반도체용 스퍼터링 타겟은 실리콘 웨이퍼와 같은 반도체 기판에 박막을 증착하기 위해 스퍼터 증착 공정에 사용되는 얇은 디스크 또는 재료 시트입니다. 스퍼터 증착은 타겟에 이온을 쏘아 타겟 재료의 원자를 타겟 표면에서 물리적으로 방출하여 기판 위에 증착하는 기술입니다.
반도체 배리어층에 사용되는 주요 금속 타겟은 탄탈륨과 티타늄 스퍼터링 타겟입니다. 배리어 층은 전도성 층 금속이 웨이퍼의 주 재료인 실리콘으로 확산되는 것을 방지하기 위해 차단 및 절연하는 기능을 합니다.
스퍼터링 타겟은 일반적으로 금속 원소 또는 합금을 사용하지만 세라믹 타겟도 사용할 수 있습니다. 마이크로 일렉트로닉스, 박막 태양 전지, 광전자, 장식용 코팅 등 다양한 분야에서 사용됩니다.
마이크로 일렉트로닉스에서 스퍼터링 타겟은 알루미늄, 구리, 티타늄과 같은 재료의 박막을 실리콘 웨이퍼에 증착하여 트랜지스터, 다이오드 및 집적 회로와 같은 전자 장치를 만드는 데 사용됩니다.
박막 태양 전지에서 스퍼터링 타겟은 카드뮴 텔루라이드, 구리 인듐 갈륨 셀레나이드, 비정질 실리콘과 같은 물질의 박막을 기판에 증착하여 고효율 태양 전지를 만드는 데 사용됩니다.
스퍼터링 타겟은 금속 또는 비금속일 수 있으며 다른 금속과 함께 결합하여 강도를 높일 수 있습니다. 또한 에칭 또는 인그레이빙이 가능하여 사실적인 이미징에 적합합니다.
스퍼터링 공정은 대상 물질에 고에너지 입자를 쏘아 원자가 방출되고 기판에 증착되어 박막을 형성하는 과정을 포함합니다.
스퍼터링의 장점은 모든 물질, 특히 융점이 높고 증기압이 낮은 원소 및 화합물을 스퍼터링할 수 있다는 점입니다. 스퍼터링은 모든 형태의 재료에 사용할 수 있으며, 절연 재료 및 합금을 사용하여 타겟 재료와 유사한 구성 요소로 박막을 제조할 수 있습니다. 또한 스퍼터링 타겟은 초전도 필름과 같은 복잡한 구성의 증착을 가능하게 합니다.
요약하면, 반도체용 스퍼터링 타겟은 반도체 기판에 박막을 증착하기 위한 스퍼터 증착 공정에 사용되는 재료입니다. 이는 전자 장치와 박막 태양 전지를 비롯한 다양한 응용 분야에서 중요한 역할을 합니다.
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