 베인 펌프, 루츠 펌프, 오일 확산 펌프, 터보 분자 펌프입니다. 각 유형은 특정 진공 압력을 달성하도록 설계되었으며 적용 공정의 요구 사항에 따라 선택됩니다.
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로터리 베인 펌프: 이 펌프는 로터가 회전할 때 로터에 장착된 여러 개의 베인이 펌프 하우징의 슬롯 안팎으로 미끄러져 들어가고 나가는 메커니즘을 사용합니다. 베인은 공기를 포집하고 압축한 다음 배기 밸브를 통해 배출합니다. 로터리 베인 펌프는 일반적으로 최대 5x10-2 mbar의 거친 진공 수준을 달성하는 데 효과적입니다. 적당한 진공 수준이 필요한 응용 분야에서 널리 사용되며 신뢰성과 내구성으로 잘 알려져 있습니다.
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루츠 펌프(또는 로터리 블로어 펌프): 이 펌프는 공차가 가까운 두 개의 로터가 서로 반대 방향으로 회전하여 가스를 포집하고 배출하는 포지티브 변위 원리로 작동합니다. 루츠 펌프는 펌핑 속도를 높이고 더 높은 진공 수준을 달성하기 위해 로터리 베인 펌프와 함께 사용되는 경우가 많습니다. 대량의 가스를 빠르게 배출해야 하는 애플리케이션에 특히 유용합니다.
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오일 확산 펌프: 이 펌프는 높은 진공 수준을 달성하도록 설계되었습니다. 유입되는 가스 분자에 대해 고속의 유증기를 분사하여 작동하며, 이 유증기는 아래쪽으로 향하여 펌프 바닥에 모입니다. 그런 다음 배압 펌프에 의해 가스가 펌핑됩니다. 오일 확산 펌프는 10-5 mbar까지 진공 수준을 달성할 수 있으며 과학 연구 및 고진공 산업 공정에서 일반적으로 사용됩니다.
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터보 분자 펌프: 이 펌프는 고속 회전 블레이드를 사용하여 기체 분자에 운동량을 부여하여 펌프의 입구에서 배기구로 효과적으로 전달합니다. 터보 분자 펌프는 일반적으로 10-9 mbar까지 매우 높은 진공 수준을 달성할 수 있습니다. 이 펌프는 반도체 제조 및 질량 분석기와 같은 분석 장비와 같이 초고진공이 필요한 응용 분야에 사용됩니다.
이러한 각 펌프 유형은 특정 진공 수준 범위 내에서 작동하며 필요한 진공 수준, 펌프 속도, 처리하는 가스의 특성 등 애플리케이션의 특정 요구 사항에 따라 선택됩니다.
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