기판 온도가 필름 특성에 미치는 영향은 박막 증착의 중요한 측면입니다.
기판 온도가 필름 특성에 미치는 영향은 무엇일까요? (8가지 주요 요인)
1. 결정 상
기판 온도가 상승하면 박막의 결정상에 변화가 생길 수 있습니다.
예를 들어, 온도가 상승하면 비정질 상에서 결정질 상으로 변할 수 있습니다.
2. 결정 크기
기판 온도가 높아지면 박막 내 결정체의 크기가 감소할 수 있습니다.
이는 더 높은 온도에서 결정 격자의 확산과 성장이 향상되기 때문입니다.
3. 화학량 론적 비율
기판 온도는 박막의 화학량 론적 비율에도 영향을 미칩니다.
온도를 높이면 필름의 균형 잡힌 구성으로 이어져 전반적인 품질이 향상될 수 있습니다.
4. 표면 형태
박막의 표면 형태는 기판 온도에 영향을 받을 수 있습니다.
온도가 높을수록 표면 반응이 향상되어 더 매끄럽고 균일한 필름 표면을 얻을 수 있습니다.
5. 밴드 갭 값
기판 온도의 상승은 박막의 밴드 갭 값에도 영향을 줄 수 있습니다.
이는 필름의 전자적 특성에 영향을 미치는 결정상, 결정 크기 및 화학량 론적 비율의 변화에 기인합니다.
6. 결함 밀도
기판 온도를 높이면 필름 표면의 부유 결합을 보정하여 결함 밀도를 낮추는 데 도움이 될 수 있습니다.
이는 필름의 전반적인 품질을 향상시킵니다.7. 접착력, 결정성 및 응력기판 온도는 증착된 박막의 접착력, 결정성 및 응력에 영향을 미치는 중요한 파라미터입니다.온도를 최적화하면 원하는 필름 품질과 특성을 얻을 수 있습니다.8. 증착 속도스퍼터링된 물질이 기판에 증착되는 속도, 즉 증착률은 기판 온도에 의해 영향을 받을 수 있습니다.증착 속도를 최적화하면 원하는 필름 두께와 균일성을 달성하는 데 도움이 됩니다.
