RF 스퍼터링은 우수한 필름 품질과 스텝 커버리지, 다양한 재료를 증착할 수 있는 다양성, 충전 효과 및 아크 감소, 저압에서의 작동, 효율성 향상 등 몇 가지 주요 이점을 제공합니다. 또한 타겟 절연에 효과적이며 RF 다이오드 스퍼터링의 개발로 더욱 향상되었습니다.
우수한 필름 품질과 스텝 커버리지:
RF 스퍼터링은 증착 기술에 비해 더 나은 품질과 스텝 커버리지를 가진 필름을 생산합니다. 이는 복잡한 형상에서도 필름이 기판에 잘 부착되도록 하기 때문에 정밀하고 균일한 필름 증착이 필요한 애플리케이션에서 매우 중요합니다.재료 증착의 다양성:
이 기술은 절연체, 금속, 합금, 복합재 등 다양한 소재를 증착할 수 있습니다. 이러한 다목적성은 다양한 응용 분야에 다양한 재료가 필요한 산업에서 특히 유용하며, 보다 간소화되고 비용 효율적인 생산 공정을 가능하게 합니다.
충전 효과 및 아크 감소:
13.56MHz의 주파수에서 AC RF 소스를 사용하면 충전 효과를 방지하고 아크를 줄이는 데 도움이 됩니다. RF를 사용하면 플라즈마 챔버 내부의 모든 표면에서 전기장의 부호가 변경되어 아킹을 유발할 수 있는 전하 축적을 방지할 수 있기 때문입니다. 아크는 균일하지 않은 필름 증착 및 기타 품질 문제를 일으킬 수 있으므로 고품질 필름 생산을 유지하려면 아크 감소가 중요합니다.저압에서 작동:
RF 스퍼터링은 플라즈마를 유지하면서 낮은 압력(1~15mTorr)에서 작동할 수 있습니다. 이러한 저압 작동은 이온화된 가스 충돌 횟수를 줄여 공정의 효율성을 향상시켜 코팅 재료의 가시선 증착을 더욱 효율적으로 만듭니다.
효율성 및 품질 관리 개선:
