CNT(탄소 나노튜브)의 위험성은 여러 가지 측면으로 분류할 수 있습니다:
1. 폐 노출: CNT를 흡입하면 폐 섬유화 및 암 발병과 연관된 폐 염증을 유발할 수 있습니다. 즉, CNT를 흡입할 경우 호흡기에 유해한 영향을 미칠 수 있습니다.
2. 독성 기체 전구체: CNT를 성장시키는 데 사용되는 화학기상증착(CVD) 공정에서는 Cu(acac)2, B2H6 또는 Ni(CO)4와 같은 특정 기체 전구체가 사용될 수 있습니다. 이러한 전구체는 유독성, 부식성, 폭발성을 가지고 있습니다. 주의해서 취급하고 전달하지 않으면 환경과 노출된 사람의 건강에 위험을 초래할 수 있습니다.
3. 독성 가스 부산물: CVD 공정 중에 HF, H2 또는 CO와 같은 기체 부산물이 생성될 수 있습니다. 이러한 부산물은 독성이 강하므로 진공 챔버에서 방출될 때 환경과 개인에 대한 피해를 방지하기 위해 적절히 처리해야 합니다.
4. 고온 코팅: CVD 공정은 매우 높은 온도에서 박막 코팅을 증착합니다. 그러나 일부 기판 재료는 열 안정성이 떨어지고 이러한 고온을 견디지 못할 수 있습니다. 이러한 재료를 사용하면 CVD 공정에 실패하고 잠재적으로 위험한 상황이 발생할 수 있습니다.
CVD는 기판 위에 균일한 두께를 형성할 수 있는 등의 장점이 있지만, CVD 공정을 사용하는 작업자의 안전을 보장하기 위해 예방 조치를 취해야 한다는 점에 유의해야 합니다. 독성 전구체 및 부산물과 관련된 위험을 최소화하려면 표준 운영 절차(SOP)를 따라야 합니다.
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